研磨用磨具制造技術

提供一種為對板狀被削材料進行研磨的研磨用磨具，它不發生研磨不均，并且具有良好的壓力響應性。本發明專利技術提供的是在圓筒狀的芯材（１）上設置多孔質彈性體（２），在多孔質彈性體（２）的外周上設置了研磨層（４）的研磨用磨具，其中上述多孔質彈性體（２）是橡膠海綿。橡膠海綿（２）的橡膠硬度在橡膠硬度計Ｃ分度上為５～４０，并且回跳彈性率最好為５０～９０％，此外，ＪＩＳ　?。耍叮罚叮芬幎ǖ模玻担嚎s載荷值最好為０．０１０～０．２００ＭＰａ。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術有關用于板狀被磨削材料研磨等的研磨用磨具，更詳細是有關用于金屬板或非金屬板研磨等，特別是印刷配線基板研磨的研磨用磨具。
技術介紹
一直以來，作為對印刷配線基板所代表的板狀被削材料進行研磨的研磨磨具，眾所周知，有特開2001-315054號公報及特開2004-50400號公報所公布的磨具。被用于板狀被削材料研磨的磨具，其中一個例子的構成，如附圖說明圖1所示，在圓筒狀的芯材(1)上設置多孔質彈性體(2)，在該多孔質彈性體(2)的外周上介于增強層(3)設置了研磨層(4)。圓筒構件的材質，使用的是例如使酚醛樹脂浸漬在紙管上加固的、所謂酚醛管等的即輕且剛性又優異的材質，其外周至少設置一層多孔質彈性體?，F在，多孔質彈性體使用的是使合成樹脂發泡的海綿材料。此外，根據需要，多孔質彈性體的外周設置了增強層，例如用纖維或金屬絲增強的橡膠層，在其上設置研磨層。研磨層，典型的如圖2所示，由被切割成塊狀的磨具片群和使磨具片群粘接而保持的膠片等支撐層構成。圖3所示的是使用上述研磨用磨具的研磨作業的一個例子(研磨用磨具用局部剖面表示)。該磨具，由圓筒狀的芯材(1)、多孔質彈性體層(2)、以及支撐層3上的磨具片(4)構成，它被安裝在研磨用機械的主軸上并被驅動在箭頭(11)的方向旋轉。被削材料的印刷基板(13)，使之與研磨用磨具相對并被送到順時針旋轉的支承輥(14)上。研磨層(3)的周方向的移動速度，由于遠大于工件送進速度，所以被送到研磨層(3)和支承輥(14)之間的印刷基板(13)的表面被研磨處理。專利文獻1特開2001-315064號公報專利文獻2特開2004-50400號公報
技術實現思路
專利技術需要解決的課題可是，用現有的研磨用磨具研磨的工件的被研磨面，存在著有時可觀察到不能容許的磨削不均的問題。其原因可例舉有，印刷配線基板所代表的板狀被削材料，其表面厚度不均等，存在著波狀起伏的凹凸；進而在使用上述支承輥的磨削中，支承輥表面有凹凸。研磨時研磨用磨具的研磨層不能充分跟隨板狀被削材料的凹凸，沿著其表面殘存沒有充分進行研磨的地方的話，那么可形成研磨不均，因此，研磨用磨具能夠在研磨時跟隨板狀被削材料的凹凸是很重要的。上述兩專利文獻的先期專利技術技術中，雖然也考慮了磨削不均的問題，但是措施不充分。在這些先期技術中，特別是通過改善增強層以解決研磨不均問題。此外，實際中對于研磨層部分，通過變更設計，也可以在一定程度上解決研磨不均。但是，即便如此，也不能充分地消除研磨不均。另外，該領域的研磨用磨具，有人還指出了其他問題。研磨時的磨削壓力有時變化，這時要求被削材料的除去量隨磨削壓力的增減成正比增減，即研磨除去量相對磨削壓力的響應性(以下稱“壓力響應性”)應良好。提高磨削壓力時，被削材料的除去量如果也不能隨之增加的話，那么磨削效率不會提高。本專利技術，鑒于上述的問題，把課題定為提供一種為對板狀被削材料進行研磨的研磨用磨具，它不發生研磨不均，并且具有良好的壓力響應性。解決課題的手段本專利技術人，在解決上述課題時，著眼于占研磨用磨具大部分斷面積的多孔質彈性體的功能進行研究，結果意外發現使用橡膠海綿作為多孔質彈性體很有效，從而完成本專利技術。也就是說，本專利技術提供的研磨用磨具，其特征在于，在圓筒狀的芯材上設置多孔質彈性體，在該多孔質彈性體的外周上設置了研磨層，其中上述多孔質彈性體是橡膠海綿。此外，上述橡膠海綿的橡膠硬度在橡膠硬度計C分度上為5～40，并且回跳彈性率最好為50～90％。另外，上述橡膠海綿的JIS K 6767規定的25％壓縮載荷值最好為0.010～0.200MPa。專利技術效果本專利技術的研磨用磨具，由于使用橡膠海綿作為上述多孔質彈性體，所以可消除磨削不均，進而提高磨削響應性。一般橡膠海綿，與現有的合成樹脂海綿材料相比，雖硬度較小，但回跳彈性率和殘存載荷較高。使用具有這種特性傾向的多孔質彈性體的話，將會消除磨削不均，與此同時將有意地提高磨削響應性。附圖簡單說明圖1是表示研磨用磨具大致構成的剖面圖。圖2是表示研磨用磨具大致構成的俯視圖。圖3是表示使用研磨用磨具的磨削方法一例的剖面圖。圖4是表示多孔質彈性體回跳彈性測定方法的概念圖。圖5是表示多孔質彈性體25％壓縮載荷值測定方法的概念圖。圖6是為制作出凹凸而在背側粘貼帶子的被削材料背面的照片代用圖。圖7是利用實施例一的磨具進行研磨后的被削材料的照片代用圖。圖8是利用比較例一的磨具進行研磨后的被削材料的照片代用圖。圖9是利用比較例二的磨具進行研磨后的被削材料的照片代用圖。符號說明1 芯材2 多孔質彈性體3 增強層4 研磨層5 壓頭6 多孔質彈性體的測試片7 底座8 加壓方向(從上向下)9 加壓返回方向(從下向上)10 鋼球11 主軸旋轉方向12 研磨用磨具承受的力13 板狀被削材料14 支承輥具體實施方式研磨時要求研磨用磨具即使研磨壓較低時也能較多地洼下，即對用于研磨的載荷具有“柔軟(軟質)”的特性。這樣的話，可盡快地適應板狀被削物上的凹凸。進而，不僅要考慮軟質，而且還要考慮相對載荷應有較高的殘存載荷且具有回跳力(高回跳性)。具有某種程度的軟質，并提高殘存載荷和回跳力的話，那么被削材料上的凹部和凸部的研磨量之差就會消失，從而會均等地研磨。從這個觀點，使用橡膠海綿制做磨具構成材料中占較大容積的多孔質彈性體較合適。本專利技術所使用的橡膠海綿，被定義為不會失去作為橡膠特有特性的高的彈性而可通過使橡膠材料發泡獲得的多孔質狀且比較柔軟的橡膠制構件。本專利技術可使用的橡膠海綿，例如包含以下幾種A)使主要成分的天然橡膠及丁苯橡膠發泡的橡膠海綿天然橡膠，在結構上為聚異戊間二烯，主要由東南亞栽培的稱為三葉膠的橡膠樹流出的樹液(膠乳)制成。B)使主要成分的氯丁二烯橡膠發泡的橡膠海綿氯丁二烯橡膠，又稱為氯丁橡膠，是眾所周知的合成橡膠，它是以下一般式(I)所示的氯丁二烯聚合物。化學式1C)使主要成分的乙烯橡膠發泡的橡膠海綿乙烯丙烯橡膠，是乙烯和丙烯或乙烯和丙烯和第三成分的共聚合物，由以下一般式(II)表示?；瘜W式2D)使丁二烯和丙烯腈的共聚合物發泡的橡膠海綿E)使以硅氧烷結合為結構的橡膠發泡的橡膠海綿以上例舉了代表性的橡膠海綿，但是并不限于這些，本專利技術中可以使用本行業業者所了解的各種橡膠海綿。以下，與定義一起介紹適合本專利技術的橡膠海綿的特性值。橡膠硬度(軟質性)本專利技術的橡膠硬度，被定義為由橡膠硬度計(C分度)測定的橡膠海綿的硬度?；靥鴱椥月仕^回跳彈性率，是指橡膠海綿的回跳力。本專利技術的回跳彈性率的試驗方法，是把JIS K 6255試驗方法適用于圖4所示的測定方式。(1)準備洛氏硬度測定用的1/4英寸鋼球；(2)設置試片； (3)從距試片200mm高的地方落下1/4英寸的鋼球；(4)1/4英寸鋼球碰到試片，測定回跳的高度；(5)利用計算公式回跳彈性率＝回跳的高度(測定值mm)/落下前的高度(200mm)×100進行計算。25％壓縮載荷值所謂壓縮載荷值，就是用規定的載荷壓縮橡膠海綿時的殘存載荷。本專利技術中的25％壓縮載荷值，根據JIS K 6767的試驗方法定義。也就是說，25％壓縮載荷的試驗步驟，采用圖5所示的測定方式。(1)壓縮速度為10mm/min，把橡膠海綿試片壓縮至厚度的25％量；(2)保持20秒后，測定載荷(N本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種研磨用磨具，其特征在于，在圓筒狀的芯材上設置多孔質彈性體，在該多孔質彈性體的外周上設置了研磨層，其中上述多孔質彈性體是橡膠海綿。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：宮本幸一，相川和也，
申請(專利權)人：吳諾頓株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]