壓電振動裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種壓電振動裝置，難以產生電連接部分處的壓電元件、支承構件等的由應力集中產生的破壞，可靠性優異。壓電振動裝置(1)在支承構件(2)的壓電元件接合面(2a)接合了壓電元件(7)，壓電元件(7)具有形成在第1主面(8a)的第1驅動電極(9)、和形成在第2主面(8b)的第2驅動電極(10)，通過第1接合件層(5)，第1驅動電極(9)與形成在支承構件(2)的壓電元件接合面(2a)的第1布線電極(3)電連接，并且壓電元件(7)接合于支承構件(2)。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及例如用于壓電致動器、壓電發聲體等中的壓電振動裝置，更詳細而言，涉及使壓電元件與支承構件接合并且利用了彎曲模式的壓電振動裝置。
技術介紹
以往，壓電振動裝置用于壓電致動器、壓電發聲體或者觸覺設備(Haptics)等。作為壓電發聲體，例如存在壓電揚聲器。在下述的專利文獻I中，公開了一種用于壓電發聲體的壓電振動裝置。在該壓電振動裝置中，在殼體內容納了多個壓電振子。圖17是表示多個壓電振子1001、1002容納在殼體1003中的部分的主要部分的部分放大剖視圖。這里，僅圖示了殼體1003的一部分。在設置在殼體1003中的容納部1003a內，容納了壓電振子1001、1002。壓電振子1001、1002隔著間隔物1004而層疊。而且，按照夾著層疊在間隔物1004的兩側的壓電振子1001、1002的方式，安裝有由金屬構成的箝位部1005。通過箝位部1005，夾持壓電振子1001、1002，并且通過箝位部1005實現了與壓電振子1001、1002的外側面的電極的電連接。壓電振子1001、1002的另一側的端部也由同樣的構造支承。在先技術文獻專利文獻專利文獻I JP特開2006-324893號公報
技術實現思路
專利技術要解決的課題在專利文獻I所記載的壓電振動裝置中，為了將壓電振子1001、1002進行電連接而使用了上述箝位部1005。因此，可以省略基于接合線的接合等。但是，在壓電振動裝置中，在使壓電振子1001、1002的厚度變薄的情況下，被箝位部1005夾著從而被支承的壓電振子1001、1002存在如下問題:由于使壓電振動裝置振動時所產生的振動，應力集中在支承壓電振子1001、1002的部分，從而產生壓電振子1001、1002的破損、變形。另一方面，以往也采用了將接合線與壓電振子的驅動電極電連接的方法，但是伴隨壓電振子的振動，在接合線的接合部分處會產生接合線脫落。此外，若提高接合線的接合部分的強度，則由于接合件的剛性與壓電振子的驅動電極的剛性的差異，會因為應力集中而導致壓電振子破損。而且，也會產生驅動電極、布線電極的剝離。本專利技術的目的在于提供一種壓電振動裝置，使用了在壓電板的兩主面形成有驅動電極的壓電元件，并且難以產生驅動電極的電氣連接部分處的導通不良，難以產生壓電元件等的破壞，而且難以產生電極的剝離，可靠性優異。用于解決課題的手段本專利技術所涉及的壓電振動裝置具備壓電元件，其具有:壓電體，其具有相互對置的第I主面以及第2主面；第I驅動電極，其與第I主面平行地形成在壓電體的第I主面側；和第2驅動電極，其與第2主面平行地形成在壓電體的第2主面側，并且與第I驅動電極對置，第I驅動電極、第2驅動電極在壓電體的厚度方向上對置的區域設為活性區域，第I驅動電極和第2驅動電極未對置的區域設為非活性區域；以及支承構件，其具有接合壓電元件的壓電元件接合面。在本專利技術中，支承構件具有第I布線電極，該第I布線電極形成在壓電元件接合面，并且與壓電元件的第I驅動電極電連接。此外，在本專利技術中，壓電振動裝置還具備第I接合件層，該第I接合件層將壓電元件的第I驅動電極與支承構件的第I布線電極電連接，并且將壓電元件的第I主面與支承構件的壓電元件接合面接合。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的某特定方面，壓電元件還具有連接電極，該連接電極在壓電體的非活性區域中形成在壓電體的第I主面，并且與形成在第2主面的第2驅動電極電連接。此外，支承構件還具有第2布線電極，該第2布線電極形成在壓電元件接合面，并且與第2驅動電極電連接。進而，壓電振動裝置還具備第2接合件層，該第2接合件層將連接電極與第2布線電極電連接，并且將壓電元件的第I主面與支承構件的壓電元件接合面接合。在該情況下，不僅利用第I接合件層，還利用第2接合件層將壓電元件牢固地接合到壓電元件接合面。同時，第1、第2驅動電極與設置在支承構件的第1、第2布線電極電連接。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的某特定方面，支承構件存在用于從外部支承該支承構件的彎曲模式支承部，使得壓電元件以彎曲模式進行振動時，支承構件與該壓電元件一起以相同頻率的彎曲模式進行振動。在該情況下，僅通過彎曲模式支承部從外部如上所述地對支承構件進行支承，就能夠使壓電元件以及支承構件以彎曲模式振動。優選，彎曲模式支承部位于周邊部，該周邊部位于接合了壓電元件的區域的外側，第I布線電極到達周邊部。在該情況下，能夠容易地將第I布線電極與外部進行電連接。此外，優選，支承構件中的至少I次彎曲模式的節點位于彎曲模式支承部。在該情況下，基于彎曲模式的振動難以受到阻礙。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，壓電元件還具有保護層，該保護層形成在壓電體的第I主面，并且由絕緣性材料構成。所述保護層與支承構件的壓電元件接合面接合。在該情況下，通過保護層在壓電元件的第I主面側能夠可靠地防止第I驅動電極和第2驅動電極的短路。此外，通過保護層，能夠將壓電元件牢固地接合到支承構件的壓電元件接合面。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，壓電元件還具有按照覆蓋第2驅動電極的方式形成在壓電體的第2主面并且由絕緣性材料構成的保護層。在該情況下，第2驅動電極由保護層覆蓋，所以能夠防止第2驅動電極與手指直接接觸。因此，能夠防止觸電。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，保護層由與壓電體相同的材料構成。在該情況下，能夠提供一種不增加材料的種類而設置了保護層的壓電振動裝置。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，支承構件具有相對置的第I壓電元件接合面、第2壓電元件接合面，在第I壓電元件接合面、第2壓電元件接合面分別接合了壓電元件。在該情況下，因為在支承構件的兩面接合了壓電元件，所以能夠獲得較大的位移量，并且能夠提高聲壓。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，壓電體以及支承構件具有矩形的平面形狀，該矩形具有短邊和長邊。支承構件的矩形的短邊的長度與壓電體的矩形的短邊的長度相等。第I驅動電極、第2驅動電極形成為跨壓電體的短邊方向全長。在該情況下，通過將層疊母壓電體以及母支承構件而構成的母層疊體以與上述支承構件的矩形的短邊的長度以及壓電體的矩形的短邊的長度相等的間隔進行切斷，從而能夠容易地獲得壓電振動裝置。因此，能夠提高壓電振動裝置的量產性。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，第I驅動電極形成在壓電體的第I主面，第2驅動電極形成在壓電體的第2主面的整個面。壓電元件還具有在壓電體的非活性區域中形成在壓電體的第I主面上并且與第2驅動電極電連接的連接電極。該連接電極形成為從壓電體的第I主面到達壓電體的側面，并且在壓電體的側面和第2主面構成的棱線處與第2驅動電極連接。在該情況下，能夠不降低壓電元件的驅動效率地，容易地在支承構件的壓電元件接合面使第I驅動電極與第2布線電極接合。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，支承構件的矩形的長邊的長度比壓電元件的矩形的長邊的長度長，第I布線電極到達支承構件的接合了壓電元件的部分的側方區域。在該情況下，能夠容易地將第I布線電極與外部電連接。在本專利技術所涉及的壓電振動裝置的另一特定方面，將支承構件的矩形的長邊的長度設為LI，將壓電體中的活性區域的沿支承構件的矩形的長邊方向的長度設為L2時，(L2/LI) X 100%為75%以上。在該情本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2010.11.01 JP 2010-2451301.一種壓電振動裝置，具備: 壓電元件，其具有:壓電體，其具有相互對置的第I主面以及第2主面；第I驅動電極，其與第I主面平行地形成在所述壓電體的所述第I主面側；和第2驅動電極，其與第2主面平行地形成在所述壓電體的所述第2主面側，并且與所述第I驅動電極對置，所述第I驅動電極、第2驅動電極在所述壓電體的厚度方向上對置的區域設為活性區域，所述第I驅動電極和所述第2驅動電極未對置的區域設為非活性區域；以及支承構件，其具有接合所述壓電元件的壓電元件接合面， 所述支承構件具有第I布線電極，該第I布線電極形成在所述壓電元件接合面，并且與所述壓電元件的第I驅動電極電連接， 所述壓電振動裝置還具備第I接合件層，該第I接合件層將所述壓電元件的所述第I驅動電極與所述支承構件的所述第I布線電極電連接，并且將所述壓電元件的第I主面與所述支承構件的壓電元件接合面接合。2.根據權利要求1所述的壓電振動裝置，其中， 所述壓電元件還具有連接電極，該連接電極在所述壓電體的所述非活性區域中形成在所述壓電體的第I主面，并且與形成在所述第2主面的第2驅動電極電連接， 所述支承構件還具有第2布線電極，該第2布線電極形成在所述壓電元件接合面，并且與所述第2驅動電極電連接， 所述壓電振動裝置還具備第2接合件層，該第2接合件層將所述連接電極與所述第2布線電極電連接，并且將所述壓電元件的第I主面與所述支承構件的壓電元件接合面接合。3.根據權利要求1或2所述的壓電振動裝置，其中， 所述支承構件存在用于從外部支承所述支承構件的彎曲模式支承部，使得所述壓電元件以彎曲模式進行振動時，所述支承構件與該壓電元件一起以相同頻率的彎曲模式進行振動。4.根據權利要求3所述的壓電振動裝置，其中， 所述彎曲模式支承部位于周邊部，該周邊部位于接合了所述壓電元件的區域的外側，所述第I布線電極到達所述周邊部。5.根據權利要求4所述的壓電振動裝置，其中， 所述支承構件中的至少I次彎曲模式的節點...

【專利技術屬性】
技術研發人員：宇波俊彥，進藤智，森田亙，加賀山健司，堀川勝弘，
申請(專利權)人：株式會社村田制作所，
類型：
國別省市：