【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種烘烤裝置，更具體地說，本技術涉及一種磷化銦生長材料烘烤爐。
技術介紹
磷化銦已成為一種制造微波器件和光電集成電路的重要半導體材料。為了能夠提高磷化銦生長材料的質量，改善其電學性質，研究和控制磷化銦單晶生長和熱處理過程所產生的缺陷是一條重要的途徑。近幾年來，高溫退火處理方法被用于降低磷化銦單晶中的殘留熱應力、改善晶片的電學均勻性和制備半絕緣磷化銦材料。根據磷化銦晶體生長需求，烘烤爐在溫度和時間上要求嚴苛，需要專門設計烘烤爐以滿足所需的精度的要求，以獲得高質量的磷化銦生長材料。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種磷化銦生長材料所需烘烤爐，以獲得高質量的磷化銦生長材料。本技術的目的是通過以下技術方案來實現的:提供一種磷化銦生長材料烘烤爐，包括烘烤爐外套、絕緣陶瓷件、加熱棒及石英管。所述烘烤爐外套由兩個一端封口的翻蓋中空夾套組成，夾套升溫時蓋緊，降溫時打開，可節省生產時間；夾套外壁由不銹鋼制作；夾套內嵌有絕緣陶瓷件及加熱棒，加熱棒為石墨電阻加熱棒，其通過絕緣陶瓷件平行均勻排列固定在夾套內壁；石墨電阻加熱棒分8組，每組中的石墨電阻由三根加熱棒相互串聯在一起，每組石墨電阻加熱棒單獨控制；石墨電阻加熱棒的粗細、長短可根據爐體最高加熱溫度和爐體大小確定；不銹鋼外壁與絕緣陶瓷件之間填充有隔熱材料，以起保溫作用。所述石英管一端封口，另一端開口，與真空抽取系統連接時能將烤出來的副產物和雜質能及時的排出。本技術的有益效果是:提供的磷化銦生長材料烘烤爐控溫精準，升降溫速度快，使生產時間大為降低。而且以一端封口石英管作為爐腔，使爐腔系統密封性得到保證，與真空抽取系統連接時...
【技術保護點】
一種磷化銦生長材料烘烤爐，其特征在于：所述烘烤爐包括烘烤爐外套、絕緣陶瓷件、加熱棒及石英管。烘烤爐外套由兩個一端封口的翻蓋中空夾套組成，夾套外壁由不銹鋼制作，夾套內嵌有絕緣陶瓷件及加熱棒，不銹鋼外壁與絕緣陶瓷件之間填充有隔熱材料，石英管一端封口，另一端開口。
【技術特征摘要】
1.一種磷化銦生長材料烘烤爐，其特征在于:所述烘烤爐包括烘烤爐外套、絕緣陶瓷件、加熱棒及石英管。烘烤爐外套由兩個一端封口的翻蓋中空...
【專利技術屬性】
技術研發人員：關活明，
申請(專利權)人：臺山市華興光電科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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