一種光幕傳感器聯鎖方法技術

一種光幕傳感器聯鎖方法，包括：光幕傳感器(1)，傳感器聯鎖信號(2)，左片庫門剎車(3)，左片庫電梯剎車(4)，左片庫門和電梯(5)，右片庫門剎車(6)，右片庫電梯剎車(7)，右片庫門和電梯(8)，電腦主界面(9)。其特征在于，光幕傳感器(1)檢測到障礙物時發出傳感器聯鎖信號(2)，自動使離子注入機的片庫門和片庫電梯停止一切動作，確保設備片庫門不會壓到障礙物(如未到位晶片)，防止片庫門壓壞未到位晶片，避免操作人員進行調試時造成身體的擠壓傷害，同時發出警報至電腦主界面(9)顯示。本發明專利技術提升設備的安全保護功能，可確保離子注入機本身安全，保護操作人員的身體安全，提高離子注入機的可靠性和安全性。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種光幕傳感器聯鎖方法，包括：光幕傳感器(1)，傳感器聯鎖信號(2)，左片庫門剎車(3)，左片庫電梯剎車(4)，左片庫門和電梯(5)，右片庫門剎車(6)，右片庫電梯剎車(7)，右片庫門和電梯(8)，電腦主界面(9)；光幕傳感器(1)一旦觸發，使離子注入機相應的片庫門和電梯停止一切動作，防止片庫門壓壞障礙物，避免操作人員進行調試時造成身體的擠壓傷害。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：胡東京，
申請(專利權)人：北京中科信電子裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：