半導(dǎo)體器件的檢查裝置和其所使用的吸盤臺制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)的課題為提供一種能夠在晶片狀態(tài)下對在晶片基板的兩面具有電極的半導(dǎo)體器件的特性進(jìn)行高精度測定的半導(dǎo)體器件的檢查裝置及其所使用的吸盤臺。本發(fā)明專利技術(shù)通過提供如下的半導(dǎo)體器件的檢查裝置來解決上述課題，所述檢查裝置具有表面電極用探針以及背面電極用探針和吸盤臺，在所述吸盤臺的上表面，晶片保持部和導(dǎo)電性的探針接觸區(qū)域相鄰地配置，所述探針接觸區(qū)域與所述晶片保持部電導(dǎo)通，所述表面電極用探與所述背面電極用探針在水平方向上相互隔著距離地配置，以使得在所述表面電極用探針在檢查對象晶片內(nèi)相對移動了時，所述背面電極用探針在所述探針接觸區(qū)域內(nèi)相對移動。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點】
一種半導(dǎo)體器件的檢查裝置，其特征在于，具有：表面電極用探針以及背面電極用探針、和能夠相對于所述表面電極用探針以及背面電極用探針相對移動的吸盤臺，在所述吸盤臺的上表面，對成為檢查對象的晶片進(jìn)行保持的晶片保持部、和包含與被保持在所述晶片保持部上的最大的晶片相同形狀且相同大小的區(qū)域的導(dǎo)電性的探針接觸區(qū)域以相互的區(qū)域不重疊的形態(tài)相鄰地配置，所述晶片保持部中的與晶片背面接觸的接觸部為導(dǎo)電性的，所述探針接觸區(qū)域與所述晶片保持部中的所述接觸部電導(dǎo)通，所述表面電極用探針和所述背面電極用探針在水平方向上相互隔著距離地配置，以使得在使所述吸盤臺移動且所述表面電極用探針在檢查對象晶片內(nèi)相對地移動時，所述背面電極用探針在所述探針接觸區(qū)域內(nèi)相對地移動。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：安田勝男，增田光，根井秀樹，
申請(專利權(quán))人：日本麥可羅尼克斯股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：