【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種氣相外延裝置，包括：底板、上蓋板、位于底板和上蓋板之間的側壁和位于底板上的基板，所述底板、上蓋板、側壁和基板構成反應腔室，其特征在于，還包括：位于側壁下端等夾角分布的至少4個的排氣口，用于排出反應腔室內的氣體；位于上蓋板上與基板相對設置的加熱裝置，所述加熱裝置上分布有若干加熱燈管。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：涂火金，
申請(專利權)人：中芯國際集成電路制造上海有限公司，
類型：發明
國別省市：
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