一種制備Y2O3陶瓷涂層的改進方法技術

本發(fā)明專利技術涉及Y2O3陶瓷涂層制造技術領域，具體涉及一種制備Y2O3陶瓷涂層的改進方法。所述制備Y2O3陶瓷涂層的改進方法，包括如下步驟：步驟(1)，選擇純度大于99.95％的Y2O3粉末；步驟(2)，對待噴涂的基材表面進行預處理；步驟(3)，選擇Ar和H2氣體為離子氣體，通過等離子體噴涂設備在所述基材表面進行等離子噴涂，并且在所述等離子噴涂時向等離子焰流中通入O2，制備出Y2O3涂層。本發(fā)明專利技術以Ar/H2為噴涂氣體并在等離子焰流中加入O2，以避免Y2O3的缺氧，以本發(fā)明專利技術方法制備的Y2O3涂層為純正白色，色澤均勻，不再出現雜色斑點，并且具有優(yōu)異的耐刻蝕性能。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種制備Y2O3陶瓷涂層的改進方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟(1)，選擇純度大于99.95％的Y2O3粉末；步驟(2)，對待噴涂的基材表面進行預處理；步驟(3)，選擇Ar和H2氣體為離子氣體，通過等離子體噴涂設備在所述基材表面進行等離子噴涂，并且在所述等離子噴涂時向等離子焰流中通入O2，制備出Y2O3涂層。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：邵花，王文東，劉邦武，夏洋，李勇滔，
申請(專利權)人：中國科學院微電子研究所，
類型：發(fā)明
國別省市：