機器人和制造裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術提供一種機器人和制造裝置。所述機器人能夠容易地設置到罩內。實施方式的機器人具備機體部和臂單元。機體部從真空罩的上方被搬入真空罩內，并且被固定于真空罩。此外，臂單元從真空罩的上方被搬入罩內，并且與已固定于罩內的機體部連接。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

公開的實施方式涉及機器人、機器人的設置方法和制造裝置。
技術介紹
以往，公知有搬送工件的機器人。作為搬送機器人公知有例如水平多關節機器人，該水平多關節機器人利用在水平方向伸縮的臂來搬送工件(參照專利文獻I)。搬送機器人例如在半導體制造裝置或液晶制造裝置等中用于搬送半導體晶片或玻璃基板等工件。在這種裝置中對工件的處理多在減壓后的真空罩內進行。因此，搬送機器人也多配置在真空罩內。在將搬送機器人組裝到真空罩的情況下，例如利用橋式起重器等起重器裝置吊起搬送機器人移動到真空罩的上方之后，使起重器裝置下降并將搬送機器人搬入真空罩內。專利文獻1:日本特許第3881579號公報可是，近年來玻璃基板或半導體晶片等工件逐漸大型化，并且搬送機器人和真空罩伴隨這些工件的大型化也變得大型化。因此，具有難以將搬送機器人設置到真空罩內的可能性。例如，搬送機器人越大型化，其高度尺寸就越容易變大。因此，為了使大型化的搬送機器人位于真空罩的上方，優選確保搬送機器人的搬入空間、即真空罩上表面的上方的空間更寬敞。但是，當搬送機器人的高度尺寸變大時，收納搬送機器人的真空罩的高度尺寸也變大，因此難以確保搬送機器人的搬入空間寬敞。這樣，搬送機器人越大型化，可能就越難將搬送機器人設置到真空罩內。
技術實現思路
實施方式的一個形態的目的在于，提供能夠容易地設置到罩內的機器人、機器人的設置方法和制造裝置。實施方式的一個形態的機器人具備第一單元和第二單元。第一單元從罩的上方被搬入罩內，并且被固定于罩。第二單元從罩的上方被搬入罩內，并且與已固定于罩內的第一單元相連接。此外，所述機器人中，所述第一單元的高度尺寸和所述第二單元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空間的高度尺寸，所述第一單元和所述第二單元各自的高度尺寸小于所述搬入空間的高度尺寸。所述機器人中，所述第一單元具有使所述第二單元沿鉛直方向升降的升降部，所述第二單元具有在水平方向伸縮的臂部和使所述臂部以平行于鉛直方向的回轉軸線為中心旋轉的回轉部。所述機器人中，所述升降部具有電動機、筒狀的軸部以及變換機構，所述變換機構配置在所述軸部的筒內，用于將所述電動機的旋轉運動變換為直線運動使所述軸部升降，所述軸部具有引導體，該引導體用于將從所述軸部的上方插入的所述第一單元的配線引導向形成在所述軸部的內周面與所述變換機構之間的配線空間。所述機器人中，所述第一單元在上部具有在水平方向延伸的第一凸緣部，所述第二單元在下部具有在水平方向延伸的第二凸緣部，通過將所述第一凸緣部和所述第二凸緣部固定在一起，所述第二單元與所述第一單元連接。所述機器人中，所述第一凸緣部和所述第二凸緣部中的一方具有定位用的凸部，所述第一凸緣部和所述第二凸緣部中的另一方具有與所述凸部卡合的定位用的凹部。此外，實施方式的一個形態的機器人的設置方法包括固定工序和連接工序。在固定工序中，將機器人的第一單元從罩的上方搬入罩內并固定于罩。在連接工序中，將機器人的第二單元從罩的上方搬入罩內并連接至已固定于罩內的第一單元。此外，實施方式的一個形態的制造裝置具備罩和被設置于罩的機器人。并且，機器人具備第一單元和第二單元。第一單元從罩的上方被搬入罩內，并且被固定于罩。第二單元從罩的上方被搬入罩內，并且與已固定于罩內的第一單元相連接。根據實施方式的一個形態，能夠提供容易地設置到罩內的機器人、機器人的設置方法和制造裝置。附圖說明圖1是第一實施方式的機器人的示意立體圖。圖2是示出將機器人設置于真空罩后的狀態的示意側視圖。圖3是示出機體部和基座部的結構的示意剖視圖。圖4是真空罩上方的搬入空間的高度尺寸和機器人的高度尺寸的比較圖。圖5A是示出機體部向真空罩設置的設置方法的說明圖。圖5B是示出臂單元向真空罩設置的設置方法的說明圖。圖6是示出臂單元相對于機體部的大致定位方法的說明圖。標號說明1:機器人10:機體部11:殼體12:凸緣部125、126:引導部件15:升降凸緣部15a:第一對接凸緣(docking flange)15b:第二對接凸緣151:定位銷152、154:貫通孔153:卡合孔20:臂單元21:固定基座部22:第一臂部23:第二臂部24:可動基座部25:輔助臂部30:真空罩31:開口部32:蓋部40:升降裝置42:變換機構43:軸部60:回轉裝置61:帶減速器的電動機61a:電動機61b:減速器62:軸部622:貫通孔300:配線450:引導體600:懸吊工具602a、603a:貫通孔610:套環700:橋式起重機701:鉤751:行駛道800:懸吊工具810:套環具體實施方式以下，參照附圖，對本申請公開的機器人、機器人的設置方法和制造裝置的實施方式詳細進行說明。并且，本技術并不受以下所示的實施方式限定。首先，利用圖1對本實施方式的機器人的結構進行說明。圖1是實施方式的機器人的示意立體圖。如圖1所示，機器人I是具備在水平方向伸縮的兩個伸縮臂的水平多關節機器人。具體來說，機器人I具備機體部10和臂單元20。機體部10為設在臂單元20下部的單元。所述機體部10在筒狀的殼體11內具備升降裝置，利用所述升降裝置使臂單元20沿鉛直方向升降。升降裝置的結構利用圖3進行說明。在殼體11的上部形成有凸緣部12。通過將該凸緣部12支承于在真空罩形成的開口部的邊緣部，機器人I成為設置于真空罩的狀態。關于這一點，利用圖2進行說明。臂單元20是經由升降凸緣部15與機體部10連接的單元。具體來說，臂單元20具備固定基座部21、第一臂部22、第二臂部23、可動基座部24以及輔助臂部25。并且，在本實施方式中，固定基座部21、第一臂部22、第二臂部23以及可動基座部24分別對應于第一部件、第二部件、第三部件以及第四部件。固定基座部21相對于升降凸緣部15被支承成能夠旋轉。固定基座部21具備由電動機或減速器、軸等構成的回轉裝置，所述固定基座部21利用所述回轉裝置進行旋轉。利用圖3對回轉裝置的結構進行說明。第一臂部22的基端部經由減速器以能夠旋轉的方式連接于固定基座部21的上部。另外，第二臂部23的基端部經由減速器以能夠旋轉的方式連接于第一臂部22的末端上部。并且，可動基座部24以能夠旋轉的方式連接于第二臂部23的末端部。可動基座部24在上部具備用于保持工件的末端執行器24a，該可動基座部24隨著第一臂部22和第二臂部23的旋轉動作而移動。在機器人I中，通過使用一個電動機使設于第一臂部22的基端部的減速器和設于第一臂部22的末端部的減速器同步地動作，來使末端執行器24a直線移動。具體來說，在機器人I中，以第二臂部23相對于第一臂部22的旋轉量為第一臂部22相對于固定基座部21的旋轉量的2倍的方式，使第一臂部22和第二臂部23旋轉。例如，在機器人I中，以這樣的方式使第一臂部22和第二臂部23旋轉:在第一臂部22相對于固定基座部21旋轉了 α度的情況下、第二臂部23相對于第一臂部22旋轉2 α度。由此，末端執行器24a直線移動。從防止真空罩內的污染等觀點出發，減速器、電動機這些驅動機構被收納在保持為大氣壓的第一臂部22的內部。由此，即使是將機器人I放置于減壓環境下的情況，也能夠防止潤滑脂等潤滑油的干燥，此外，還能夠防止因產生灰塵而使真空罩內被污染。輔助臂部25為連桿機構,其以移動中的末端本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種機器人，其特征在于，?所述機器人具備：?第一單元，其從罩的上方被搬入所述罩內，并且被固定于所述罩；和?第二單元，其從所述罩的上方被搬入所述罩內，并且與已固定于所述罩內的所述第一單元連接。

【技術特征摘要】
2011.09.08 JP 2011-1960701.一種機器人,其特征在于， 所述機器人具備: 第一單元，其從罩的上方被搬入所述罩內，并且被固定于所述罩；和 第二單元，其從所述罩的上方被搬入所述罩內，并且與已固定于所述罩內的所述第一單元連接。2.根據權利要求1所述的機器人，其特征在于， 所述第一單元的高度尺寸和所述第二單元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空間的高度尺寸， 所述第一單元和所述第二單元各自的高度尺寸小于所述搬入空間的高度尺寸。3.根據權利要求1或2所述的機器人，其特征在于， 所述第一單元具有使所述第二單元沿鉛直方向升降的升降部， 所述第二單元具有在水平方向伸縮的臂部和使所述臂部以平行于鉛直方向的回轉軸線為中心旋轉的回轉部。4.根據權利要求3所述的機器人，其特征在于， 所述升降部具有電動機、筒狀的軸部以及變換機構，所述變換機構配置在所述軸部的筒內，用于將所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：古川伸征，野口忠隆，大仁健輔，
申請(專利權)人：株式會社安川電機，
類型：實用新型
國別省市：