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    一種多晶硅錠制造裝置制造方法及圖紙

    技術編號:8743401 閱讀:149 留言:0更新日期:2013-05-29 20:43
    本發明專利技術公開了一種多晶硅錠制造裝置,包括坩堝、支撐板、加熱器、冷卻板、隔熱板、高純石英玻璃層、溫度傳感器,所述坩堝固定在支撐板上,所述加熱器設在坩堝周圍,所述隔熱板設在加熱器周圍,加熱器內壁設有溫度傳感器,冷卻板位于坩堝下部,高純石英玻璃層設置在坩堝內壁。本發明專利技術多晶硅錠制造裝置能有效的控制加熱溫度以及加熱時間,顯著提高多晶硅錠晶粒的定向性,生產出的硅錠性能較佳。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    一種多晶硅錠制造裝置,其特征在于:包括坩堝(1)、支撐板(2)、加熱器(3)、冷卻板(4)、隔熱板(5)、高純石英玻璃層(6)、溫度傳感器(7),所述坩堝(1)固定在支撐板(2)上,所述加熱器(3)設在坩堝(1)周圍,所述隔熱板(5)設在加熱器(3)周圍,加熱器(3)內壁設有溫度傳感器(7),冷卻板(4)位于坩堝下部,高純石英玻璃層(6)設置在坩堝(1)內壁。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:李川川
    申請(專利權)人:常州市萬陽光伏有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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