基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，包括依次連接的傳感器、A/D轉換裝置、第一微處理器、第二微處理器、電磁閥控制電路；A/D轉換裝置還直接與所述第二微處理器連接；第一微處理器連接有顯示裝置，第二微處理器設有通訊接口；A/D轉換裝置設有設定信號輸入接口。第一微處理器進行流量檢測、流量顯示、故障診斷等功能；第二微處理器進行PID控制算法，輸出的結果來控制電磁閥，并實現遠程通訊等功能。兩個CPU分別完成不同的工作，使抗干擾能力增強，運算速度加快。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種氣體質量流量控制器，尤其涉及一種基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置。
技術介紹
氣體質量流量控制器是微電子領域、化工領域等常用的元件。現有技術中的氣體質量流量控制器分模擬和數字兩種類型產品，模擬式流量控制器的抗干擾能力差、控制精度低；數字式流量控制器以單微處理器為主，處理速度慢。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種抗干擾能力強、處理速度快的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置。本技術的目的是通過以下技術方案實現的:本技術的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，包括依次連接的傳感器、A/D轉換裝置、第一微處理器、第二微處理器、電磁閥控制電路；所述A/D轉換裝置還直接與所述第二微處理器連接；所述第一微處理器連接有顯示裝置，所述第二微處理器設有通訊接口 ；所述A/D轉換裝置設有設定信號輸入接口。由上述本技術提供的技術方案可以看出，本技術所述的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，由于包括依次連接的傳感器、A/D轉換裝置、第一微處理器、第二微處理器、電磁閥控制電路；A/D轉換裝置還直接與所述第二微處理器連接；第一微處理器連接有顯示裝置，第二微處理器設有通訊接口 ；A/D轉換裝置設有設定信號輸入接口。這樣兩個(PU分別完成不同的工作，使抗干擾能力增強，運算速度加快。附圖說明圖1為本技術基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置的結構示意圖；圖2為本技術具體實施例的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置的系統框圖。具體實施方式本技術的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，其較佳的具體實施方式如圖1所示:包括依次連接的傳感器、A/D轉換裝置、第一微處理器、第二微處理器、電磁閥控制電路；所述A/D轉換裝置還直接與所述第二微處理器連接；所述第一微處理器連接有顯示裝置，所述第二微處理器設有通訊接口 ；所述A/D轉換裝置設有設定信號輸入接口。所述A/D轉換裝置還設有故障診斷信號輸入接口。如圖2所示，所述傳感器設有信號調理模塊。所述第二微處理器設有信號處理模塊，所述處理模塊包括PID控制模塊。具體實施例中，所述傳感器信號調理模塊輸出的流量信號經過A/D轉換裝置把模擬信號轉化為數字信號后，輸入到第一微處理器，第一微處理器對接收到的流量信號進行信號處理、數字濾波后，通過顯示模塊進行流量顯示，同時把流量信號輸送給第二微處理器；設定信號經過A/D轉換裝置把模擬信號轉換為數字信號后，輸入到第二微處理器，第二微處理器設有PID控制模塊，對接收到的流量信號和設定信號進行PID控制算法，經過PID控制算法后的結果輸出到所述電磁閥控制電路。還可以包括故障診斷模塊，所述故障診斷模塊檢測到的故障檢測信號實時輸入給第一微處理器，當發生異常時第一微處理器對第二微處理器發出命令，第二微處理器接到命令后對故障進行處理及報警。所述第二微處理器可以設有通訊模塊，用于該控制器的遠程通訊。本技術的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，第一微處理器進行流量檢測、流量顯示、故障診斷等功能；第二微處理器進行PID控制算法，輸出的結果來控制電磁閥。這樣兩個CPU分別完成不同的工作，使抗干擾能力增強，運算速度加快。其中:傳感器信號調理模塊主要是對傳感器的電壓信號進行濾波、放大。A/D轉換裝置的功能是把流量、溫度及故障點等模擬量轉化為微處理器能處理的數字量。PID控制模塊主要為比例、積分和微分控制算法，用這種方法可以精確控制流量。故障診斷模塊主要是檢測系統設置的故障點，當發生異常時微處理器可以對故障進行處理及報警。電磁閥控制電路主要是對PID控制算法輸出的信號進行濾波、放大，從而來控制電磁閥。 具體實施例的工作原理如圖1、圖2所示:傳感器出來的流量檢測信號經過信號調理電路進行濾波、放大，由A/D轉換裝置把模擬信號轉化為數字信號，然后送到第一微處理器，第一微處理器對流量信號進行信號處理、數字濾波等，然后進行流量顯示，同時把流量信號輸送給第二微處理器。設定信號接到A/D轉換裝置，把模擬信號轉換為數字信號后接到第二微處理器，第二微處理器實現PID算法，經過PID控制算法后的輸出結果進行信號處理后控制電磁閥，這樣流量檢測信號和設定信號的差值經過PID算法后不停調節電磁閥，最終使輸出的流量維持在設定值，實現了精確控制流量的目的。在系統中會設置故障檢測信號，第一微處理器會實時檢測故障診斷信號，當發生異常時第一微處理器會對第二微處理器發出命令，第二微處理器接到命令后對故障進行處理及報警，使整個控制系統變得更穩定。第二微處理器設置了 485通訊模塊，完成了控制器和上位機的通訊，通過上位機可以控制流量控制器。本技術的基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，采用了數據采集和控制算法分開設計的思想，使抗干擾能力增強、處理速度更快，而且容易對系統進行優化和升級。以上所述，僅為本技術較佳的具體實施方式，但本技術的保護范圍并不局限于此，兩個CUP的功能并不具體限定，可以根據要求調整兩個CPU的功能，任何熟悉本
的技術人員在本技術披露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本技術的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，其特征在于，包括依次連接的傳感器、A/D轉換裝置、第一微處理器、第二微處理器、電磁閥控制電路；所述A/D轉換裝置還直接與所述第二微處理器連接；所述第一微處理器連接有顯示裝置，所述第二微處理器設有通訊接口；所述A/D轉換裝置設有設定信號輸入接口。

【技術特征摘要】
1.一種基于雙CPU的氣體質量流量控制裝置，其特征在于，包括依次連接的傳感器、A/D轉換裝置、第一微處理器、第二微處理器、電磁閥控制電路； 所述A/D轉換裝置還直接與所述第二微處理器連接； 所述第一微處理器連接有顯示裝置，所述第二微處理器設有通訊接口 ； 所述A/D轉換裝置設有設定信號輸入接口。2.根據權利要求1所述的基于雙...

【專利技術屬性】
技術研發人員：蔣興東，吳薇，李甲，
申請(專利權)人：北京七星華創電子股份有限公司，
類型：新型
國別省市：北京;11