【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體分立器件和太陽能電池片的制造領(lǐng)域。
技術(shù)介紹
磷擴散是半導(dǎo)體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結(jié)所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術(shù)是熱擴散技術(shù)。半導(dǎo)體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達到18萬噸是半導(dǎo)體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導(dǎo)體產(chǎn)量更大。國內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術(shù)成熟的磷擴散技術(shù)主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態(tài)磷源擴散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，因此運用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進行大批量生產(chǎn)。磷擴散方法的結(jié)構(gòu)圖如附圖說明圖1所示，磷擴散的化學(xué)反應(yīng)方程式如下:
【技術(shù)保護點】
一種磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于包括如下步驟：首先，磷擴散爐排出的三氯氧磷氣體進入緩沖箱內(nèi)與進入緩沖箱內(nèi)的自然風(fēng)混合冷卻，其中該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱的內(nèi)壁涂覆有特氟龍涂層，所述緩沖箱體后側(cè)壁上設(shè)有爐管開口，磷擴散爐的爐管通過所述爐管開口伸入所述緩沖箱，所述緩沖箱體前側(cè)敞口并設(shè)有密封門，所述密封門右側(cè)與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側(cè)與緩沖箱體之間設(shè)有鎖閉結(jié)構(gòu)，所述密封門上設(shè)有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)引導(dǎo)自然風(fēng)進入緩沖箱，所述緩沖箱體右側(cè)壁上設(shè)有抽風(fēng)管開口，爐管口部上設(shè)有爐帽，所述爐帽包括底部封閉的圓筒形石英材質(zhì)帽體，所述帽體底部設(shè)有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內(nèi)壁焊接有一石英卡環(huán)，所述開口延嘴設(shè)置在卡環(huán)底面與帽體底壁之間，爐管口部頂接在卡環(huán)上，開口延嘴正對緩沖箱體右側(cè)壁上的抽風(fēng)管開口；其次，冷卻后的三氯氧磷氣體被抽入抽風(fēng)管并在抽風(fēng)管內(nèi)被噴淋的氨水中和液化落入抽風(fēng)管底部的密封水箱，密封水箱內(nèi)儲存的冷卻碳酸氫鈉溶液中和液態(tài)的三氯氧磷，其中該抽風(fēng)管為U形管，抽風(fēng)管一端設(shè)置開口方向與抽風(fēng)管左側(cè)管道垂直的進風(fēng)口，進風(fēng)口通過緩沖箱的抽風(fēng)管開口與緩沖箱連通，抽風(fēng)管另一端設(shè)有高于進風(fēng)口的出...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于包括如下步驟: 首先，磷擴散爐排出的三氯氧磷氣體進入緩沖箱內(nèi)與進入緩沖箱內(nèi)的自然風(fēng)混合冷卻，其中該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱的內(nèi)壁涂覆有特氟龍涂層，所述緩沖箱體后側(cè)壁上設(shè)有爐管開口，磷擴散爐的爐管通過所述爐管開口伸入所述緩沖箱，所述緩沖箱體前側(cè)敞口并設(shè)有密封門，所述密封門右側(cè)與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側(cè)與緩沖箱體之間設(shè)有鎖閉結(jié)構(gòu)，所述密封門上設(shè)有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)引導(dǎo)自然風(fēng)進入緩沖箱，所述緩沖箱體右側(cè)壁上設(shè)有抽風(fēng)管開口，爐管口部上設(shè)有爐帽，所述爐帽包括底部封閉的圓筒形石英材質(zhì)帽體，所述帽體底部設(shè)有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內(nèi)壁焊接有一石英卡環(huán)，所述開口延嘴設(shè)置在卡環(huán)底面與帽體底壁之間，爐管口部頂接在卡環(huán)上，開口延嘴正對緩沖箱體右側(cè)壁上的抽風(fēng)管開口； 其次，冷卻后的三氯氧磷氣體被抽入抽風(fēng)管并在抽風(fēng)管內(nèi)被噴淋的氨水中和液化落入抽風(fēng)管底部的密封水箱，密封水箱內(nèi)儲存的冷卻碳酸氫鈉溶液中和液態(tài)的三氯氧磷，其中該抽風(fēng)管為U形管，抽風(fēng)管一端設(shè)置開口方向與抽風(fēng)管左側(cè)管道垂直的進風(fēng)口，進風(fēng)口通過緩沖箱的抽風(fēng)管開口與緩沖箱連通，抽風(fēng)管另一端設(shè)有高于進風(fēng)口的出風(fēng)口，該出風(fēng)口開口向上并連接抽風(fēng)機，抽風(fēng)機抽風(fēng)將緩沖箱內(nèi)冷卻后的三氯氧磷氣體抽入抽風(fēng)管進風(fēng)口，抽風(fēng)管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層，所述抽風(fēng)管的左側(cè)管道頂壁上設(shè)有氨水噴嘴進行氨水的霧狀噴淋，所述抽風(fēng)管底部開口并設(shè)有縮口結(jié)構(gòu)；該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側(cè)張開的張口結(jié)構(gòu)，所述縮口結(jié)構(gòu)插入所述張口結(jié)構(gòu)，縮口結(jié)構(gòu)與張口結(jié)構(gòu)密封并固定； 最后，液化并中和的三氯氧磷液體從密封水箱排出進入廢水處理系統(tǒng)進行處理，其中，密封箱體底部側(cè)面設(shè)有進水口，密封箱體正對進水口的側(cè)面在進水口上方設(shè)有溢流排水口，所述密封水箱進水口通過管道與冷卻罐連接，所述溢流排...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳功，
申請(專利權(quán))人：陳功，
類型：發(fā)明
國別省市：
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