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    一種激光干涉儀光程差定位方法及系統技術方案

    技術編號:8654867 閱讀:310 留言:0更新日期:2013-05-01 22:27
    本發明專利技術公開了一種結構簡單、緊湊的光路折疊激光干涉儀系統,用于傅里葉變換光譜儀動鏡、定鏡兩路光程差精確定位。通過采用空間上布局緊湊的角錐回射器和反射鏡組合,激光干涉儀的動臂光路被折疊4次,干涉儀產生的干涉圖樣周期縮短4倍。通過過零點檢測電路的光電轉換,可產生小于100納米的等光程差間隔脈沖信號,用于觸發傅里葉變換光譜儀的探測器對待測信號干涉圖樣的采樣。本發明專利技術提出的激光干涉儀系統不僅可以將傅里葉變換光譜儀的工作光譜范圍向短波段拓展至近紫外(~350納米),還同時保持了傅里葉變換光譜儀的高測量精度(Connes)優點。據此實現的紫外-可見光傅里葉變換光譜儀可在化學、生物、醫藥、材料、光學等諸多領域得到廣泛應用。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術為一種激光干涉儀光程差定位方法及系統
    技術介紹
    相比于色散型分光光譜儀,傅里葉變換光譜儀在長波紅外波段具有如下明顯的固有光學特性優點:1多通道(Multiplex) ;2高光通量(Throughput) ;3高光譜測量精度(Connes) ;4寬測量波段;5高/可調諧光譜分辨率;6全波段分辨率一致。因此,傅里葉變換光譜儀被廣泛的應用在紅外吸收譜的測量中,且被更廣泛的稱作傅里葉紅外光譜儀。傅里葉紅外光譜儀可以對樣品進行定性和定量分析,具有信噪比高、重現性好和掃描速度快等特點,被廣泛應用于醫藥化工、地礦、石油、煤炭、環保、海關、寶石鑒定、刑偵鑒定等領域。若不考慮吸收譜的測量,更為廣義的傅里葉變換光譜儀主要由光源、光闌、干涉儀(分束器、動鏡、定鏡)、探測器以及各種反射鏡、激光器、控制電路板和電源組成。其基本結構及原理如附圖說明圖1所示。待測光源發出的入射光經準直后被干涉儀的分束器(半透半反鏡)分為兩束,一束經透射到達動鏡,另一束經反射到達定鏡;兩束光分別經定鏡和動鏡反射后再回到分束器。動鏡以一恒定速度在零光程差附近作連續直線往復運動,因而經分束器分束后的兩束光形成光程差,產生干涉。干涉光在分束器會合后到達探測器,探測器完成光電信號轉換,產生連續的干涉圖樣電信號。傅里葉光譜儀的主控計算機所配備的模數轉換卡對連續干涉圖樣進行采樣,得到離散的數字干涉圖樣。然后通過計算機對離散干涉信號進行快速離散傅里葉變換處理,最終得到光源發出光信號的光譜。若對連續干涉圖樣的采樣可以精確地以等光程差間隔的方式進行,則所實現的傅里葉光譜測量具有光譜測量精度極高(Connes)的優點。這在商品化的傅里葉紅外光譜儀當中通常是通過采用一個632.8納米`波長氦氖激光器驅動的干涉儀實現的。其原理如圖2所示。傅里葉紅外光譜儀的光譜測量主干涉儀和光程差定位輔助干涉儀的動鏡共享同一個驅動平移臺。因為兩個干涉儀處于空間上高度局域化的環境中,因此當兩個動鏡同時掃描時會產生幾乎完全關聯的光程差變化。由于輔助干涉儀的驅動激光采用了波長穩定性和準確度極佳的632.8納米氦氖激光,當掃描時,輔助干涉儀的干涉信號可以寫為:本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種激光干涉儀光程差定位方法,其特征是,來自激光器的準直光束射向立方體分束器,被立方體分束器反射的反射光射向定鏡,經過定鏡垂直反射后回到所述立方體分束器;所述準直光束透過立方體分束器的部分光束射向運動的大角錐回射器后被回射向固定不動的小角錐回射器;被小角錐回射器回射后再次射向運動大角錐回射器;然后再次被大角錐回射器回射向固定平面反射鏡;最后被固定不動的平面反射鏡反射沿入射光路原路返回;所述被平面反射鏡反射沿入射光路原路返回的透射光束和被定鏡垂直反射的反射光束在所述立方體分束器會合并發生干涉,干涉光信號通過光電二極管探測并完成光電轉換;其中,所述大角錐回射器沿入射光平行方向做直線往復掃描運動。

    【技術特征摘要】
    1.一種激光干涉儀光程差定位方法,其特征是,來自激光器的準直光束射向立方體分束器,被立方體分束器反射的反射光射向定鏡,經過定鏡垂直反射后回到所述立方體分束器;所述準直光束透過立方體分束器的部分光束射向運動的大角錐回射器后被回射向固定不動的小角錐回射器;被小角錐回射器回射后再次射向運動大角錐回射器;然后再次被大角錐回射器回射向固定平面反射鏡;最后被固定不動的平面反射鏡反射沿入射光路原路返回;所述被平面反射鏡反射沿入射光路原路返回的透射光束和被定鏡垂直反射的反射光束在所述立方體分束器會合并發生干涉,干涉光信號通過光電二極管探測并完成光電轉換;其中,所述大角錐回射器沿入射光平行方向做直線往復掃描運動。2.根據權利要求1所述的激光干涉儀光程差定位方法,其特征是,從垂直于所述大角錐回射器口徑面上看進去,圓形口徑被對稱分成了大小相等的六個扇形區域,旋轉調整角錐回射器,使得入射光、出射光均處于所述六個扇形區域中的對稱的一對扇形區域內。3.根據權利要求1或2所述的激光干涉儀光程差定位方法,其特征是,所述小角錐回射器和/或大角錐回射器為實心玻璃角錐回射器,所述實心玻璃角錐回射器的正入射面加鍍增透膜。4.根據權利要求3所述的激光干涉儀光程差定位方法,其特征是,所述小角錐回射器和大角錐回射器的正入射面與光軸垂直面之間的夾角Θ P 92為1-2度。5.根據權利要求1或2所述的激光干涉儀光程差定位方法,其特征是,所述大角錐回射器和小角錐回射器為空心角錐回射器。6.一種實現...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:李劍平
    申請(專利權)人:李劍平
    類型:發明
    國別省市:

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