本發明專利技術涉及密封定位臺的設計領域，尤其涉及用于箱體間的密封定位臺。本發明專利技術提供了用于箱體間的密封定位臺，包括定位座和若干密封夾緊組件，在所述定位座上設置定位槽，通過定位槽實現對并排的各箱體的基本定位；在所述定位槽上開設成對設置于定位槽兩側壁的卡槽，配合卡條的使用，一方面可實現對各箱體的夾緊定位作用，一方面可使本發明專利技術的密封定位臺能夠適應不同箱體個數的定位需求；此外，通過密封夾緊組件的密封作用，實現兩相鄰箱體之間縫隙的密封。其采用結構簡潔的設計方式，實現了并排設置的箱體間的定位和密封的設計效果，可適應不同工藝需求的半導體制造流程的要求，為實現半導體集成密封制造系統的模塊化提供必要的準備與前提。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及密封定位臺的設計領域，尤其涉及用于箱體間的密封定位臺。
技術介紹
目前半導體基本一般采用半導體集成密封制造系統完成，由于半導體的制造過程中每一道工序均需在密封條件下完成，且在完成每一工序后無需取出，且對取出后的環境同樣的密封的嚴格要求，因此造成設備廠房規模較大，制造難度較大和成本較高。目前半導體制造企業一般都要耗費大量的人力和物力建設廠房，投資建設一個完整的半導體集成密封制造系統通常要花費幾千萬乃至上億的投資，且廠房的建設周期通常要耗時幾年。因此半導體制造行業入行門檻較高，且投資風險巨大。要避免因建設大型廠房而造成投資風險，可采用將半導體制造過程中的每一工序變成由若干箱體串接而成的模塊化處理，由每一個密封箱體完成一個工序，由若干個串接的密封箱體完成一個完整的工藝流程。因此，如何構建相互串接的箱體間的密封連接及定位成為構建半導體集成密封制造系統模塊化的首要問題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于克服現有技術之缺陷，旨在提供用于箱體間的密封定位臺，同時降低整個定位臺的制造成本，為實現半導體集成密封制造系統的模塊化提供必要的準備。本專利技術是這樣實現的，用于箱體間的密封定位臺，包括定位座和若干密封夾緊組件，所述定位座上設有可放置并排設置的若干待定位箱體的定位槽，所述定位槽為長條狀，所述定位槽長度方向的兩側壁契合待定位箱體底部的側邊，所述定位槽寬度方向的兩側壁契合若干并排放置后的待定位箱體底部的側邊，所述定位槽長度方向的兩側壁相對的位置設有若干成對布置的卡槽，位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽內的卡條；各所述密封夾緊組件包括第一夾緊板和第二夾緊板，所述第一夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁，所述第二夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁相對設置的第二側壁，所述第一夾緊板和第二夾緊板圍合于兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍，且通過扣緊機構連接。具體地，所述扣緊機構包括固定于所述第一夾緊板上的扣座和固定于所述第二夾緊板上的扣臺，所述扣座和扣臺位于待定位箱體的同一側壁，所述扣座上設有扣位，所述扣臺上設有可相對于所述扣臺轉動的第一旋轉件，所述第一旋轉件上設有可相對于所述第一旋轉件轉動的第二旋轉件，所述第二旋轉件一端扣合于所述扣座的扣位。具體地，所述扣座的扣位背向所述扣臺。具體地，所述第一旋轉件背向所述扣座由其本體上延伸出一松緊手柄。具體地，所述第一夾緊板的一端具有貼合于所述第二夾緊板的一端表面的貼合部，所述貼合部與所述第一夾緊板主體之間設有一斷面呈弧形的過渡折邊。具體地，所述第一夾緊板、第二夾緊板與待定位的兩相鄰箱體相接觸處共同形成一凹槽結構，所述凹槽結構內設有密封膠條。具體地，所述定位槽由固定于所述定位座上的凸條組件圍合而成，所述第一夾緊板和第二夾緊板分別固定于所述凸條組件長度方向的兩側。具體地，所述凸條組件包括分別位于所述定位座兩側向的兩限位凸條及分別位于所述定位座兩長度方向的若干密封凸條，位于同一側的兩相鄰的密封凸條之間設有形成所述卡槽的間隙。具體地，各所述密封凸條上設有供所述第一夾緊板的一端和第二夾緊板的一端插入的定位開槽，該定位開槽的側向上設有凸條通孔，所述第一夾緊板和第二夾緊板上分別設有與所述凸條通孔適配的夾緊通孔，相互對應的凸條通孔與所述夾緊通孔設有緊固件。本專利技術的有益效果本專利技術提供的用于箱體間的密封定位臺，針對半導體集成制造過程中各個工序依次串接，半導體集成制造系統模塊化設計后各箱體之間優先采用并排設置的特點，設置長條狀的定位槽與之適應，同時在所述定位槽長度方向的兩側壁設置成對設置的卡槽，并配備一可卡合于任一對所述卡槽內的卡條，且位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側邊的長度，因此在設計所述定位槽長度方向上的尺寸時，可預留比較多對的卡槽，如此使構成半導體集成制造系統的各模塊化的箱體的數量可以依據設計的需要進行適當的增減，而無需更換不同的定位臺；顯然當兩箱體并排設置后，兩箱體相接觸的接觸面必存在細微的縫隙，由于半導體集成制造過程中對密封有特殊的要求，對此，本專利技術通過在兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍設置第一夾緊板和第二夾緊板，通過第一、第二夾緊板的密封作用，實現兩相鄰的箱體之間的密封，同時通過扣緊機構提高所述第一夾緊板和第二夾緊板之間連接的緊固程度。附圖說明圖1是本專利技術一優選實施例的結構示意圖；圖2是圖1安裝箱體后的結構示意圖；圖3是圖1的局部放大圖A ;圖4是扣緊機構的結構示意圖；圖5是圖1的右向側視圖；圖6是箱頂板的結構示意圖。具體實施例方式為了使本專利技術的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本專利技術進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本專利技術，并不用于限定本專利技術。請參照圖2，本實施例以對七個外輪廓大小相等的立方體結構的箱體的密封定位為例，介紹本專利技術的特點。其中，各所述箱體3并排設置，各所述箱體3依次為第一隔離艙31、清洗模塊32、第二隔離艙33、干燥模塊34、第三隔離艙35、PVD模塊36及第四隔離艙37。請參照圖廣2，用于箱體間的密封定位臺，包括定位座I和若干密封夾緊組件2，所述定位座I上設有可放置并排設置的若干待定位箱體3的定位槽11，所述定位槽11為長條狀，所述定位槽11長度方向的兩側壁契合待定位箱體3底部的側邊，所述定位槽11寬度方向的兩側壁契合若干并排放置后的待定位箱體3底部的側邊，具體地，所述定位槽11為長條狀的矩形槽，所述第一隔離艙31底面的三側邊分別抵頂所述定位槽11的一橫向側壁及兩縱向側壁，如此，實現對所述第一隔離艙31三側邊及底面的定位，從而達到對所述第一隔離艙31的定位。此后，其余各箱體按照清洗模塊32、第二隔離艙33、干燥模塊34、第三隔離艙35、PVD模塊36及第四隔離艙37的次序依次安裝到所述定位座I上，至此便完成了各所述箱體3的基本定位。請參照圖f 2，為防止位于側邊的第四隔離艙37沿如圖所示的左側滑移，所述定位槽11長度方向的兩側壁相對的位置設有若干成對布置的卡槽12，位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽12的間距等于一待定位箱體3側邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽12內的卡條4。如此，在完成所述第四隔離艙37的定位安裝后，可以通過所述卡條4卡合位于所述第四隔離艙37右側的卡槽12內，從而實現各所述箱體3的夾緊定位。在半導體的制造過程中，常常會對不同的產品需求而調整工藝流程，而工藝流程的調整則勢必導致工藝步驟的增刪。在本專利技術的工作臺中，為適應上述調整需求，所述定位槽11長度方向的兩側壁相對的位置設有若干成對布置的卡槽12，位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽12的間距等于一待定位箱體3側邊的長度，并配置一可卡合于任一對所述卡槽12內的卡條4。如此，無論所述箱體3的數量如何變化，只要適當的余留較多的成對設置卡槽12，即可使本專利技術的工作臺適應不同箱體3數量的變化，由此可見本專利技術通常采用簡潔設計方式，使工作臺獲得良好的定位夾緊效果，同時具備較大的適應性。請參照圖f 2，由于各所述箱體3并排設置后，相鄰兩箱體之間必存在一定的連接縫隙，而半導體的制造過程中每一道工序均需在密封條件下完成，為此，各所述密封夾本文檔來自技高網...
【技術保護點】
用于箱體間的密封定位臺，其特征在于：包括定位座和若干密封夾緊組件，所述定位座上設有可放置并排設置的若干待定位箱體的定位槽，所述定位槽為長條狀，所述定位槽長度方向的兩側壁契合待定位箱體底部的側邊，所述定位槽寬度方向的兩側壁契合若干并排放置后的待定位箱體底部的側邊，所述定位槽長度方向的兩側壁相對的位置設有若干成對布置的卡槽，位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽內的卡條；各所述密封夾緊組件包括第一夾緊板和第二夾緊板，所述第一夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁，所述第二夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁相對設置的第二側壁，所述第一夾緊板和第二夾緊板圍合于兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍，且通過扣緊機構連接。
【技術特征摘要】
1.用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:包括定位座和若干密封夾緊組件，所述定位座上設有可放置并排設置的若干待定位箱體的定位槽，所述定位槽為長條狀，所述定位槽長度方向的兩側壁契合待定位箱體底部的側邊，所述定位槽寬度方向的兩側壁契合若干并排放置后的待定位箱體底部的側邊，所述定位槽長度方向的兩側壁相對的位置設有若干成對布置的卡槽，位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽內的卡條；各所述密封夾緊組件包括第一夾緊板和第二夾緊板，所述第一夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁，所述第二夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁相對設置的第二側壁，所述第一夾緊板和第二夾緊板圍合于兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍，且通過扣緊機構連接。2.根據權利要求1所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述扣緊機構包括固定于所述第一夾緊板上的扣座和固定于所述第二夾緊板上的扣臺，所述扣座和扣臺位于待定位箱體的同一側壁，所述扣座上設有扣位，所述扣臺上設有可相對于所述扣臺轉動的第一旋轉件，所述第一旋轉件上設有可相對于所述第一旋轉件轉動的第二旋轉件，所述第二旋轉件一端扣合于所述扣座的扣位。3.根據權利要求2所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述扣座的扣位背向所述扣臺。...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王奉瑾，
申請(專利權)人：王奉瑾，
類型：發明
國別省市：
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