吸附結(jié)構(gòu)及具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)公開了一種吸附結(jié)構(gòu)及具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)，用以將一片體貼附于一基板上，貼膜機(jī)包含一滾輪組、一吸附結(jié)構(gòu)與一負(fù)壓源，吸附結(jié)構(gòu)吸附并導(dǎo)引片體通過滾輪組，吸附結(jié)構(gòu)包括一結(jié)構(gòu)本體，結(jié)構(gòu)本體形成有一第一氣室與至少一第二氣室，且結(jié)構(gòu)本體包括一第一間隔壁部與一第一壁部，第一間隔壁部介于第一氣室與第二氣室之間并且包括一中央壁區(qū)，中央壁區(qū)設(shè)有多數(shù)連通第一氣室與第二氣室的第一穿孔，第一壁部具有一面向片體的外壁面，且第一壁部設(shè)有多數(shù)貫穿而連通第二氣室的第二穿孔，第二穿孔分布于第一壁部的范圍大于第一穿孔分布于中央壁區(qū)的范圍。本實用新型專利技術(shù)的具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)能維持較均勻的吸力，避免發(fā)生皺膜、氣泡。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種吸附結(jié)構(gòu)與貼膜機(jī)，尤其涉及一種利用負(fù)壓產(chǎn)生吸力的吸附結(jié)構(gòu)與具有該吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)。
技術(shù)介紹
參閱圖1，一般，于基板101上貼附例如感光性抗蝕劑片體(photosensitiveresist film)等軟質(zhì)片體102,是利用貼膜機(jī)自動化作業(yè)進(jìn)行。該貼膜機(jī)具有一組將片體102拉出的導(dǎo)引件11、一支用以吸附片體102并將片體102暫時貼附至基板101上的吸附結(jié)構(gòu)2、一組抽氣以提供所述吸附結(jié)構(gòu)2負(fù)壓而吸附片體102的負(fù)壓源12，及一組滾壓暫時貼附有片體102的基板101而使片體102附著于基板101上的滾輪組13。參閱圖2、圖3，并配合參閱圖1，其中，所述吸附結(jié)構(gòu)2設(shè)置于所述導(dǎo)引件11和所述滾輪組13間并與所述負(fù)壓源12連接，包含一塊前片體21、一塊吸附片體22、一塊上片體23，及二塊側(cè)片體24。所述前片體21截面概成弧形，鄰近該滾輪組13設(shè)置。所述吸附片體22截面概成弧形，自所述前片體21的底側(cè)長邊朝遠(yuǎn)離所述前片體21頂側(cè)長邊方向并向所述導(dǎo)引件11延伸，并具有多數(shù)穿孔221。所述上片體23連接所述前片體21和所述吸附片體22的頂側(cè)長邊，并具有多數(shù)間隔設(shè)置供與所述負(fù)壓源12連接的穿槽231。所述二側(cè)片體24連接所述前片體21和吸附片體22的相反兩側(cè)的短邊，而使所述前片體21、上片體23、吸附片體22和二側(cè)片體24界定一截面概成三角形并通過這些穿孔221與外界連通的長條形氣室25。當(dāng)所述負(fù)壓源12抽氣而提供所述吸附結(jié)構(gòu)2負(fù)壓時，所述吸附結(jié)構(gòu)2通過這些穿孔221而將所述導(dǎo)引件11拉出的片體102吸附于所述吸附片體22上且作動將片體102暫時貼附在基板101上，并在基板101被所述滾輪組13帶動通過后，令片體102被滾壓附著在基板101上。上述貼膜機(jī)將片體102平整貼附在基板101上的關(guān)鍵在于吸附結(jié)構(gòu)2如何以平均的壓力吸附片體102，從而使得片體102暫時貼附于基板101上時不會發(fā)生皺膜，或產(chǎn)生尾端氣泡的問題。因此，US6367532B1專利案提出所述吸附結(jié)構(gòu)102吸附片體22的穿孔221自頂側(cè)長邊向底側(cè)逐漸密集分布、其它區(qū)域較疏散分布，或是各穿孔221開口面積愈接近底側(cè)長邊愈大的技術(shù)，用以改善吸附片體102并暫時貼附于基板101上時不會發(fā)生皺膜，或產(chǎn)生尾端氣泡的問題。但是因為吸附結(jié)構(gòu)2是成長條形，且負(fù)壓源12是連接于上片體23的穿槽231而抽氣，所以，對應(yīng)于那些穿槽231的區(qū)域的吸力會較強(qiáng)而不平均，所以即便令穿孔221成自頂側(cè)長邊向底側(cè)逐漸密集分布，或是開口面積漸增，仍無法改善皺膜，或產(chǎn)生尾端氣泡的問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提供一種吸附結(jié)構(gòu)及具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)，能維持較均勻的吸力，避免發(fā)生皺膜、氣泡。為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供一種吸附結(jié)構(gòu)，供連接一負(fù)壓源以吸附一片體，所述吸附結(jié)構(gòu)包括一結(jié)構(gòu)本體，形成有一第一氣室與至少一第二氣室，所述負(fù)壓源對所述第一氣室提供負(fù)壓，所述結(jié)構(gòu)本體包括一第一間隔壁部，介于所述第一氣室與所述第二氣室之間并且包括二側(cè)壁區(qū)與一連接于二側(cè)壁區(qū)之間的中央壁區(qū)，所述中央壁區(qū)設(shè)有多數(shù)貫穿而連通所述第一氣室與所述第二氣室的第一穿孔；以及一第一壁部，間隔于所述第一間隔壁部并且具有一面向所述片體的外壁面，且所述第一壁部設(shè)有多數(shù)貫穿而連通所述第二氣室的第二穿孔，多數(shù)第二穿孔分布于所述第一壁部的范圍大于多數(shù)第一穿孔分布于所述中央壁區(qū)的范圍。較佳地，所述結(jié)構(gòu)本體還形成有一第三氣室，且所述結(jié)構(gòu)本體還包括一第二壁部與一第二間隔壁部，所述第二壁部與所述第一間隔壁部配合界定出所述第一氣室，所述第二間隔壁部連接所述第一壁部與所述第二壁部并且與所述第一、第二壁部配合界定出所述第三氣室，且所述第二間隔壁部設(shè)有至少一連通所述第一氣室與所述第三氣室的第三穿孔。較佳地，所述第一壁部具有一第一端緣與一第二端緣，所述片體由所述第二端緣朝所述第一端緣的方向進(jìn)給，所述第三氣室較所述第二氣室鄰近所述第一端緣，且所述第三穿孔大于任一第一穿孔。較佳地，所述多數(shù)第一穿孔小于等于所述多數(shù)第二穿孔。較佳地，所述結(jié)構(gòu)本體還包括至少一連接于所述第一間隔壁部與所述第一壁部之間的支撐肋，支撐肋與所述第一間隔壁部、所述第一壁部配合界定出多數(shù)第二氣室。較佳地，所述結(jié)構(gòu)本體為鋁擠材并且呈長條狀，所述多數(shù)第三穿孔為鉆設(shè)于所述第二壁部的孔洞界定出，且所述吸附結(jié)構(gòu)還包含一對分別設(shè)置于所述結(jié)構(gòu)本體兩端的端蓋與一遮壁多數(shù)孔洞的塞件，所述負(fù)壓源設(shè)置于一對端蓋。較佳地，所述結(jié)構(gòu)本體供區(qū)隔為一中間段與二側(cè)段，所述中央壁區(qū)位于所述中間段，所述多數(shù)第二穿孔分布于所述第一壁部對應(yīng)所述中間段與二側(cè)段的區(qū)域。為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)還提供一種具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)，用以將一片體貼附于一基板上，所述具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)包含一滾輪組，壓合所述片體與所述基板；一前述的吸附結(jié)構(gòu)；以及一設(shè)置于所述吸附結(jié)構(gòu)的負(fù)壓源。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的吸附結(jié)構(gòu)及具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)因多數(shù)第一穿孔相對于多數(shù)第二穿孔的布設(shè)設(shè)計，針對不同寬度的片體，都能達(dá)到其吸附效果；因所述結(jié)構(gòu)本體采用鋁擠材與端蓋的設(shè)計，使負(fù)壓源能設(shè)置于端蓋，不僅整體結(jié)構(gòu)較簡單，且亦方便拆卸、清潔。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本技術(shù)將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本技術(shù)的實施例。附圖說明圖1為現(xiàn)有的貼膜機(jī)的側(cè)視圖。圖2為現(xiàn)有的設(shè)于貼膜機(jī)中的吸附結(jié)構(gòu)的部分剖視圖。圖3為現(xiàn)有的吸附結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖4為本技術(shù)具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)的側(cè)視圖。圖5為本技術(shù)具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)的吸附結(jié)構(gòu)的一第二壁部被部分移除的立體圖。圖6為本技術(shù)具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)的吸附結(jié)構(gòu)的一第二壁部被部分移除，使多數(shù)第一穿孔外露的立體圖。圖7為沿圖5的A-A方向的剖視圖。圖8為沿圖6的B-B方向的剖視圖。圖9為吸附結(jié)構(gòu)吸附一寬度較寬的片體的示意圖。圖10為吸附結(jié)構(gòu)吸附一寬度較窄的片體的示意圖。圖11為片體位移至吸附結(jié)構(gòu)的第一區(qū)域的剖視圖。具體實施方式現(xiàn)在參考附圖描述本技術(shù)的實施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。請參閱圖4和圖5，所述的具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)300用以壓合一片體302與一基板303，本實施例的貼膜機(jī)300包含一導(dǎo)引件4、一位于導(dǎo)引件4的下游的滾輪組5、一設(shè)置于導(dǎo)引件4與滾輪組5之間的吸附結(jié)構(gòu)301與一設(shè)置于吸附結(jié)構(gòu)301的負(fù)壓源6。導(dǎo)引件4用以導(dǎo)引被由卷繞成滾筒的狀態(tài)拉出的片體302，貼膜機(jī)300還包含一鄰近導(dǎo)引件4設(shè)置的切割刀具(圖未示)，當(dāng)片體302通過導(dǎo)引件4 一定長度(例如預(yù)定貼附的長度)時，切割刀具即對片體302裁切。基板303與片體302是通過滾輪組5之間并且通過滾輪組5壓合，吸附結(jié)構(gòu)301是用以在片體302通過滾輪組5之前將其吸附，維持片體302在通過滾輪組5時有一定程度的張力，避免影響與基板303的壓合狀況，關(guān)于吸附結(jié)構(gòu)301與貼膜機(jī)300的作動，詳細(xì)說明如下請參閱圖5至圖8，先行說明的是，圖7為圖5中沿A-A方向的斷面圖，圖8為圖6中沿B-B方向的斷面圖，本實施例中，吸附結(jié)構(gòu)301包括一結(jié)構(gòu)本體3、一對端蓋31與一塞件32。結(jié)構(gòu)本體3形成有一第一氣室33、至少一第二氣室34與一第三氣室35，具體而言，本實施例的結(jié)構(gòu)本體3采用鋁擠材，其結(jié)構(gòu)呈長條狀且兩端開放，兩端蓋31分別結(jié)合本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種吸附結(jié)構(gòu)，供連接一負(fù)壓源以吸附一片體，其特征在于，所述吸附結(jié)構(gòu)包括：一結(jié)構(gòu)本體，形成有一第一氣室與至少一第二氣室，所述負(fù)壓源對所述第一氣室提供負(fù)壓，所述結(jié)構(gòu)本體包括一第一間隔壁部，介于所述第一氣室與所述第二氣室之間并且包括二側(cè)壁區(qū)與一連接于二側(cè)壁區(qū)之間的中央壁區(qū)，所述中央壁區(qū)設(shè)有多數(shù)貫穿而連通所述第一氣室與所述第二氣室的第一穿孔；以及一第一壁部，間隔于所述第一間隔壁部并且具有一面向所述片體的外壁面，且所述第一壁部設(shè)有多數(shù)貫穿而連通所述第二氣室的第二穿孔，多數(shù)第二穿孔分布于所述第一壁部的范圍大于多數(shù)第一穿孔分布于所述中央壁區(qū)的范圍。

【技術(shù)特征摘要】
2011.11.02 TW 1002206971.一種吸附結(jié)構(gòu)，供連接一負(fù)壓源以吸附一片體，其特征在于，所述吸附結(jié)構(gòu)包括 一結(jié)構(gòu)本體，形成有一第一氣室與至少一第二氣室，所述負(fù)壓源對所述第一氣室提供負(fù)壓，所述結(jié)構(gòu)本體包括 一第一間隔壁部，介于所述第一氣室與所述第二氣室之間并且包括二側(cè)壁區(qū)與一連接于二側(cè)壁區(qū)之間的中央壁區(qū)，所述中央壁區(qū)設(shè)有多數(shù)貫穿而連通所述第一氣室與所述第二氣室的第一穿孔；以及 一第一壁部，間隔于所述第一間隔壁部并且具有一面向所述片體的外壁面，且所述第一壁部設(shè)有多數(shù)貫穿而連通所述第二氣室的第二穿孔，多數(shù)第二穿孔分布于所述第一壁部的范圍大于多數(shù)第一穿孔分布于所述中央壁區(qū)的范圍。2.如權(quán)利要求1所述的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于所述結(jié)構(gòu)本體還形成有一第三氣室，且所述結(jié)構(gòu)本體還包括一第二壁部與一第二間隔壁部，所述第二壁部與所述第一間隔壁部配合界定出所述第一氣室，所述第二間隔壁部連接所述第一壁部與所述第二壁部并且與所述第一、第二壁部配合界定出所述第三氣室，且所述第二間隔壁部設(shè)有至少一連通所述第一氣室與所述第三氣室的第三穿孔。3.如權(quán)利要求2所述的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一壁部具有一第一端緣與一第二端緣，所述片體由所述第二端緣朝所述第一端緣的方向進(jìn)給，所述第三氣室較所述第二氣室鄰近所述第一端緣，且所述第三穿孔大于任一第一穿孔。4.如權(quán)利要求3所述的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于所述多數(shù)第一穿孔小于等于所述多數(shù)第二穿孔。5.如權(quán)利要求4所述的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于所述結(jié)構(gòu)本體還包括至少一連接于所述第一間隔壁部與所述第一壁部之間的支撐肋，支撐肋與所述第一間隔壁部、所述第一壁部配合界定出多數(shù)第二氣室。6.如權(quán)利要求5所述的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于所述結(jié)構(gòu)本體為鋁擠材并且呈長條狀，所述多數(shù)第三穿孔為鉆設(shè)于所述第二壁部的孔洞界定出，且所述吸附結(jié)構(gòu)還包含一對分別設(shè)置于所述結(jié)構(gòu)本體兩端的端蓋與一遮壁多數(shù)孔洞的塞件，所述負(fù)壓源設(shè)置于一對端蓋。7.如權(quán)利要求1-6任一項所述的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于所述結(jié)構(gòu)本體供區(qū)隔為一中間段與二側(cè)段，所述中央壁區(qū)位于所述中間段，所述多數(shù)第二穿孔分布于所述第一壁部對應(yīng)所述中間段與二側(cè)段的區(qū)域。8.一種具有吸附結(jié)構(gòu)的貼膜機(jī)，用以將一片體貼附于一基板上，其特征在于，...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：賴金森，
申請(專利權(quán))人：志圣工業(yè)股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：