【技術實現步驟摘要】
一種高純鎵氧化渣刮板裝置
本技術涉及一種高純鎵氧化渣刮板裝置。
技術介紹
高純鎵的提純生產中,盡管采取了措施隔絕空氣,但仍然不可避免的要接觸空氣 中的氧氣,就會有一定量的鎵被氧化,生成一種氧化物。此種氧化物顏色為銀白色,有的會 呈現黃色或者是黑色。這種高純鎵的氧化物,其中夾富集著高純鎵中的雜質,金屬和非金屬 類別的雜質會較多的富集在氧化物中,此外,氧化物中的氧元素,對于高純鎵應用與半導體 器件的性能有影響,必須可靠的去除。氧化渣相對于高純鎵,由于體積酥松,密度比高純鎵 小,因此容易漂浮在液態鎵表面。這給氧化渣的去除提供了一個很好的條件。目前氧化渣的 去除,會通過過濾等方式,使用過濾材料分離相對酥松的氧化物。此方法耗費能量和時間, 且容易造成二次污染。不適合高純度鎵氧化渣的去除。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種高純鎵氧化渣刮板裝置,解決了上述 問題。本技術所要解決的技術問題是通過以下技術方案來實現的一種高純鎵氧化渣刮板裝置,其特征在于包括機械機構、正刮板、反刮板和氧化 渣收集容器;所述機械機構連接并帶動正刮板垂直上下運動、圓周運動或水平移動,所述機 械機構連接并帶動反刮板水平方向往復運動;所述氧化渣收集容器設在正刮板和反刮板相 切時的正下方。所述機械結構由伺服電機和其帶動的同步齒形帶組成。所述機械結構手控運動或者通過自控程序控制運動。所述正刮板和反刮板的材質選用硬塑料。所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。本技術相對于現有技術的有益效果是本技術采用可靠的往復循環機械運動,可以連續的將高純鎵表面的氧化渣刮 除,取代了過濾等復雜操作,高效可靠 ...
【技術保護點】
一種高純鎵氧化渣刮板裝置,其特征在于:包括機械機構、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述機械機構連接并帶動正刮板垂直上下運動、圓周運動或水平移動,所述機械機構連接并帶動反刮板水平方向往復運動;所述氧化渣收集容器設在正刮板和反刮板相切時的正下方。
【技術特征摘要】
1.一種高純鎵氧化渣刮板裝置,其特征在于包括機械機構、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述機械機構連接并帶動正刮板垂直上下運動、圓周運動或水平移動,所述機械機構連接并帶動反刮板水平方向往復運動;所述氧化渣收集容器設在正刮板和反刮板相切時的正下方。2.如權利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置,其特征在于所述機械結構由伺...
【專利技術屬性】
技術研發人員:康云飛,喬文,鐘曉露,
申請(專利權)人:南京隆潤半導體材料有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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