光學掃描裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術的目的是提供一種光學掃描裝置，能夠緩和施加于鏡部的應力，減少破損和材料疲勞。光學掃描裝置從兩側利用扭桿（50）支撐具有鏡反射面（10）的鏡部（40～43），使該鏡部以該扭桿（50）為軸（X）擺動，從而使由上述鏡反射面（10）反射的光進行掃描，其特征在于，上述鏡部（40～43）在通過上述鏡反射面（10）的中心且垂直于上述軸（X）的垂直軸（Y）和上述鏡反射面（10）的端點的交點與上述扭桿（50）之間，具有緩和由上述扭桿（50）的扭轉運動產生的應力的應力緩和區(qū)域（20、22～24）。

【技術實現步驟摘要】
光學掃描裝置
本專利技術涉及光學掃描裝置，尤其涉及從兩側利用扭桿支撐具有鏡反射面的鏡部，并使該鏡部以該扭桿為軸擺動，從而使由上述鏡反射面反射的光進行掃描的光學掃描裝置。
技術介紹
以往，已知有如下光學掃描裝置，具備：具有使入射光反射的反射面的可動板；可轉動地軸支撐可動板的扭梁；以及對扭梁作用扭轉方向的驅動力的驅動部，為了抑制轉動時反射面的變形，在包含可動板與扭梁的連接部分附近的背面形成有肋(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1：日本特開2010－128116號公報可是，在上述的專利文獻1記載的結構中，雖然反射面的變形能夠修正，但存在應力集中在肋結構的周邊而容易產生破損的問題。另外，即使沒達到破損的程度，但由于在肋結構的周邊反復施加應力，因此還存在產生材料疲勞而導致性能劣化的問題。
技術實現思路
因此，本專利技術的目的在于提供一種光學掃描裝置，能夠緩和施加于鏡部的應力，減少破損和材料疲勞。為了實現上述目的，本專利技術的一個方式的光學掃描裝置從兩側利用扭桿50支撐具有鏡反射面10的鏡部40～43，并使該鏡部以該扭桿50為軸X擺動，從而使由上述鏡反射面10反射的光進行掃描，其特征在于，上述鏡部40～43在通過上述鏡反射面10的中心且垂直于上述軸X的垂直軸Y和上述鏡反射面10的端點的交點與上述扭桿50之間，具有緩和由上述扭桿50的扭轉運動產生的應力的應力緩和區(qū)域20、22～24。另外，上述應力緩和區(qū)域20、22～24優(yōu)選具有從上述扭桿50向上述鏡反射面10逐漸擴展的平面形狀。另外，上述應力緩和區(qū)域20、22～24的端部21不包含角部。另外，上述應力緩和區(qū)域20、22～24也可以是具有狹縫30～38的結構。另外，上述狹縫30～38也可以配置成關于上述軸X對稱。另外，上述狹縫30～38也可以具有多個。另外，上述狹縫30～38也可以具有偶數個。另外，上述狹縫30～38也可以具有圓弧狀的形狀。另外，在上述鏡反射面10的背面優(yōu)選形成有肋11。另外，上述狹縫30～38優(yōu)選與上述肋11隔開距離設置。另外，上述扭桿50也可以設置于上述鏡部40～43的周圍，并且與具有使上述鏡部40～43繞上述軸X擺動的驅動源71的水平驅動梁70連結，該水平驅動梁70與包圍周圍且具有與上述肋11相同厚度的可動框80連結，在該可動框80上設有具有與上述水平驅動梁70相同厚度的減薄部81。另外，上述減薄部81僅設置于與上述軸X的延伸方向一致的區(qū)域。另外，上述減薄部81也可以為凹部，并且是在上述可動框80上設置多個的結構。另外，優(yōu)選上述凹部為大致三角形狀，以未形成上述凹部的具有與上述肋11相同厚度的部分82沿上述可動框80形成曲折形狀的方式，頂點的方向沿上述可動框80交替配置。另外，優(yōu)選上述可動框80與垂直驅動機構110連結，該垂直驅動機構110從兩側支撐上述可動框80，并且使上述可動框80繞與上述軸X垂直的上述垂直軸Y擺動，該垂直驅動機構110具有在與上述軸X平行地配置的多個矩形的梁上分別設有驅動源91的多個垂直驅動梁90，該垂直驅動梁90的一端連結于位于內側的該垂直驅動梁90或上述可動框80的一端，另一端連結于位于外側的該垂直驅動梁90的一端或支撐上述垂直驅動機構的支架120，并且該垂直驅動梁90作為整體以曲折的方式連結，上述垂直驅動機構110包含偶數個上述垂直驅動梁90。另外，上述驅動源71、81也可以為壓電元件。本專利技術具有如下有益效果。根據本專利技術，能夠緩和施加于鏡部的應力，減少破損和材料疲勞。附圖說明圖1是表示本專利技術的實施例1的光學掃描裝置的一例的表面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。圖2是表示本專利技術的實施例1的光學掃描裝置的一例的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。圖3是用于更詳細地說明實施例1的光學掃描裝置的應力緩和結構的圖。圖3(A)是實施例1的光學掃描裝置的鏡部周邊的表面?zhèn)鹊慕Y構圖。圖3(B)是實施例1的光學掃描裝置的鏡部周邊的背面?zhèn)鹊慕Y構圖。圖4是表示實施例1的光學掃描裝置的鏡部的鏡反射面與應力緩和區(qū)域的尺寸關系的圖。圖5是用于說明在實施例1的光學掃描裝置的應力緩和區(qū)域所設置的狹縫引起的應力緩和效果的圖。圖5(A)是表示未在應力緩和區(qū)域設置狹縫時的應力強度分布的圖，表示施加在鏡部的相當應力。圖5(B)是表示在應力緩和區(qū)域設置狹縫時的應力強度分布的圖，表示有狹縫時的應力分散情況。圖5(C)是表示未在應力緩和區(qū)域設置狹縫時的鉛垂方向的應力強度分布的圖，表示施加在鏡部的垂直方向應力。圖5(D)是表示在應力緩和區(qū)域設置狹縫時的鉛垂方向的應力強度分布的圖，表示有狹縫的情況。圖6是表示實施例1的光學掃描裝置的軸的配置的圖。圖7是實施例1的光學掃描裝置的可動框的放大立體圖。圖8是用于說明實施例1的光學掃描裝置的垂直驅動部的結構的圖。圖9是表示本專利技術的實施例2的光學掃描裝置的一例的圖。圖10是表示本專利技術的實施例3的光學掃描裝置的一例的圖。圖11是表示本專利技術的實施例4的光學掃描裝置的一例的圖。圖中：10－鏡反射面；11、101－肋；20、22～24－應力緩和區(qū)域；21－端部；30～38－狹縫；40～43－鏡部；50－扭桿；60、100－連結部；70－水平驅動梁；71、91－驅動源；80－可動框；81－減薄部；82－厚壁部；90－垂直驅動梁；110－垂直驅動部；120－支架；130－端子；140－配線。具體實施方式以下，參照附圖對用于實施本專利技術的方式進行說明。實施例1圖1是表示本專利技術的實施例1的光學掃描裝置的一例的表面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。在圖1中，實施例1的光學掃描裝置具有鏡部40、扭桿50、連結部60、水平驅動梁70、驅動源71、可動框80、垂直驅動部110、支架120、端子130和配線140。另外，鏡部40具有鏡反射面10、應力緩和區(qū)域20和狹縫30，垂直驅動部110具有垂直驅動梁90、驅動源91和連結部100。鏡部40利用兩根扭桿50以從同一直線上的兩外側夾住的方式進行支撐。鏡部40在中心具有鏡反射面10，在鏡反射面10與扭桿50之間具有應力緩和區(qū)域20。在各應力緩和區(qū)域20形成有兩個狹縫。另外，扭桿50經由連結部60與水平驅動梁70的內側的角連結。水平驅動梁70在表面具備驅動源71，外側的邊與可動框80連結?？蓜涌?0經由水平驅動梁70支撐連結部60、扭桿50和鏡部40，并且，包圍它們的周圍?？蓜涌?0里側的一端與垂直驅動梁90的一端連結，與可動框80連結的垂直驅動梁90的另一端與比自身更靠外側的垂直驅動梁90的一端連結。垂直驅動梁90在可動框80的兩側以隔著可動框80的方式與扭桿50平行地設置多個，在可動框80的各一側配置有4個垂直驅動梁90。4個垂直驅動梁90利用比其端部更靠外側的連結部100，與鄰接配置的垂直驅動梁90連結，但一端與內側的垂直驅動梁90的一端連結，另一端與外側的垂直驅動梁90的一端連結。與位于最內側的可動框80鄰接的垂直驅動梁90其一端與可動框80的一端連結，另一端與外側的垂直驅動梁90的一端連結。另外，與位于最外側的支架120鄰接的垂直驅動梁90其一端與支架120連結，另一端與位于內側的垂直驅動梁90的一端連結。另外，在垂直驅動梁90上具備驅動源91。垂直驅動梁90由一側4根構成一側的垂直驅動部110，由兩側8根構成整體的垂直驅動部110。支架120經由最外側的垂直驅動梁9本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光學掃描裝置，從兩側利用扭桿支撐具有鏡反射面的鏡部，并使該鏡部以該扭桿為軸擺動，從而使由上述鏡反射面反射的光進行掃描，其特征在于，上述鏡部在通過上述鏡反射面的中心且垂直于上述軸的垂直軸和上述鏡反射面的端點的交點與上述扭桿之間，具有緩和由上述扭桿的扭轉運動產生的應力的應力緩和區(qū)域。

【技術特征摘要】
2011.10.03 JP 2011-2196611.一種光學掃描裝置，從兩側利用扭桿支撐具有鏡反射面的鏡部，并使該鏡部以該扭桿為軸擺動，從而使由上述鏡反射面反射的光進行掃描，其特征在于，上述鏡部在通過上述鏡反射面的中心且垂直于上述軸的垂直軸和上述鏡反射面的端點的交點與上述扭桿之間，具有緩和由上述扭桿的扭轉運動產生的應力的應力緩和區(qū)域，在上述鏡反射面的背面形成有肋，上述應力緩和區(qū)域構成為厚度比該肋更薄的區(qū)域，并且在厚度比該肋更薄的區(qū)域內具有與上述肋隔開距離而設置的狹縫。2.根據權利要求1所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述應力緩和區(qū)域具有從上述扭桿向上述鏡反射面逐漸擴展的平面形狀。3.根據權利要求1或2所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述應力緩和區(qū)域的端部不包含角部。4.根據權利要求1或2所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述狹縫配置成關于上述軸對稱。5.根據權利要求1或2所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述狹縫具有多個。6.根據權利要求5所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述狹縫具有偶數個。7.根據權利要求1或2所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述狹縫具有圓弧狀的形狀。8.根據權利要求1或2所述的光學掃描裝置，其特征在于，上述扭桿設置于上述...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：田中豐樹，山田司，西山隆彥，
申請(專利權)人：三美電機株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：