化學藥液儲液罐轉換連接器制造技術

本發明專利技術提供一種化學藥液儲液罐轉換連接器，所述化學藥液儲液罐轉換連接器設有供液連接口、補氣連接口、超壓溢流排氣孔和回液連接口。本發明專利技術的化學藥液儲液罐轉換連接器將供液、回液、補氣和超壓溢流排氣等功能連接集成于一體，可滿足復雜和不同的藥液輸送工藝使用要求；當儲液罐內氣壓大于設定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內氣壓穩定，有利于供液的穩定，并且超壓排氣的臨界壓力可調；帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩定，且減小了噪音。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及半導體制造領域，尤其涉及一種將供液、回液、補氣、超壓溢流排氣等多種功能連接集于一體的化學藥液儲液罐轉換連接器。
技術介紹
在半導體制造工藝中需要用到各種化學藥液，其中包括強腐蝕性藥液，而此藥液都是由工藝設備外部供給的濃度較高的原液經過一定比例稀釋后方可使用的。現階段所使用的化學液原液基本都是標準品，由于其具有較強的腐蝕性，在盛裝、保存和使用過程中都要盡量避免與操作人員直接接觸或直接暴露于環境中，以免污染環境或被環境污染。存儲藥液的儲液罐是由耐化學藥液腐蝕的材料制成，儲液罐頂部通常設有兩個連接口，其中一個可以作為備用或者根據需要連接。其連接形式和液體輸送形式較為單一，不能滿足較復雜的輸送工藝要求。在實際使用過程中，由廠端向工藝設備供給化學藥液原液時，出于供給的穩定性和安全性等方面的考慮，除了簡單的供液或通氣接口外還需要儲液罐具備連接其他需求管路的功能，以便適應較復雜或者功能要求較多的藥液供給系統。
技術實現思路
(一)要解決的技術問題本專利技術要解決的技術問題是提供一種能夠與現有的化學原液儲液罐配合使用，并將供液、回液、補氣、超壓溢流排氣等多種功能連接集于一體的化學藥液儲液罐轉換連接器。(二)技術方案為達上述目的，本專利技術的化學藥液儲液罐轉換連接器，其設有供液連接口3、補氣連接口 4、超壓溢流排氣孔I和回液連接口 2 ;所述超壓溢流排氣孔I為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，所述第二階排氣通孔與儲液罐13相連，所述第一階排氣通孔的直徑大于所述第二階排氣通孔的直徑。所述第一階排氣通孔內安裝有端蓋5、彈簧6和密封珠7，所述端蓋5和所述密封珠7分別置于所述彈簧6的兩端，所述密封珠7在彈簧6作用下將所述第二階排氣通孔活動密封，所述端蓋5上設有通孔。所述端蓋5上設有外螺紋，所述端蓋5通過螺紋與超壓溢流排氣孔I連接。所述端蓋5上的通孔為內六角型。所述回液連接口 2為二階圓通孔，包括第一階回液通孔和第二階回液通孔，所述第二階回液通孔與儲液罐13相連，所述第一階回液通孔的直徑小于所述第二階回液通孔的直徑，所述第二階回液通孔的端面設有多孔板，所述多孔板上的孔為通孔。所述多孔板上的所有孔的橫截面積之和大于回液管路的橫截面積。所述化學藥液儲液罐轉換連接器的材質為耐腐蝕性塑料。(三)有益效果本專利技術采用上述技術方案提供的裝置，將供液、回液、補氣和超壓溢流排氣等功能連接集成于一體，可滿足復雜和不同的藥液輸送工藝使用要求；當儲液罐內氣壓大于設定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內氣壓穩定，有利于供液的穩定，并且超壓排氣的臨界壓力可調；帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩定，且減小了噪音。附圖說明圖1是本專利技術化學藥液儲液罐轉換連接器的剖面圖；圖2是本專利技術化學藥液儲液罐轉換連接器的應用示意圖。圖中，1:超壓溢流排氣孔；2 :回液連接口 ；3 :供液連接口 ；4 :補氣連接口 ；5 端蓋；6 :彈簧；7 :密封珠；8 :供液連接口外部接頭；9 :回液連接口接頭；10 :供液連接口內部接頭；11 :內部供液管；12 :補氣連接口接頭；13 :儲液罐。具體實施例方式下面結合附圖和實施例對本專利技術化學藥液儲液罐轉換連接器作進一步詳細說明。以下實施例用于說明本專利技術，但不用來限制本專利技術的范圍。在本專利技術的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本專利技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特 定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本專利技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本專利技術的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本專利技術中的具體含義。此外，在本專利技術的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。如圖1所示，本專利技術的化學藥液儲液罐轉換連接器，其設有供液連接口 3、補氣連接口 4、超壓溢流排氣孔I和回液連接口 2。超壓溢流排氣孔I為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，第二階排氣通孔與儲液罐13相連。其中，第一階排氣通孔的直徑大于第二階排氣通孔的直徑。第一階排氣通孔內安裝有端蓋5、彈簧6和密封珠7，端蓋5和密封珠7分別置于彈簧6的兩端，密封珠7在彈簧6作用下將第二階排氣通孔活動密封，端蓋5上設有通孔。端蓋5上設有外螺紋，端蓋5通過螺紋與超壓溢流排氣孔I連接。端蓋5上的通孔為內六角型。內六角型通孔用于轉動端蓋5調整端蓋5的高度，兼具排氣的功能。調整端蓋5的高度可以改變彈簧6的壓縮量，即改變超壓溢流排氣孔I的排氣臨界壓力。當儲液罐內氣壓大于設定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內氣壓穩定，有利于供液的穩定，并且超壓排氣的臨界壓力可調。回液連接口 2為二階圓通孔，包括第一階回液通孔和第二階回液通孔，第二階回液通孔與儲液罐13相連，第一階回液通孔的直徑小于第二階回液通孔的直徑，第二階回液通孔的端面設有多孔板，多孔板上的孔為通孔。多孔板上的所有孔的橫截面積之和大于回液管路的橫截面積，能將回流藥液減速且分成多股，減小回流藥液對罐內藥液的沖擊，此多孔板的通孔可以為圓形、方形或其他幾何形狀孔。帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩定，且減小了噪音。化學藥液儲液罐轉換連接器的材質為耐腐蝕性塑料，如聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)或四氟乙烯(PFA)等。如圖2所示，供液連接口 3和補氣連接口 4為通孔，供液連接口外部接頭8和供液連接口內部接頭10設有外螺紋，且分別通過螺紋連接于供液連接口 3的兩端，供液連接口內部接頭10另一端與內部供液管11相連接，回液連接口接頭9設有外螺紋且通過螺紋連接于回液連接口 2的第一階回液通孔，補氣連接口接頭12設有外螺紋且通過螺紋連接于所述補氣連接口 4。上述螺紋為NPT螺紋，也可以采用R螺紋等。本專利技術化學藥液儲液罐轉換連接器的工作過程如下針對于循環型藥液供給系統，圖2中供液連接口外部接頭8與供液管路連接，回液連接口接頭9與循環回液管路連接，供液連接口內部接頭10連接儲液罐內部供液管11，內部供液管11下端接近儲液罐13底部，以保證藥液的最大利用率，補氣連接口接頭12與保護性氣體(如氮氣等)輸入管路連接。工作時，藥液在壓差作用下經供液管路流至工藝設備中，與此同時多余的藥液可經由回液管路流回儲液罐13，進入儲液罐13時通過回液連接口 2內帶有多孔板減速減壓分流，避免回流藥液壓力或流速過大對儲液罐13內藥液造成影響。同時通過保護性氣體輸入管路將保護性氣體輸入儲液罐13內，起到填補已使用的藥液的空間，保持儲液罐13內外壓差平衡的作用。當儲液罐13內氣壓高于超壓溢流本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種化學藥液儲液罐轉換連接器，其特征在于，所述化學藥液儲液罐轉換連接器上設有供液連接口（3）、補氣連接口（4）、超壓溢流排氣孔（1）和回液連接口（2）；所述超壓溢流排氣孔（1）為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，所述第二階排氣通孔與儲液罐（13）相連，所述第一階排氣通孔的直徑大于所述第二階排氣通孔的直徑。

【技術特征摘要】
1.一種化學藥液儲液罐轉換連接器，其特征在于，所述化學藥液儲液罐轉換連接器上設有供液連接口(3)、補氣連接口(4)、超壓溢流排氣孔(I)和回液連接口(2);所述超壓溢流排氣孔(I)為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，所述第二階排氣通孔與儲液罐(13)相連，所述第一階排氣通孔的直徑大于所述第二階排氣通孔的直徑。2.根據權利要求1所述的化學藥液儲液罐轉換連接器，其特征在于，所述第一階排氣通孔內安裝有端蓋(5)、彈簧(6)和密封珠(7)，所述端蓋(5)和所述密封珠(7)分別置于所述彈簧(6)的兩端，所述密封珠(7)在彈簧(6)作用下將所述第二階排氣通孔活動密封，所述端蓋(5)上設有通孔。3.根據權利要求2所述的化學藥液儲液罐轉換連接器，其特征在于，所述端蓋(5)上設...

【專利技術屬性】
技術研發人員：徐能，初國超，裴立坤，吳儀，
申請(專利權)人：北京七星華創電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：