一種用于130mm功率器件的結電容測試電路及裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種本用于130mm功率器件模塊的結電容測試電路，屬于功率半導體器件結電容測試裝置技術領域。該電路包括三個晶體管單元、電源連接點、低電壓電流連接點、地電壓連接點、電阻、短路電容、電感、第Ⅰ輸入電容、第Ⅰ輸出電容、第Ⅰ反饋電容、第Ⅱ輸入電容、第Ⅱ輸出電容、第Ⅱ反饋電容，該三個晶體管單元具有源極測試點、漏極測試點和柵極測試點。本實用新型專利技術還公開了基于該用于130mm功率器件的結電容測試電路的裝置。該測試電路及裝置能夠適用于包括3個晶體管單元、9個引腳的130mm功率器件。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及功率半導體器件結電容測試裝置
，特別涉及一種三單元130mm功率器件的結電容測試電路及裝置。
技術介紹
功率半導體器件器件結電容參數一般包括輸入電容、輸出電容、反饋電容三項內容，是反應器件結構特性、動態時間參數的重要指標。按照測試條件要求，測試時需要根據參數在器件中的結構特性的不同，連接不同的測試線路，同時，外接旁路電容、旁路電阻等無源器件元件，對器件管腳施加直流電壓及高頻信號來測試相應的電容參數。現有技術中，測試功率半導體器件結電容的方法一般為用測試探頭或者鱷魚夾在被測器件和電感電容電阻(LCR)測試儀之間連接電路，采用該方法進行測試時，針對不同的被測結電容參數，需要使用不同的測試電路，不僅測試工作繁瑣，而且測試效率低。為解決上述問題，申請號為201120221050. 4公開了一種功率半導體器件結電容測試裝置，包括結電容測試電路板，該結電容測試電路板包括兩個電容測試點，其中，第一輸入電容測試點通過短路電容與電源連接點相連，電源連接點與漏極測試點相連，第二輸入電容測試點通過偏置電感接地；反饋電容測試點接地；輸出電容測試點與柵極測試點相連，并通過阻斷電阻與源極測試點相連；與電源連接點相連的高壓電流連接點和與柵極測試點相連的地電壓電流連接點。該功率半導體器件結電容測試裝置將測試不同電容參數時的電路設置于同一電路板中，并根據需要選擇測試的電容參數連通相應的測試點，應用該裝置進行測試時，不需要再重新連接電路，簡化了測試工作，提高了測試效率。但是，該功率半導體器件結電容測試電路及裝置只適合于具有三個引腳的單芯片器件，而對包括3個晶體管單元、9個引腳的130_功率器件并不適用。
技術實現思路
為了解決上述問題，本技術提出了一種用于130mm功率器件的結電容測試電路及裝置。本技術提供的用于130_功率器件模塊的結電容測試電路包括三個晶體管單元、電源連接點、低電壓電流連接點、地電壓連接點、電阻、短路電容、電感、第I輸入電容、第I輸出電容、第I反饋電容、第II輸入電容、第II輸出電容、第II反饋電容，所述三個晶體管單元具有源極測試點、漏極測試點和柵極測試點；所述漏極測試點連接于所述電源連接點，所述柵極測試點連接于所述低電壓電流連接點，所述源極測試點連接于所述電阻的一端，所述電阻的另一端連接于所述低電壓電流連接點，所述第I輸入電容通過所述短路電容連接于所述電源連接點，所述第I輸出電容和第I反饋電容懸空設置，所述第II輸入電容通過所述電感連接于所述地電壓連接點，所述第II輸出電容連接于所述低電壓電流連接點，所述第II反饋電容連接于所述地電壓連接點。作為優選，所述源極測試點由所述三個晶體管單元各自的源極相連形成。作為優選，所述漏極測試點由所述三個晶體管單元各自的漏極相連形成。作為優選，所述柵極測試點由所述三個晶體管單元各自的柵極相連形成。本技術還提供了基于所述用于130_功率器件的結電容測試電路的裝置，包括所述測試電路和金屬盒體，所述金屬盒體內設有測試夾具，所述功率器件放置于所述測試夾具上；所述金屬盒體上設有電源連接端口、低電壓電流連接端口，所述電源連接點連接于所述電源連接端口，所述低電壓電流連接點連接于所述低電壓電流連接端口 ；所述金屬客體上設有開關組件，所述開關組件具有分別用于對應所述源極測試點、漏極測試點和柵極測試點的開關觸點；所述金屬盒體上還設有BNC同軸電纜接口 ；所述測試夾具上設有蓋板和蓋板扣，所述功率器件放置于所述蓋板和蓋板扣之間。作為優選，所述測試夾具上還設有用于固定所述三個晶體管單元的各引腳的引腳彈黃。作為優選，所述開關組件為切換開關，所述切換開關能夠使開關組件在所述源極測試點、漏極測試點和柵極測試點的開關觸點之間切換。本技術提供的功率半導體器件結電容測試電路及裝置能夠適用于包括3個晶體管單元、9個引腳的130_功率器件。附圖說明圖1為本技術實施例提供的用于130mm功率器件模塊的結電容測試電路示意圖。具體實施方式為了深入了解本技術，以下結合附圖及具體實施例對本技術進行詳細說明。參見附圖1，本技術提供的用于130_功率器件模塊的結電容測試電路包括三個晶體管單元16、電源連接點1、低電壓電流連接點2、地電壓連接點7、電阻6、短路電容8、電感15、第I輸入電容9、第I輸出電容10、第I反饋電容11、第II輸入電容12、第II輸出電容13及第II反饋電容14，三個晶體管單元16具有源極測試點5、漏極測試點3和柵極測試點4。漏極測試點3連接于電源連接點1，柵極測試點4連接于低電壓電流連接點2，源極測試點5連接于電阻6的一端，電阻6的另一端連接于低電壓電流連接點2，第I輸入電容9通過短路電容8連接于電源連接點1，第I輸出電容10和第I反饋電容11懸空設置，第II輸入電容12通過電感15連接于地電壓連接點7，第II輸出電容13連接于低電壓電流連接點2，第II反饋電容14連接于地電壓連接點7。其中，源極測試點5可以由三個晶體管單元各自的源極相連形成。其中，漏極測試點3可以由三個晶體管單元各自的漏極相連形成。其中，柵極測試點4可以由三個晶體管單元各自的柵極相連形成。本技術還提供了基于用于130mm功率器件的結電容測試電路的裝置，包括測試電路和金屬盒體，金屬盒體內設有測試夾具，功率器件放置于測試夾具上；金屬盒體上設有電源連接端口、低電壓電流連接端口，電源連接點連接于電源連接端口，低電壓電流連接點連接于低電壓電流連接端口 ；金屬盒體上設有開關組件，開關組件具有分別用于對應源極測試點、漏極測試點和柵極測試點的開關觸點；金屬盒體上還設有BNC同軸電纜接口 ；測試夾具上設有蓋板和蓋板扣，功率器件放置于蓋板和蓋板扣之間，從而，使功率器件與測試夾具之間的接觸更牢固。其中，測試夾具上還可以設有用于固定三個晶體管單元的各引腳的引腳彈簧，從而，使三個晶體管單元的各引腳的固定更牢固。其中，開關組件可以為切換開關，切換開關能夠使開關組件在源極測試點、漏極測試點和柵極測試點的開關觸點之間切換，從而，使測試點的切換能夠通過開關組件實現，這就節省了更換時間，能夠提高測試效率。本技術提供的功率半導體器件結電容測試電路及裝置能夠適用于包括3個晶體管單元、9個引腳的130_功率器件。以上所述的具體實施方式，對本技術的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本技術的具體實施方式而已，并不用于限制本技術，凡在本技術的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本技術的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于130mm功率器件模塊的結電容測試電路，其特征在于，包括：?三個晶體管單元、電源連接點、低電壓電流連接點、地電壓連接點、電阻、短路電容、電感、第Ⅰ輸入電容、第Ⅰ輸出電容、第Ⅰ反饋電容、第Ⅱ輸入電容、第Ⅱ輸出電容、第Ⅱ反饋電容，所述三個晶體管單元具有源極測試點、漏極測試點和柵極測試點；?所述漏極測試點連接于所述電源連接點，所述柵極測試點連接于所述低電壓電流連接點，所述源極測試點連接于所述電阻的一端，所述電阻的另一端連接于所述低電壓電流連接點，所述第Ⅰ輸入電容通過所述短路電容連接于所述電源連接點，所述第Ⅰ輸出電容和第Ⅰ反饋電容懸空設置，所述第Ⅱ輸入電容通過所述電感連接于所述地電壓連接點，所述第Ⅱ輸出電容連接于所述低電壓電流連接點，所述第Ⅱ反饋電容連接于所述地電壓連接點。

【技術特征摘要】
1.一種用于130mm功率器件模塊的結電容測試電路，其特征在于，包括三個晶體管單元、電源連接點、低電壓電流連接點、地電壓連接點、電阻、短路電容、電感、第I輸入電容、第I輸出電容、第I反饋電容、第II輸入電容、第II輸出電容、第II反饋電容，所述三個晶體管單元具有源極測試點、漏極測試點和柵極測試點；所述漏極測試點連接于所述電源連接點，所述柵極測試點連接于所述低電壓電流連接點，所述源極測試點連接于所述電阻的一端，所述電阻的另一端連接于所述低電壓電流連接點，所述第I輸入電容通過所述短路電容連接于所述電源連接點，所述第I輸出電容和第I反饋電容懸空設置，所述第II輸入電容通過所述電感連接于所述地電壓連接點，所述第II輸出電容連接于所述低電壓電流連接點，所述第II反饋電容連接于所述地電壓連接2.根據權利要求1所述的測試電路，其特征在于，所述源極測試點由所述三個晶體管單元各自的源極相連形成。3.根據權利要求1所述的測試電路，其特征在于，所述漏極測試點由所述三個晶體管單元各自的漏極相連形成。4.根據...

【專利技術屬性】
技術研發人員：高振鵬，朱陽軍，陸江，胡愛斌，佘超群，成星，
申請(專利權)人：中國科學院微電子研究所，
類型：實用新型
國別省市：