【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種爪式無油真空泵。
技術介紹
目前市場上的真空泵存在以下缺陷1、清潔度低,沒有對油潤滑型的干式真空泵的油蒸氣污染采取必要的措施,沒有對抽氣過程中混入的顆粒物做好有效的防護;2、安全性低,沒有對CVD (化學氣相沉積)過程中可能出現的爆炸事故做好防護措施;3、耐磨性低;4、造價高;5、維修不方便;6、性能不穩定;7、振動大、噪音高。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種爪式無油真空泵,以克服目前現有技術的真空泵存在的清潔度低、安全性低、耐磨性低、造價高、維修不方便、性能不穩定、振動大、噪音高的不足。本技術的目的是通過以下技術方案來實現一種爪式無油真空泵,包括電機,所述電機右端設有電機連接架,電機連接架右端連接干泵主體,干泵主體上端靠右側設有進氣口,所述干泵主體前端設有排氣口,所述電機連接架內設有聯軸器,聯軸器連接主動軸,主動軸上設有主動齒輪,主動齒輪活動連接從動齒輪,從動齒輪中心固定有從動軸,從動軸和主動軸上分別自主動齒輪和從動齒輪向右依次設有軸封層一、軸承一、隔套一、轉子一、隔套二、轉子二、隔套三、轉子三、隔套四、轉子四、隔套五、軸承二,所述轉子一、轉子二、轉子三、轉子四之間分別設有間隙,所述轉子一與泵腔一、轉子二與泵腔二、轉子三與泵腔三、轉子四與泵腔四之間分別設有間隙,所述隔套五上靠近軸承二處設有油封層一,所述主動軸上靠近主動齒輪左側設有軸套二,軸套二外部環設有軸封層二。進一步的,所述干泵主體外部設有自動清洗工藝孔,所述干泵主體右端設有若干水冷工藝孔,所述排氣口上設有消音器。本技術的有益效果為爪式無油真空泵在轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸,留有微 ...
【技術保護點】
一種爪式無油真空泵,包括電機(1)和干泵主體(3),所述電機(1)右端設有電機連接架(2),電機連接架(2)右端連接干泵主體(3),干泵主體(3)上端靠右側設有進氣口(5),干泵主體(3)前端設有排氣口(6),電機連接架(2)內設有聯軸器(7),聯軸器(7)連接主動軸(8),主動軸(8)上設有主動齒輪(9),主動齒輪(9)活動連接從動齒輪(10),從動齒輪(10)中心固定有從動軸(11),其特征在于:從動軸(11)和主動軸(8)上分別自主動齒輪(9)和從動齒輪(10)向右依次設有軸封層一(31)、軸承一(12)、隔套一(13)、轉子一(14)、隔套二(15)、轉子二(16)、隔套三(17)、轉子三(18)、隔套四(19)、轉子四(20)、隔套五(21)、軸承二(22),所述轉子一(14)、轉子二(16)、轉子三(18)、轉子四(20)之間分別設有間隙,所述轉子一(14)與泵腔一(25)、轉子二(16)與泵腔二(26)、轉子三(18)與泵腔三(27)以及轉子四(20)與泵腔四(28)之間分別設有間隙,所述隔套五(21)上靠近軸承二(22)設有油封層一(23)。
【技術特征摘要】
1.一種爪式無油真空泵,包括電機(I)和干泵主體(3 ),所述電機(I)右端設有電機連接架(2),電機連接架(2)右端連接干泵主體(3),干泵主體(3)上端靠右側設有進氣口(5),干泵主體(3)前端設有排氣口(6),電機連接架(2)內設有聯軸器(7),聯軸器(7)連接主動軸(8 ),主動軸(8 )上設有主動齒輪(9 ),主動齒輪(9 )活動連接從動齒輪(10 ),從動齒輪(10 )中心固定有從動軸(11),其特征在于從動軸(11)和主動軸(8 )上分別自主動齒輪(9 )和從動齒輪(10)向右依次設有軸封層一(31)、軸承一(12)、隔套一(13)、轉子一(14)、隔套二(15)、轉子二(16)、隔套三(17)、轉子三(18)、隔套四(19)、轉子四(20)、隔套五(21)、軸承二(22),所述轉子一(14)、轉子二(1...
【專利技術屬性】
技術研發人員:王瑞華,頓成元,
申請(專利權)人:北京奧普科星技術有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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