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    一種爪式無油真空泵制造技術

    技術編號:8547560 閱讀:278 留言:0更新日期:2013-04-05 19:36
    本實用新型專利技術涉及一種爪式無油真空泵,包括電機和干泵主體,電機右端設有聯軸器,聯軸器右端連接干泵主體,干泵主體上端靠右側設有進氣口,干泵主體前端設有排氣口,轉子一、轉子二、轉子三、轉子四與泵腔一、泵腔二、泵腔三、泵腔四之間分別設有微小的間隙,并形成密封裝置,干泵主體外部設有清洗工藝孔,干泵主體右端設有若干水冷工藝孔,排氣口上設有消音器。本實用新型專利技術的有益效果為:在轉子之間及轉子與泵腔之間留有微小的間隙,保證了清潔的真空環境;水冷工藝孔的設計防止形成的氧化物自燃引起爆炸;自動清洗工藝孔的設計可在不拆泵的情況下,30分鐘內對泵的內部進行全面清洗并恢復到出廠水平;消音器的設計,可降低噪音至65Db。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及一種爪式無油真空泵
    技術介紹
    目前市場上的真空泵存在以下缺陷1、清潔度低,沒有對油潤滑型的干式真空泵的油蒸氣污染采取必要的措施,沒有對抽氣過程中混入的顆粒物做好有效的防護;2、安全性低,沒有對CVD (化學氣相沉積)過程中可能出現的爆炸事故做好防護措施;3、耐磨性低;4、造價高;5、維修不方便;6、性能不穩定;7、振動大、噪音高。
    技術實現思路
    本技術的目的是提供一種爪式無油真空泵,以克服目前現有技術的真空泵存在的清潔度低、安全性低、耐磨性低、造價高、維修不方便、性能不穩定、振動大、噪音高的不足。本技術的目的是通過以下技術方案來實現一種爪式無油真空泵,包括電機,所述電機右端設有電機連接架,電機連接架右端連接干泵主體,干泵主體上端靠右側設有進氣口,所述干泵主體前端設有排氣口,所述電機連接架內設有聯軸器,聯軸器連接主動軸,主動軸上設有主動齒輪,主動齒輪活動連接從動齒輪,從動齒輪中心固定有從動軸,從動軸和主動軸上分別自主動齒輪和從動齒輪向右依次設有軸封層一、軸承一、隔套一、轉子一、隔套二、轉子二、隔套三、轉子三、隔套四、轉子四、隔套五、軸承二,所述轉子一、轉子二、轉子三、轉子四之間分別設有間隙,所述轉子一與泵腔一、轉子二與泵腔二、轉子三與泵腔三、轉子四與泵腔四之間分別設有間隙,所述隔套五上靠近軸承二處設有油封層一,所述主動軸上靠近主動齒輪左側設有軸套二,軸套二外部環設有軸封層二。進一步的,所述干泵主體外部設有自動清洗工藝孔,所述干泵主體右端設有若干水冷工藝孔,所述排氣口上設有消音器。本技術的有益效果為爪式無油真空泵在轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸,留有微小的間隙,不用任何潤滑劑,從而保證了清潔的真空環境;水冷工藝孔的獨特設計,防止形成的氧化物自燃引起爆炸;自動清洗工藝孔的獨特設計使得泵工作兩年左右或有意外大量進入液體或粉塵和粘稠物等異物后,可以在不拆泵的情況下,半小時內對泵內部全面清洗并恢復到出廠水平,并長期保持非常穩定的極限真空;消音器的獨特設計,可降低噪音50%以上,保證噪音在65db以內。附圖說明下面根據附圖對本技術作進一步詳細說明。圖1是本技術實施例所述的一種爪式無油真空泵的結構示意圖一;圖2是本技術實施例所述的一種爪式無油真空泵的結構示意圖二 ;圖3是本技術實施例所述的一種爪式無油真空泵的干泵主體的剖視圖。圖中1、電機;2、電機連接架;3、干泵主體;4、自動清洗工藝孔;5、進氣口 ;6、排氣口 ;7、聯軸器;8、主動軸;9、主動齒輪;10、從動齒輪;11、從動軸;12、軸承一 ;13、隔套一 ;14、轉子一 ;15、隔套二 ;16、轉子二 ;17、隔套三;18、轉子三;19、隔套四;20、轉子四;21、隔套五;22、軸承二 ;23、油封層一 ;24、軸套二 ;25、泵腔一 ;26、泵腔二 ;27、泵腔三;28、泵腔四;29、水冷工藝孔;30、消音器;31、軸封層一 ;32、軸封層二。具體實施方式如圖1-3所示,本技術實施例所述的一種爪式無油真空泵,包括電機I和干泵主體3,所述電機I右端設有電機連接架2,電機連接架2右端連接干泵主體3,干泵主體3上端靠右側設有進氣口 5,所述干泵主體3前端設有排氣口 6,排氣口 6上設有消音器30 ;所述電機連接架2內設有聯軸器7,聯軸器7連接主動軸8,主動軸8上設有主動齒輪9,主動齒輪9活動連接從動齒輪10,從動齒輪10中心固定有從動軸11,從動軸11和主動軸8上分別自主動齒輪9和從動齒輪10向右依次設有軸封層一 31、軸承一 12、隔套一 13、轉子一14、隔套二 15、轉子二 16、隔套三17、轉子三18、隔套四19、轉子四20、隔套五21、軸承二 22,所述轉子一 14、轉子二 16、轉子三18、轉子四20之間分別設有間隙,所述轉子一 14與泵腔一25、轉子二 16與泵腔二 26、轉子三18與泵腔三27、轉子四20與泵腔四28之間分別設有間隙,所述隔套五21上靠近軸承二 22處設有油封層一 23,所述主動軸8上靠近主動齒輪9左側設有軸套二 24,軸套二 24外部環設有軸封層二 32 ;所述干泵主體3外部設有自動清洗工藝孔4,所述干泵主體3右端設有若干水冷工藝孔29,在實際生產中,上述主體結構一般被整合統稱為密封裝置。具體實施時,針對抽氣過程中混入的顆粒物,可在爪式無油真空泵加上可調溫裝置,爪式無油真空泵的型號為APKX-4H,因為干泵內部正常工作溫度為65°,所以可調整的溫度范圍是25°飛5°,由于某些應用中的生成物在溫度增大到一定程度時可以揮發為氣態,故適當控制泵溫可以使上述生成物的沉積避免;根據不同的工況,泵體材料可以是耐蝕鑄鐵、鑄鋼、不銹鋼;轉子材料可選擇不銹鋼和合金鋼,合金鋼可選擇型號為40Cr鋼材;主軸材料可選擇不銹鋼和鑄鋼,鑄鋼可選擇40Cr型號鋼材,不銹鋼可選擇2Crl3型號鋼材;密封型式為骨架密封和機械密封以及氮氣密封等組成,確保了泵腔與油箱的安全隔離,工藝孔在成品步驟會被堵上,以保持完整外觀。具體使用時,空氣經進氣口 5進入后,經水冷工藝孔29降溫后通過轉子四進入泵腔四28,在轉子四20、轉子三18、轉子二 16、轉子一 14的作用下,依次通過泵腔三27、泵腔二26和泵腔一 25后從排出口 6排出,當爪式無油真空泵需要清洗時,可不經過拆泵,直接通過自動清洗工藝孔4對爪式無油真空泵進行清洗。本技術不局限于上述最佳實施方式,任何人在本技術的啟示下都可得出其他各種形式的產品,但不論在其形狀或結構上作任何變化,凡是具有與本申請相同或相近似的技術方案,均落在本技術的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種爪式無油真空泵,包括電機(1)和干泵主體(3),所述電機(1)右端設有電機連接架(2),電機連接架(2)右端連接干泵主體(3),干泵主體(3)上端靠右側設有進氣口(5),干泵主體(3)前端設有排氣口(6),電機連接架(2)內設有聯軸器(7),聯軸器(7)連接主動軸(8),主動軸(8)上設有主動齒輪(9),主動齒輪(9)活動連接從動齒輪(10),從動齒輪(10)中心固定有從動軸(11),其特征在于:從動軸(11)和主動軸(8)上分別自主動齒輪(9)和從動齒輪(10)向右依次設有軸封層一(31)、軸承一(12)、隔套一(13)、轉子一(14)、隔套二(15)、轉子二(16)、隔套三(17)、轉子三(18)、隔套四(19)、轉子四(20)、隔套五(21)、軸承二(22),所述轉子一(14)、轉子二(16)、轉子三(18)、轉子四(20)之間分別設有間隙,所述轉子一(14)與泵腔一(25)、轉子二(16)與泵腔二(26)、轉子三(18)與泵腔三(27)以及轉子四(20)與泵腔四(28)之間分別設有間隙,所述隔套五(21)上靠近軸承二(22)設有油封層一(23)。

    【技術特征摘要】
    1.一種爪式無油真空泵,包括電機(I)和干泵主體(3 ),所述電機(I)右端設有電機連接架(2),電機連接架(2)右端連接干泵主體(3),干泵主體(3)上端靠右側設有進氣口(5),干泵主體(3)前端設有排氣口(6),電機連接架(2)內設有聯軸器(7),聯軸器(7)連接主動軸(8 ),主動軸(8 )上設有主動齒輪(9 ),主動齒輪(9 )活動連接從動齒輪(10 ),從動齒輪(10 )中心固定有從動軸(11),其特征在于從動軸(11)和主動軸(8 )上分別自主動齒輪(9 )和從動齒輪(10)向右依次設有軸封層一(31)、軸承一(12)、隔套一(13)、轉子一(14)、隔套二(15)、轉子二(16)、隔套三(17)、轉子三(18)、隔套四(19)、轉子四(20)、隔套五(21)、軸承二(22),所述轉子一(14)、轉子二(1...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:王瑞華頓成元
    申請(專利權)人:北京奧普科星技術有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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