一種膜固化裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及液晶顯示制造技術領域，特別涉及一種膜固化裝置，用于提高膜固化的效率。本發明專利技術公開了一種膜固化裝置，包括：具有爐腔的爐體；設置在所述爐體上的爐門；設置在所述爐腔內的微波加熱單元；與所述微波加熱單元信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元；以及設置在所述爐腔內的進排氣單元。采用微波加熱的方式，對被加熱物料進行固化加熱時，可以使被加熱物料在較短的時間內達到設定的加熱溫度；另外，本發明專利技術提供的膜固化裝置還可以在加熱升溫完成后進行冷卻，減少了從加熱爐周轉到冷卻爐的周轉時間；因此，利用本發明專利技術提供的膜固化裝置進行膜固化，可以提高膜固化的效率。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及液晶顯示制造
，特別涉及一種膜固化裝置。
技術介紹
膜固化是指將涂覆在基板上的光刻膠或取向膜等加熱發生化學反應的過程，包括加熱和冷卻兩個階段，分別在加熱爐和冷卻爐完成的；具體地，首先將涂覆有光刻膠或取向膜的基板放置在加熱爐中加熱，使光刻膠或取向膜發生反應，然后再將該基板放置在冷卻爐中冷卻固化。不過，現有的加熱爐采用熱傳導的方式加熱，加熱到230°C要需25分鐘左右，加熱時間較長，而且在加熱爐中完成加熱后，還要放進冷卻爐進行冷卻，需要一定的周轉時間；因此，利用加熱爐和冷卻爐進行膜固化的過程耗時長，膜固化的效率低。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種膜固化裝置，用于提高膜固化的效率。為了實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案一種膜固化裝置，包括具有爐腔的爐體；設置在所述爐體上的爐門；設置在所述爐腔內的微波加熱單元；與所述微波加熱單元信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元；以及設置在所述爐腔內的進排氣單元。優選地,所述進排氣單元包括固定安裝在所述爐腔頂部，用于使氣體進入所述爐腔內的進氣子單元；以及固定安裝在所述爐腔頂部，用于將進入所述爐腔內的氣體排出的排氣子單J Li ο優選地，所述控制單元為可編程邏輯控制器。優選地，所述微波加熱單元固定安裝在所述爐腔頂部。進一步地，上述膜固化裝置還包括固定安裝在所述爐腔底部的支撐單元。優選地，所述支撐單元為多個玻璃支撐管或多個陶瓷支撐管。優選地，所述支撐管的高度小于5cm。進一步地，上述膜固化裝置還包括設置在所述爐門四周，用于吸收從所述爐門與所述爐體之間的縫隙泄漏的微波的門封條。優選地，所述門封條為硅橡膠門封條。進一步地，上述膜固化裝置還包括設置在爐門上的聯鎖微動開關。本專利技術提供的膜固化裝置，采用微波加熱的方式進行加熱，是利用微波對分子中極性基團的獨特作用，即微波透入被加熱物料內與被加熱物料中的極性分子間相互作用轉化為熱能，使被加熱物料各部分在同一瞬間獲得熱量而升溫，無需任何熱傳導過程就能使被加熱物料內部和外部同時加熱、同時升溫；與現有的采用熱傳導加熱方式相比，能夠在較短的時間內使被加熱物料達到設定的溫度；另外，本專利技術提供的膜固化裝置還可以對被加熱物料進行快速冷卻，減少了從加熱爐周轉到冷卻爐的周轉時間；因此，與現有技術相比，利用本專利技術提供的膜固化裝置進行膜固化，減少加熱時間和周轉時間，從而提高了膜固化的效率。附圖說明圖1為本專利技術實施例提供的一種膜固化裝置的結構示意圖；圖2為本專利技術實施例提供的微波加熱時間和亞?；鹊年P系圖。具體實施例方式現有的膜固化過程，一般采用熱傳導的加熱方式進行膜固化，加熱時間較長，而且，在加熱完成后還要在冷卻爐中進行冷卻，需要一定的周轉時間，因此，利用加熱爐和冷卻爐進行膜固化的過程耗時長，膜固化效率低。有鑒于此，本專利技術提供了一種改進的技術方案，采用微波加熱的方式進行膜固化，將縮短加熱的時間；并將加熱和冷卻設置在同一裝置內，減少了周轉時間，從而提高了膜固化的效率。為了使本領域技術人員更好的理解本專利技術的技術方案，下面結合說明書附圖對本專利技術實施例進行詳細的描述。首先申明，在液晶顯示制造
，膜固化包括光刻膠固化、取向膜固化及封框膠固化等，為了描述方便，下文將以取向膜固化為例進行說明。如圖1所示，本專利技術提供的一種膜固化裝置，包括具有爐腔的爐體10，設置在爐體10上的爐門11，設置在爐腔內的微波加熱單元13 ;與微波加熱單元13信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元(圖中未畫出)；以及設置在爐腔內的進排氣單元14。具體地，采用微波加熱的方式，是利用微波對分子中極性基團的獨特作用，即微波透入取向膜內與取向膜的極性分子間相互作用轉化為熱能，使取向膜各部分都在同一瞬間獲得熱量而升溫完成聚酰胺酸亞?；磻?；如圖2所示，在聚酰胺酸亞?；磻?，微波加熱時間7min內亞?；饶苓_到91%，而常規加熱5小時亞?；炔拍苓_到57%，可見，采用微波加熱的方式進行膜固化，加熱速度快，聚酰胺酸亞?；磻耆?，從而顯著提高了膜固化的效率。此外，在大尺寸液晶面板生產過程中，對取向膜進行膜固化時，采用微波加熱的方式進行膜固化，膜固化裝置對取向膜內部和外部同時加熱、同時升溫，加熱均勻，不會出現取向I旲厚度不均一，從而保證液晶面板的畫面顯不品質。使用本專利技術實施例提供的膜固化裝置進行取向膜固化時，將涂覆有取向膜的基板I放置在爐腔內，開啟微波加熱單元13和進排氣單元14，利用微波對分子中極性基團的獨特作用，即微波透入取向膜內與取向膜中的極性分子間相互作用并轉化為熱能，使取向膜各部分在同一瞬間獲得熱量而升溫，無需任何熱傳導過程就能使取向膜內部和外部同時加熱、同時升溫。在加熱階段，通過進排氣單元14向爐腔內供常溫氣體，將膜固化過程中揮發的溶劑和異物通過排氣口排出爐腔；加熱完成后，通過進排氣單元14向爐腔內供冷卻氣體，加快取向膜冷卻；因此，與現有技術相比，采用本專利技術實施例提供的膜固化裝置，能夠在較短的時間內完成膜固化，并減少了從加熱爐周轉到冷卻爐的周轉時間，從而提高了膜固化的效率。繼續參見圖1，優選地，上述進排氣單元14包括固定安裝在爐腔頂部，用于使氣體進入爐腔內的進氣子單元141 ;以及固定安裝在爐腔頂部，用于將進入爐腔內的氣體排出的排氣子單元142。其中，進氣子單元141分別與供常溫氣體管路和冷卻氣體管路連通，用于向爐腔內供常溫氣體和冷卻氣體；排氣子單元142與排氣管路連通，將進入爐腔內吸收了膜固化過程中揮發的溶劑和異物的氣體排出爐腔。具體地，當開啟微波加熱單元13時，同時也開啟常溫氣體管路，通過進氣子單元141將常溫氣體送進爐腔內，進入爐腔內的氣體在基板I表面流動，排氣子單元142將進入爐腔內的氣體，以及在膜固化過程中揮發的溶劑和異物排出爐腔；當加熱完成后，關閉微波加熱單元13，關閉常溫氣體管路，開啟冷卻氣體管路，使冷卻空氣進入爐腔內將取向膜冷卻。與現有技術相比，采用本實施例提供的膜固化裝置，加熱和冷卻在同一裝置進行，減少了將基板轉移到冷卻爐的周轉時間，從而提高了膜固化的效率。優選地，上述控制單元為可編程邏輯控制器，可以在可編程邏輯控制器內編寫控制微波強度及加熱時間的程序，以便于控制微波強度及加熱時間。通過設定微波強度和加熱時間，控制微波加熱單元13發出預設強度的微波，并在預設時間內完成加熱。較佳地，在具體實施時，在可編程邏輯控制器內設定發出頻率固定在915MHZ波長的微波，這個頻率的微波與取向液的介電常數對應，可以使微波加熱單元發射的微波具有選擇性加熱的效果，即只針對取向液進行加熱，如此可以降低能耗，從而節約成本。在具體實施時，上述微波加熱單元13為板狀結構，固定安裝在爐腔的頂部、底部或側壁上；優選地，微波加熱單元13固定安裝在爐腔的頂部。繼續參見圖1，上述膜固化裝置還包括固定安裝在爐腔底部的支撐單元12 ;如此設置利于空氣流通，加快冷卻效率。較佳地，上述支撐單元12為多個玻璃支撐管或多個陶瓷支撐管；如此設置微波可以穿透玻璃或陶瓷，這樣微波就可以在爐腔內來回反射，提高微波利用率，同時對待固化取向膜加熱更為均一。優選地，上述支撐管的高度小于5cm。進一步地，上述膜固化裝置還包括設置在所述爐門11四周，用于吸收從爐門11與爐體10之間的縫隙泄漏的微本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種膜固化裝置，包括：具有爐腔的爐體，設置在所述爐體上的爐門；其特征在于，還包括：設置在所述爐腔內的微波加熱單元；與所述微波加熱單元信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元；以及設置在所述爐腔內的進排氣單元。

【技術特征摘要】
1.一種膜固化裝置，包括具有爐腔的爐體，設置在所述爐體上的爐門；其特征在于，還包括 設置在所述爐腔內的微波加熱單元； 與所述微波加熱單元信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元； 以及設置在所述爐腔內的進排氣單元。2.如權利要求1所述的膜固化裝置，其特征在于，所述進排氣單元包括 固定安裝在所述爐腔頂部，用于使氣體進入所述爐腔內的進氣子單元； 以及固定安裝在所述爐腔頂部，用于將進入所述爐腔內的氣體排出的排氣子單元。3.如權利要求1所述的膜固化裝置，其特征在于，所述控制單元為可編程邏輯控制器。4.如權利要求1-3任一所述的膜固化裝置，其特征在于，所述微波...

【專利技術屬性】
技術研發人員：任文明，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，合肥京東方光電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：