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    一種用于裝載擴散液態源的源瓶制造技術

    技術編號:8474647 閱讀:325 留言:0更新日期:2013-03-24 19:45
    一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體,該瓶體設置有出口位于所述瓶體底部的進氣管和入口位于所述瓶體上部的出氣管,其特征在于:所述瓶體的底部設置有集源槽,所述進氣管下端的進氣孔設置于所述集源槽內;所述瓶體底部設置有加厚部,所述加厚部與所述集源槽位于所述瓶體底部的不同位置。本實用新型專利技術瓶底的加厚部抬高了瓶內液體的液面,減少了殘留液體的浪費;氣體通過兩個方向不同的進氣孔分流,增大了氣體與液體的接觸面積,增大了攜液量。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及一種生產用化學藥品的容器,尤其涉及一種用于裝載擴散液態源的源瓶
    技術介紹
    目前太陽能電池生產制造擴散過程中,多采用液態源POCUt為磷源摻雜劑。在實際生產過程中,源瓶的進氣管通入氣體的N2,由N2攜帶POCl3通過源瓶的出氣管送出,進入下一道工序進行生產,隨生產的進行,液態源的液面在不斷下降,從而減小了,N2的攜源量,從而進入擴散爐管的POCl3量減少。為保證產品質量,得到穩定的方塊電阻,要求源瓶液位高度必須3 3cm,即淹沒進氣管道2cm以上,這樣對于源瓶內部剩余的POCl3只能報廢處理,造成了生產成本的增加,以1500ml源瓶為例,其在3cm液位時溶液體積為400ml,這些被浪費的POCl3也會在廢液處理過程對環境的污染。如專利公告號為CN201804844的專利公開了一種用于擴散工藝的源瓶,在瓶體底面局部向下凹陷形成一集源槽,進氣管向瓶體內部延伸至接近所述集源槽的底面。該技術提高了源的利用率,降低了生產成本,但這種結構的集源瓶需要在瓶體底部加裝支撐,放置穩固度不高,在通入氣體時易引起震動,降低了可靠性。
    技術實現思路
    本技術為解決現有技術問題,提供一種利用率高、生產成本低、可靠性好的用于裝載擴散液態源的源瓶。本技術的技術方案是一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體,該瓶體設置有出口位于所述瓶體底部的進氣管和入口位于所述瓶體上部的出氣管,其特征在于所述瓶體的底部設置有集源槽,所述進氣管下端的進氣孔設置于所述集源槽內;所述瓶體底部設置有加厚部,所述加厚部與所述集源槽位于所述瓶體底部的不同位置。在源瓶的瓶底設置集源槽,并使進氣管的管口處于集源槽內,以保持進氣管的管口處于瓶體的最底部,氣體在瓶內持續時間長,攜液量大,加厚部用于提升瓶內非集源槽部位的液面高度,以減少瓶底殘留液體的量。作為優選,所述集源槽呈柱形。作為優選,所述瓶體還設置有溫度感應器,該溫度感應器的探頭設置于所述集源槽內。溫度感應器的探頭設置于瓶體的最底部,使得探頭始終處于液面以下。作為優選,所述溫度感應器設置于所述進氣管和出氣管之間。濕度感應器設置于氣體行進的行程中間,測量的數據為氣體與液體充分混合后的濕度。作為優選,所述進氣孔設置有兩個,且方向不同。通過進氣管進入的氣體從兩個不同方向的進氣孔進入源瓶,因此氣體與液體接觸的面積更大,混合更充分。作為優選,兩個所述進氣孔的出氣方向相反。作為優選,兩個所述進氣孔的出氣方向均沿所述集源槽的軸向。作為優選,所述進氣孔呈半圓形。作為優選,所述瓶體的底部為平面。作為優選,所述出氣管的入口設置于所述瓶體內的上表面。綜上所述,本技術具有以下優點I、瓶底的加厚部抬聞了瓶內液體的液面,減少了殘留液 體的浪費;2、氣體通過兩個方向不同的進氣孔分流,增大了氣體與液體的接觸面積,增大了攜液量。附圖說明圖I為本技術結構解剖圖。圖中,I、瓶體,2、進氣管,21、進氣孔,3、出氣管,4、溫度感應器,5、集源槽,6、加厚部。具體實施方式下面以實施例對本技術作進一步說明。實施例一一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體1,該瓶體I設置有出口位于瓶體I底部的進氣管2和入口位于瓶體I上部的出氣管3,瓶體I的底部設置有柱形的集源槽5,進氣管2下端的兩個方向沿集源槽5軸向相反的半圓形的進氣孔21設置于集源槽5內;瓶體I底部設置有加厚部6,加厚部6與集源槽5位于瓶體I底部的不同位置;進氣管2和出氣管3之間還設置有溫度感應器4,該溫度感應器4的探頭設置于集源槽5內。工作時,瓶體I內承載著POCl3,從進氣管2充入氣態的N2, N2通過進氣孔21進入瓶體2內,向出氣管3流動,在流動過程中,N2與瓶體I內的液體POCl3相混合,并攜帶一部分液體POCl3分子,從出氣管3流出。以常規1500ml源瓶為例,傳統的源瓶更換時殘留液體POCl3含400ml,本技術源瓶更換時殘留液體POCl3僅含170ml,可節約230ml POCl3,源液體POCl3的利用率從傳統源瓶的73 77%提升至89%。本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體(1),該瓶體(1)設置有出口位于所述瓶體(1)底部的進氣管(2)和入口位于所述瓶體(1)上部的出氣管(3),其特征在于:所述瓶體(1)的底部設置有集源槽(5),所述進氣管(2)下端的進氣孔(21)設置于所述集源槽(5)內;所述瓶體(1)底部設置有加厚部(6),所述加厚部(6)與所述集源槽(5)位于?所述瓶體(1)底部的不同位置。

    【技術特征摘要】
    1.一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體(1),該瓶體(I)設置有出口位于所述瓶體(I)底部的進氣管(2)和入口位于所述瓶體(I)上部的出氣管(3),其特征在于所述瓶體(I)的底部設置有集源槽(5 ),所述進氣管(2 )下端的進氣孔(21)設置于所述集源槽(5 )內;所述瓶體(I)底部設置有加厚部(6),所述加厚部(6)與所述集源槽(5)位于所述瓶體(I)底部的不同位置。2.根據權利要求I所述用于裝載擴散液態源的源瓶,其特征在于所述集源槽(5)呈柱形。3.根據權利要求I或2所述用于裝載擴散液態源的源瓶,其特征在于所述瓶體(I)還設置有溫度感應器(4),該溫度感應器(4)的探頭設置于所述集源槽(5)內。4.根據權利要求3所述用于裝載擴散液態源的源瓶,其特征在...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:劉元來歐陽輝王虎陸波姚琪
    申請(專利權)人:浙江貝盛光伏股份有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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