【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種生產用化學藥品的容器,尤其涉及一種用于裝載擴散液態源的源瓶。
技術介紹
目前太陽能電池生產制造擴散過程中,多采用液態源POCUt為磷源摻雜劑。在實際生產過程中,源瓶的進氣管通入氣體的N2,由N2攜帶POCl3通過源瓶的出氣管送出,進入下一道工序進行生產,隨生產的進行,液態源的液面在不斷下降,從而減小了,N2的攜源量,從而進入擴散爐管的POCl3量減少。為保證產品質量,得到穩定的方塊電阻,要求源瓶液位高度必須3 3cm,即淹沒進氣管道2cm以上,這樣對于源瓶內部剩余的POCl3只能報廢處理,造成了生產成本的增加,以1500ml源瓶為例,其在3cm液位時溶液體積為400ml,這些被浪費的POCl3也會在廢液處理過程對環境的污染。如專利公告號為CN201804844的專利公開了一種用于擴散工藝的源瓶,在瓶體底面局部向下凹陷形成一集源槽,進氣管向瓶體內部延伸至接近所述集源槽的底面。該技術提高了源的利用率,降低了生產成本,但這種結構的集源瓶需要在瓶體底部加裝支撐,放置穩固度不高,在通入氣體時易引起震動,降低了可靠性。
技術實現思路
本技術為解決現有技術問題,提供一種利用率高、生產成本低、可靠性好的用于裝載擴散液態源的源瓶。本技術的技術方案是一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體,該瓶體設置有出口位于所述瓶體底部的進氣管和入口位于所述瓶體上部的出氣管,其特征在于所述瓶體的底部設置有集源槽,所述進氣管下端的進氣孔設置于所述集源槽內;所述瓶體底部設置有加厚部,所述加厚部與所述集源槽位于所述瓶體底部的不同位置。在源瓶的瓶底設置集源槽,并使進氣管的管口處于集源槽內,以 ...
【技術保護點】
一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體(1),該瓶體(1)設置有出口位于所述瓶體(1)底部的進氣管(2)和入口位于所述瓶體(1)上部的出氣管(3),其特征在于:所述瓶體(1)的底部設置有集源槽(5),所述進氣管(2)下端的進氣孔(21)設置于所述集源槽(5)內;所述瓶體(1)底部設置有加厚部(6),所述加厚部(6)與所述集源槽(5)位于?所述瓶體(1)底部的不同位置。
【技術特征摘要】
1.一種用于裝載擴散液態源的源瓶,包括瓶體(1),該瓶體(I)設置有出口位于所述瓶體(I)底部的進氣管(2)和入口位于所述瓶體(I)上部的出氣管(3),其特征在于所述瓶體(I)的底部設置有集源槽(5 ),所述進氣管(2 )下端的進氣孔(21)設置于所述集源槽(5 )內;所述瓶體(I)底部設置有加厚部(6),所述加厚部(6)與所述集源槽(5)位于所述瓶體(I)底部的不同位置。2.根據權利要求I所述用于裝載擴散液態源的源瓶,其特征在于所述集源槽(5)呈柱形。3.根據權利要求I或2所述用于裝載擴散液態源的源瓶,其特征在于所述瓶體(I)還設置有溫度感應器(4),該溫度感應器(4)的探頭設置于所述集源槽(5)內。4.根據權利要求3所述用于裝載擴散液態源的源瓶,其特征在...
【專利技術屬性】
技術研發人員:劉元來,歐陽輝,王虎,陸波,姚琪,
申請(專利權)人:浙江貝盛光伏股份有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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