點測裝置的尋邊器制造方法及圖紙

本實用新型專利技術(shù)涉及一種點測裝置的尋邊器，包含有一座體、一懸臂件，以及一連接于所述座體與所述懸臂件之間的彈性片，所述尋邊器的特征在于：所述彈性片具有一最大表面，且所述彈性片以其最大表面實質(zhì)上垂直所述懸臂件的長軸方向的方式，連接于所述座體與所述懸臂件之間。由此，當(dāng)一螺絲被鎖設(shè)于懸臂件，以將一探針固定于懸臂件時，可避免彈性片因鎖設(shè)螺絲時用力過度而塑性變形。（*該技術(shù)在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

點測裝置的尋邊器
本技術(shù)與利用探針(probe)檢測諸如發(fā)光二極管等半導(dǎo)體晶粒性能的點測裝置(prober)有關(guān)，特別是指一種點測裝置的尋邊器(edge sensor) 0
技術(shù)介紹
點測裝置是一種利用探針檢測諸如發(fā)光二極管等半導(dǎo)體晶粒性能表現(xiàn)或特性參數(shù)的設(shè)備。在點測作業(yè)進行時，假使探針針壓(probing force)過大,可能會造成晶粒表面損傷，也容易造成探針磨損，而一旦針壓過小，可能造成探針與晶粒接點接觸不良，進而影響點測結(jié)果，因此，探針針壓的設(shè)定、監(jiān)測與調(diào)整，一直都是點測作業(yè)進行時需格外注意的事項。利用搭載于點測裝置中的尋邊器，可達到確保探針能確實接觸并在待測晶粒的接點施加一定壓抵力量的目的。如圖I及圖2所不，習(xí)用的尋邊器100包含有一座體110、一懸臂120、一彈性片130，以及一設(shè)置于懸臂120 —端的探針140。彈性片130實質(zhì)上是以水平的姿態(tài)連接于座體110與懸臂120之間，詳而言之，彈性片130的一端部固接于座體110 底面，懸臂120的中段固接于彈性片130的另一端部底面。此外，懸臂120與座體110之間設(shè)有一可調(diào)預(yù)力施加器150，以及二分別固設(shè)于懸臂120及座體110的導(dǎo)電體160、170，二導(dǎo)電體160、170受預(yù)力施加器150施加的預(yù)力作用而保持接觸并電導(dǎo)通。通過一可垂直往復(fù)運動的進給機構(gòu)帶動尋邊器100下降或使一承載待測物的承載臺上升，探針140可相對待測物由上而下地接觸該待測物，在持續(xù)進給的過程中，一旦該待測物施加給探針140的反作用力克服該預(yù)力時，將造成懸臂120擺動且彈性片130彈性彎曲變形，使得二導(dǎo)電體160、170相互分離而斷路，同時，點測裝置一旦偵測到二導(dǎo)電體 160、170斷路的訊號則立即停止前述進給動作。由此，尋邊器100不但可確保探針140與待測物有效接觸，且可避免探針140對待測物所施的針壓過大而造成待測物或探針140損傷。然而，在裝設(shè)探針140或更換探針140時，操作員是利用螺絲180由上而下地將探針140鎖設(shè)固定于懸臂120的一端,過程中，由于其施力方向為垂直于彈性片130的設(shè)置方向，即對彈性片130施加一彎曲力量(bending force),相當(dāng)容易因施力過大而造成彈性片 130塑性彎曲變形，進而影響針壓設(shè)定值，而必須進一步更換彈性片130。換言之，習(xí)用的尋邊器的彈性片設(shè)置方式以及探針的固定方式實有其不足之處，而有待改進。
技術(shù)實現(xiàn)思路
針對上述問題，本技術(shù)的主要目的在于提供一種點測裝置的尋邊器，其可改善習(xí)用尋邊器的彈性片容易塑性彎曲變形的缺點。為達到上述目的，本技術(shù)所提供的一種點測裝置的尋邊器，包含有一座體、一懸臂件，以及一連接于所述座體與所述懸臂件之間的彈性片，所述尋邊器的特征在于所述彈性片具有一最大表面，且所述彈性片以其最大表面實質(zhì)上垂直所述懸臂件的長軸方向的方式，連接于所述座體與所述懸臂件之間。上述本技術(shù)的技術(shù)方案中，所述座體具有一前側(cè)面，所述彈性片具有一前表面及一后表面，所述后表面固接于所述座體的前側(cè)面，所述懸臂件具有位于所述座體下方的一前懸臂及一后懸臂，所述前懸臂具有一前端及一后端，所述后端固接于所述彈性片的前表面，所述前端用于裝設(shè)一探針，所述后懸臂與所述前懸臂相對固定。所述后懸臂的一前端固接于所述彈性片的后表面。所述前懸臂與所述后懸臂一體連接。所述彈性片具有一鏤空部；所述彈性片的鏤空部對應(yīng)至所述座體與所述懸臂件之間的空隙。所述彈性片具有一固定于所述座體的上半部、一固定于所述懸臂件的下半部，以及一位于所述上下、半部之間的鏤空部。所述座體具有一前側(cè)面，所述彈性片的上半部固定于所述座體的前側(cè)面。所述懸臂件包含有相互固接的一前懸臂與一后懸臂，且所述彈性片的下半部夾置固定于所述前懸臂與所述后懸臂之間。所述彈性片具有一上半部以及一下半部，所述彈性片的上半部固定于所述座體； 所述懸臂件包含有相互固接的一前懸臂與一后懸臂，且所述彈性片的下半部夾置固定于所述前懸臂與所述后懸臂之間。所述彈性片還具有一位于所述上下、半部之間的長條形鏤空部，且所述鏤空部的長軸方向?qū)嵸|(zhì)上垂直于所述懸臂件的長軸方向。所述懸臂件的前懸臂裝設(shè)有一探針，且所述前懸臂具有一定位孔以及一卡扣部； 所述探針具有一長條狀身部、一連接于所述長條狀身部的一端且向下延伸的針尖部，以及一連接于所述長條狀身部的另一端且向下延伸的定位部；所述探針的定位部插置于所述前懸臂的定位孔中，且所述探針的長條狀身部為彈性彎曲地卡抵于所述前懸臂的卡扣部。所述前懸臂具有一本體，所述本體具有一頂面；所述定位孔自所述本體的頂面向下延伸，所述卡扣部銜接于所述本體并具有一面向下方的卡抵面；所述探針的長條狀身部卡抵于所述卡扣部的卡抵面；所述前懸臂的卡扣部具有一向下方開放的卡槽，所述卡槽的槽壁形成所述卡扣部的卡抵面；所述前懸臂的卡扣部具有一與所述前懸臂的本體銜接的向上延伸段，以及一與所述向上延伸段銜接的橫向延伸段，所述卡抵面位于所述橫向延伸段的底部。所述前懸臂的定位孔的軸向?qū)嵸|(zhì)上垂直所述前懸臂的本體的頂面，所述探針的定位部為相對所述長條狀身部彎折一預(yù)定角度地向下延伸，且前述預(yù)定角度實質(zhì)上大于90 度且小于135度。所述探針的定位部實質(zhì)上相對所述長條狀身部垂直彎折地向下延伸，所述前懸臂的定位孔為相對所述前懸臂本體的頂面傾斜延伸，且所述定位孔的軸向與所述頂面的一法線相交一大于O度且小于45度的夾角。所述懸臂件的前懸臂固設(shè)有一探針，所述探針具有一定位部，所述定位部插設(shè)于所述前懸臂的一定位孔中。采用上述技術(shù)方案，本技術(shù)當(dāng)操作員將螺絲由上而下地鎖設(shè)于懸臂件，以將一探針固定于懸臂件上時，其施力方向為平行于彈性片的設(shè)置方向，換言之，前述施力是對彈性片施加一拉伸力量，較可能使彈性片拉伸變形而非彎曲變形，而彈性片的抗拉強度遠大于抗彎強度，因此彈性片不易因操作員鎖設(shè)螺絲時用力過度而塑性變形。本技術(shù)通過改變探針的固定方式，使得探針不需借助固定螺絲即能固定在前懸臂上，更可確保彈性片不易塑性彎曲變形。而且本技術(shù)通過對探針的定位部與定位孔的結(jié)構(gòu)搭配設(shè)計，使得探針的定位部插置于定位孔中時，探針的長條狀身部可相對針座本體的頂面傾斜地向上延伸，使長條狀身部在受一外力壓抵之后，可以向下塑性彎曲變形而卡抵于卡扣部，并通過其彈性回復(fù)力而定位。附圖說明圖I是習(xí)用的點測裝置的尋邊器的立體組合圖；圖2是圖I所示的尋邊器的側(cè)視圖；圖3是本技術(shù)一較佳實施例所提供的點測裝置的尋邊器設(shè)于點測裝置的一進給單元的立體組合圖；圖4是本技術(shù)該較佳實施例所提供的點測裝置的尋邊器與該進給單元的立體分解圖；圖5及圖6是本技術(shù)該較佳實施例所提供的點測裝置的尋邊器作用于一待測物的側(cè)視圖；圖7是本技術(shù)一第二較佳實施例所提供的點測裝置的尋邊器的側(cè)視圖，顯示該尋邊器的一探針與一前懸臂未相互卡接固定的狀態(tài)；圖8是本技術(shù)該第二較佳實施例所提供的點測裝置的尋邊器的前懸臂與探針的立體分解圖；圖9類同于圖7，顯示該尋邊器的探針與前懸臂相互卡接固定的狀態(tài)；圖10是本技術(shù)一第三較佳實施例所提供的點測裝置的尋邊器的側(cè)視圖，顯示該尋邊器的一探針與一前懸臂未相互卡接固定的狀態(tài)。具體實施方式為了詳細說明本技術(shù)的結(jié)構(gòu)、特點及功效，現(xiàn)舉以下較佳實施例并配合附本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種點測裝置的尋邊器，包含有一座體、一懸臂件，以及一連接于所述座體與所述懸臂件之間的彈性片，所述尋邊器的特征在于：所述彈性片具有一最大表面，且所述彈性片以其最大表面實質(zhì)上垂直所述懸臂件的長軸方向的方式，連接于所述座體與所述懸臂件之間。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種點測裝置的尋邊器，包含有一座體、一懸臂件，以及一連接于所述座體與所述懸臂件之間的彈性片，所述尋邊器的特征在于 所述彈性片具有一最大表面，且所述彈性片以其最大表面實質(zhì)上垂直所述懸臂件的長軸方向的方式，連接于所述座體與所述懸臂件之間。2.如權(quán)利要求I所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述座體具有一前側(cè)面，所述彈性片具有一前表面及一后表面，所述后表面固接于所述座體的前側(cè)面，所述懸臂件具有位于所述座體下方的一前懸臂及一后懸臂，所述前懸臂具有一前端及一后端，所述后端固接于所述彈性片的前表面，所述前端用于裝設(shè)一探針，所述后懸臂與所述前懸臂相對固定。3.如權(quán)利要求2所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述后懸臂的一前端固接于所述彈性片的后表面。4.如權(quán)利要求2所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述前懸臂與所述后懸臂一體連接。5.如權(quán)利要求I至4中任一項所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述彈性片具有一鏤空部；所述彈性片的鏤空部對應(yīng)至所述座體與所述懸臂件之間的空隙。6.如權(quán)利要求I所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述彈性片具有一固定于所述座體的上半部、一固定于所述懸臂件的下半部，以及一位于所述上下、半部之間的鏤空部。7.如權(quán)利要求6所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述座體具有一前側(cè)面，所述彈性片的上半部固定于所述座體的前側(cè)面。8.如權(quán)利要求6或7所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述懸臂件包含有相互固接的一前懸臂與一后懸臂，且所述彈性片的下半部夾置固定于所述前懸臂與所述后懸臂之間。9.如權(quán)利要求I所述的點測裝置的尋邊器，其特征在于所述彈性片具有一上半部以及一下半部，所述彈性片的上半部固定于所述座體；所述懸臂件包含有相互固接的一前懸臂與一后懸臂，且所述彈性片的下半部夾置固定于所述前懸臂與所述后懸臂之間。10.如權(quán)利要求9所述的點測...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：洪嘉宏，
申請(專利權(quán))人：旺矽科技股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：