本發(fā)明專利技術(shù)提供一種新穎的、液晶顯示裝置等的制造工序中對玻璃基板面快速且高精度地進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫裝置。本發(fā)明專利技術(shù)是在對玻璃基板面依次進(jìn)行成膜、曝光和蝕刻的流程工序中，對設(shè)于成膜工序和曝光工序之間的玻璃基板面進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫裝置，形成有調(diào)溫風(fēng)循環(huán)容器，其具有能夠覆蓋任何大小的玻璃基板面的尺寸，在該容器的下部橫跨架設(shè)有數(shù)個扁方筒體形且其下表面的中間設(shè)置有供帶熱后的調(diào)溫風(fēng)返回進(jìn)入的回收口的扁方筒體，通過從各扁方筒體之間的狹小間隙向移動至該容器下方極近位置的玻璃基板面噴吹該容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)的噴吹調(diào)溫以及上述調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板面進(jìn)行表面接觸直至蔓延并流入該回收口的表面接觸調(diào)溫，對玻璃基板面快速且高精度地進(jìn)行調(diào)溫。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及液晶顯示裝置等的制造工序中的、玻璃基板的快速高精度調(diào)溫裝置。
技術(shù)介紹
在玻璃基板面上形成感光膜后，為使感光膜干燥要使基板達(dá)到高溫，然后需要將基板冷卻到適宜曝光的23°C。之前提出的日本特許第3701007號公報記載了用大量噴嘴向成膜之后的玻璃基板面垂直噴吹調(diào)溫風(fēng)而對玻璃基板面進(jìn)行調(diào)溫的技術(shù)。專利文獻(xiàn)I :日本特許第3701007號公報
技術(shù)實現(xiàn)思路
_4] 專利技術(shù)要解決的問題 然而，存在的問題是，用噴嘴垂直噴吹調(diào)溫風(fēng)時，如圖4所示，調(diào)溫風(fēng)遇到玻璃基板面后彈回形成了點接觸，因此調(diào)溫耗費(fèi)時間，并且，由于帶有熱量的彈回風(fēng)成為了噴吹風(fēng)的阻力，同時又混入于調(diào)溫風(fēng)，因此玻璃基板面的調(diào)溫精密度不足，公報雖稱是在230C ±0. 1°C的精度下調(diào)溫，但實際情況下達(dá)不到這樣的精度。用于解決問題的方案本專利技術(shù)用以下技術(shù)方案解決了上述問題，S卩，形成有調(diào)溫風(fēng)循環(huán)容器，其具有能夠覆蓋任何大小的玻璃基板面的尺寸，在該容器的下部橫跨架設(shè)有數(shù)個扁方筒體形且其下表面的中間設(shè)置有供調(diào)溫風(fēng)返回進(jìn)入的回收口的扁方筒體，通過從各扁方筒體之間的狹小間隙向移動至該容器下方極近位置的玻璃基板面噴吹該容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)的噴吹調(diào)溫以及上述調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板面進(jìn)行表面接觸直至蔓延并流入該回收口的表面接觸調(diào)溫，而對玻璃基板面進(jìn)行快速調(diào)溫，并且從該回收口回收熱交換后攜帶了熱量的風(fēng)，防止其混入到容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)中，由此防止了回收風(fēng)紊流化，避免其成為調(diào)溫風(fēng)的阻力，從而節(jié)能且以高精度即23°C ±0.05°C以內(nèi)這樣的高精度對玻璃基板面進(jìn)行調(diào)溫。專利技術(shù)的效果本專利技術(shù)產(chǎn)生了以下效果在簡單的裝置中用23 °C ±0. 05 °C以內(nèi)的精度極高的調(diào)溫風(fēng)對玻璃基板面進(jìn)行噴吹，和過去相比能在極短的時間內(nèi)對玻璃基板進(jìn)行精密的調(diào)溫；由于以狹小的間隙并排設(shè)置扁方筒體，以及在扁方筒體的下表面的中間設(shè)置回收口，因此能夠通過噴吹調(diào)溫和表面接觸調(diào)溫對玻璃基板面進(jìn)行快速調(diào)溫；由于解決了噴吹調(diào)溫風(fēng)的彈回問題，以及防止了帶熱風(fēng)混入于調(diào)溫風(fēng)中，因此能夠進(jìn)行精度極高的調(diào)溫；由于快速調(diào)整加快了傳送帶的間歇移動，能夠提高作業(yè)效率。附圖說明圖I是表示制造工序的一部分的俯視圖。圖2是調(diào)溫裝置關(guān)鍵部位的局部放大縱剖視圖。圖3是調(diào)溫裝置關(guān)鍵部位的局部放大橫剖視圖。圖4是表示現(xiàn)有例中從噴嘴中噴吹出的調(diào)溫風(fēng)在基板面彈回的狀態(tài)的說明圖。附圖標(biāo)記說明11傳送帶12成膜干燥室13調(diào)溫裝置 14曝光室15循環(huán)容器16循環(huán)風(fēng)路17 風(fēng)扇18溫度傳感器19 間隙20扁方筒體21 回收口C/C冷卻空調(diào)器H/C加熱空調(diào)器G玻璃基板具體實施例方式本專利技術(shù)是在液晶顯示裝置的制造線上，在對大大小小的玻璃基板面依次進(jìn)行成膜、曝光和蝕刻的流程中，如下構(gòu)造設(shè)于成膜工序和曝光工序之間的玻璃基板面的調(diào)溫裝置，從而快速且高精度地進(jìn)行調(diào)溫。其構(gòu)造是，形成有調(diào)溫風(fēng)循環(huán)容器，其具有能夠覆蓋任何大小的玻璃基板面的尺寸，在該容器的下部橫跨架設(shè)有數(shù)個扁方筒體形且其下表面的中間設(shè)置有供調(diào)溫風(fēng)返回進(jìn)入的回收口的扁方筒體，通過從各扁方筒體之間的狹小間隙向移動至該容器下方極近位置的玻璃基板面噴吹該容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)的噴吹調(diào)溫以及上述調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板面進(jìn)行表面接觸直至蔓延并流入該回收口的表面接觸調(diào)溫，而對玻璃基板面進(jìn)行快速調(diào)溫，并且從該回收口回收調(diào)溫后的帶熱風(fēng)，防止其混入到容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)中，由此能夠以23°C ±0.05°C以內(nèi)的聞精度進(jìn)行調(diào)溫。實施例I圖I至圖3表示實施例，在潔凈室中間歇移動的傳送帶11上依次設(shè)置有成膜干燥室12、調(diào)溫裝置13、曝光室14，使感光液落到搭載在該傳送帶11上而移動至成膜干燥室12下方極近位置的玻璃基板G的表面上，以利用使玻璃基板G旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使感光液在整個表面達(dá)到均勻的厚度之后進(jìn)行加熱而使感光液干燥的要領(lǐng)，進(jìn)行所規(guī)定的成膜，進(jìn)入到調(diào)溫裝置13下方的極近位置時，將溫度上升了的玻璃基板G調(diào)溫至最適合曝光的23°C。用于調(diào)溫的調(diào)溫裝置13在循環(huán)容器15內(nèi)的側(cè)面設(shè)置有調(diào)溫風(fēng)的循環(huán)風(fēng)路16，在循環(huán)風(fēng)路16的上部設(shè)置有對循環(huán)風(fēng)路中的風(fēng)進(jìn)行調(diào)溫后向容器15內(nèi)供給的冷卻空調(diào)器C/C，在容器15內(nèi)的上部設(shè)置有加熱空調(diào)器H/C及其下方的向下推壓調(diào)溫風(fēng)的風(fēng)扇17。附圖標(biāo)記18表示用于控制加熱空調(diào)器H/C的溫度傳感器。而且，在容器15內(nèi)的構(gòu)成底面的下部，隔著狹小間隙19并排設(shè)置數(shù)個長條的扁方筒體20。 該狹小間隙19優(yōu)選為20mm 30mm。各扁方筒體20的下表面的長度方向的中間設(shè)置有回收口 21，返回進(jìn)入回收口 21的調(diào)溫后的帶熱風(fēng)從扁方筒體20內(nèi)通過，然后從扁方筒體20的長度方向兩端返回進(jìn)入循環(huán)風(fēng)路16而進(jìn)行循環(huán)。該回收口的寬度優(yōu)選為20mm 30mm。然后，完成成膜的玻璃基板G通過傳送帶11的移動而進(jìn)入調(diào)溫裝置13下方的極近位置時，通過從扁方筒體20間的狹小間隙19噴吹被風(fēng)扇17下推的23°C的調(diào)溫風(fēng)而進(jìn)行調(diào)溫的玻璃基板G的噴吹調(diào)溫以及隨后由噴吹出的調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板G持續(xù)表面接觸直至返回進(jìn)入回收口 21的表面接觸調(diào)溫，使玻璃基板G被快速調(diào)溫。調(diào)溫裝置13下方的極近位置優(yōu)選是距容器15下表面(扁方筒體19下表面)5mm 20mm的位置。 并且，因無過去產(chǎn)生的、調(diào)溫后的帶熱風(fēng)的彈回，而是將調(diào)溫后的帶熱風(fēng)全部通過回收口 21回收而避免其混入到容器15內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)中，所以能夠以23°C ±0. 05°C以內(nèi)的優(yōu)異的高精度進(jìn)行調(diào)溫。如上述那樣被快速高精度調(diào)溫后的玻璃基板G進(jìn)入曝光室14進(jìn)行曝光。產(chǎn)業(yè)h的可利用件本專利技術(shù)能將感光膜成膜后的玻璃基板面快速且高精度地調(diào)溫到適宜曝光溫度，因而可被廣泛利用。權(quán)利要求1.一種玻璃基板面的快速高精度調(diào)溫裝置，用于在對玻璃基板面依次進(jìn)行成膜、曝光和蝕刻的流程工序中，對設(shè)于成膜工序和曝光工序之間的玻璃基板面進(jìn)行調(diào)溫，其特征在于， 該調(diào)溫裝置形成有調(diào)溫風(fēng)循環(huán)容器，其具有能夠覆蓋任何大小的玻璃基板面的尺寸，在該容器的下部橫跨架設(shè)有數(shù)個扁方筒體形且其下表面的中間設(shè)置有供調(diào)溫風(fēng)返回進(jìn)入的回收口的扁方筒體， 通過從各扁方筒體之間的狹小間隙向移動至該容器下方極近位置的玻璃基板面噴吹該容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)的噴吹調(diào)溫以及上述調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板面進(jìn)行表面接觸直至蔓延并流入該回收口的表面接觸調(diào)溫，而對玻璃基板面進(jìn)行快速調(diào)溫，并且從該回收口回收調(diào)溫后的帶熱風(fēng)，防止其混入到容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)中，由此以23°c ±0.05°C以內(nèi)的高精度進(jìn)行調(diào)溫。·全文摘要本專利技術(shù)提供一種新穎的、液晶顯示裝置等的制造工序中對玻璃基板面快速且高精度地進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫裝置。本專利技術(shù)是在對玻璃基板面依次進(jìn)行成膜、曝光和蝕刻的流程工序中，對設(shè)于成膜工序和曝光工序之間的玻璃基板面進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫裝置，形成有調(diào)溫風(fēng)循環(huán)容器，其具有能夠覆蓋任何大小的玻璃基板面的尺寸，在該容器的下部橫跨架設(shè)有數(shù)個扁方筒體形且其下表面的中間設(shè)置有供帶熱后的調(diào)溫風(fēng)返回進(jìn)入的回收口的扁方筒體，通過從各扁方筒體之間的狹小間隙向移動至該容器下方極近位置的玻璃基板面噴吹該容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)的噴吹調(diào)溫以及上述調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板面進(jìn)行表面接觸直至蔓延并流入該回收口的表面接觸調(diào)溫，對玻璃基板面快速且高精度地進(jìn)行調(diào)溫。文檔編號G03F7/20GK102955374SQ20121028576公開日2013年3月6日 申請日期2012年8月10本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點】
一種玻璃基板面的快速高精度調(diào)溫裝置，用于在對玻璃基板面依次進(jìn)行成膜、曝光和蝕刻的流程工序中，對設(shè)于成膜工序和曝光工序之間的玻璃基板面進(jìn)行調(diào)溫，其特征在于，該調(diào)溫裝置形成有調(diào)溫風(fēng)循環(huán)容器，其具有能夠覆蓋任何大小的玻璃基板面的尺寸，在該容器的下部橫跨架設(shè)有數(shù)個扁方筒體形且其下表面的中間設(shè)置有供調(diào)溫風(fēng)返回進(jìn)入的回收口的扁方筒體，通過從各扁方筒體之間的狹小間隙向移動至該容器下方極近位置的玻璃基板面噴吹該容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)的噴吹調(diào)溫以及上述調(diào)溫風(fēng)與玻璃基板面進(jìn)行表面接觸直至蔓延并流入該回收口的表面接觸調(diào)溫，而對玻璃基板面進(jìn)行快速調(diào)溫，并且從該回收口回收調(diào)溫后的帶熱風(fēng)，防止其混入到容器內(nèi)的調(diào)溫風(fēng)中，由此以23℃±0.05℃以內(nèi)的高精度進(jìn)行調(diào)溫。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：上村佳一，
申請(專利權(quán))人：株式會社上村工業(yè)，
類型：發(fā)明
國別省市：
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