本發明專利技術提供一種保存穩定性、UV硬化性優異，且可形成具有耐熱性的成形物的感光性樹脂組成物、成形物的制造方法、成形物及半導體裝置。一種成形物的制造方法，其包含如下步驟：于第1板(1)及第2板(4)的任一方上涂布感光性組成物的步驟，對第1板(1)與第2板(4)進行按壓的步驟，于按壓所述板的狀態下進行曝光的步驟，使第1板(1)與第2板(4)分離的步驟，對感光性組成物涂膜(3)進行加熱的步驟，所述感光性組成物包含(a)特定的硫醚化合物，(b)光聚合引發劑、及(c)于1分子內具有1個～6個(甲基)丙烯酰基的化合物。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種感光性組成物、使用該感光性組成物的成形物的制造方法、由該成形物的制造方法而所得的成形物、及包含該成形物的半導體裝置。
技術介紹
于感光性組成物中添加抗氧化劑可有效地對由感光性組成物所得的成形物賦予耐熱性。然而，具有受阻酚結構的抗氧化劑的自由基捕獲能力高，因此存在感光性組成物·的UV硬化性降低的問題。為了提高UV硬化性，已知有添加硬化性高的自由基引發劑的方法，但硬化性高的自由基引發劑具有直至可見光區域的吸收，因此存在保存穩定性低的問題。而且，所硬化的成形物存在由于加熱而黃變等問題，因此并不適于透明膜或相機透鏡模塊等透明材料用途。另一方面，于使用含有硫的抗氧化劑的情況時，雖然阻礙UV硬化的作用小，但存在相對于(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性的問題。因此，為了提高相對于(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性，例如提出了于末端具有硫代(甲基)丙烯酸酯末端的聚合物(專利文獻I)。而且，提出了含有該聚合物、(甲基)丙烯酸酯化合物、及自由基聚合引發劑的硬化性樹脂組成物(專利文獻I)。現有技術文獻專利文獻專利文獻I日本專利特開2010-209279號公報
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種保存穩定性及UV硬化性優異、且可形成具有耐熱性的成形物的感光性組成物，使用該感光性組成物的成形物的制造方法，由該成形物的制造方法而所得的成形物，以及包含該成形物的半導體裝置。本專利技術者為了解決上述課題而進行了銳意研究，結果發現利用感光性組成物(所述感光性組成物包含特定的硫醚化合物、特定的光聚合引發劑、及特定的具有(甲基)丙烯酰基的化合物)、使用該感光性組成物的成形物的制造方法，可達成本專利技術的目的，從而完成本專利技術。亦即，本專利技術提供以下的 。 一種成形物的制造方法，其包含如下步驟于第I板及第2板的至少任一方上涂布感光性組成物，形成感光性組成物涂膜的步驟；介隔所述感光性組成物涂膜而對所述第I板與所述第2板進行按壓的步驟；于介隔所述感光性組成物涂膜而按壓所述第I板與所述第2板的狀態下，對所述感光性組成物涂膜進行曝光的步驟；將所述第I板與所述第2板分離的步驟；對曝光后的所述感光性組成物涂膜進行加熱的步驟；所述第I板及所述第2板的至少任一方于其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案，于對所述第I板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物涂膜追隨所述圖案，其特征在于所述感光性組成物包含(a)下述通式(I)所表示的硫醚化合物、權利要求1.一種成形物的制造方法，其包含如下步驟 于第I板及第2板的至少任一方上涂布感光性組成物，形成感光性組成物涂膜的步驟； 介隔所述感光性組成物涂膜而對所述第I板與所述第2板進行按壓的步驟； 于介隔所述感光性組成物涂膜而按壓所述第I板與所述第2板的狀態下，對所述感光性組成物涂膜進行曝光的步驟； 將所述第I板與所述第2板分離的步驟；以及 對曝光后的所述感光性組成物涂膜進行加熱的步驟； 所述第I板及所述第2板的至少任一方于其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案，于對所述第I板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物涂膜追隨所述圖案， 其特征在于所述感光性組成物包含(a)下述通式(I)所表示的硫醚化合物、 2.根據權利要求I所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述(a)成分是所述通式(I)的R1及R2分別獨立地表示氫原子亦可被烷氧基或芳氧基取代的碳數為12 18的烴基的硫醚化合物。3.根據權利要求2所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述(a)成分是硫代二丙酸二(十三烷基)酯。4.根據權利要求I至3中任一項所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述(b)成分是具有下述通式(2)所表示的基的羥基酮化合物； 5.根據權利要求I至3中任一項所述的成形物的制造方法，其特征在于 于將(a)成分與(b)成分與(C)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(C)成分包含10質量份 99. 89質量份的含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物。6.根據權利要求I至3中任一項所述的成形物的制造方法，其特征在于 于將(a)成分與(b)成分與(C)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(C)成分包含10質量份 70質量份的(c- )下述通式(3)所表示的芴化合物； 7.根據權利要求I至3中任一項所述的成形物的制造方法，其特征在于 于將(a)成分與(b)成分與(C)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(C)成分包含10質量份 50質量份的(c-2)下述通式(4)所表示的聯苯化合物； 8.根據權利要求I至3中任一項所述的成形物的制造方法，其特征在于 包含所述(a)成分O. 01質量份 20質量份、所述(b)成分O. I質量份 20質量份、及所述(c)成分60質量份 99. 89質量份，其中(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量為100質量份。9.根據權利要求I至3中任一項所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述成形物為透鏡。10.一種成形物，其特征在于 利用根據權利要求I至9中任一項所述的成形物的制造方法而獲得。11.一種成形物，其特征在于 含有下述通式(I)所表示的硫醚化合物， 12.—種半導體裝置，其特征在于 包含根據權利要求10或11所述的成形物。13.—種感光性組成物，其特征在于包含 (a)下述通式(I)所表示的硫醚化合物、 全文摘要本專利技術提供一種保存穩定性、UV硬化性優異，且可形成具有耐熱性的成形物的感光性樹脂組成物、成形物的制造方法、成形物及半導體裝置。一種成形物的制造方法，其包含如下步驟于第1板(1)及第2板(4)的任一方上涂布感光性組成物的步驟，對第1板(1)與第2板(4)進行按壓的步驟，于按壓所述板的狀態下進行曝光的步驟，使第1板(1)與第2板(4)分離的步驟，對感光性組成物涂膜(3)進行加熱的步驟，所述感光性組成物包含(a)特定的硫醚化合物，(b)光聚合引發劑、及(c)于1分子內具有1個～6個(甲基)丙烯酰基的化合物。文檔編號G03F7/004GK102955360SQ201210246030公開日2013年3月6日 申請日期2012年7月16日 優先權日2011年8月23日專利技術者末光由樹, 川島直之, 菅原周一 申請人:Jsr株式會社本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種成形物的制造方法，其包含如下步驟：于第1板及第2板的至少任一方上涂布感光性組成物，形成感光性組成物涂膜的步驟；介隔所述感光性組成物涂膜而對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟；于介隔所述感光性組成物涂膜而按壓所述第1板與所述第2板的狀態下，對所述感光性組成物涂膜進行曝光的步驟；將所述第1板與所述第2板分離的步驟；以及對曝光后的所述感光性組成物涂膜進行加熱的步驟；所述第1板及所述第2板的至少任一方于其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案，于對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物涂膜追隨所述圖案，其特征在于：所述感光性組成物包含(a)下述通式(1)所表示的硫醚化合物、[化1]于上述通式(1)中，R1及R2分別獨立為碳數為1～20的有機基、(b)光聚合引發劑，其中氧化膦化合物及α?胺烷基苯酮化合物除外、及(c)于1分子內具有1個～6個(甲基)丙烯酰基的化合物。FDA00001892479400011.jpg
【技術特征摘要】
...
【專利技術屬性】
技術研發人員：末光由樹，川島直之，菅原周一，
申請(專利權)人：JSR株式會社，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。