一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構及其制備方法技術

本發明專利技術公開了一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構及其制造方法，該方法包括：（1）在單晶硅片表面勻膠、光刻得到光刻膠掩膜；（2）基于光刻膠掩膜，使用感應耦合等離子體反應刻蝕技術ICP在單晶硅片上刻蝕出微米級別的凹槽及槽內均勻分布的硅微米柱陣列；（3）在微米柱表面制備納米線陣列；（4）對凹槽進行封裝。按照本發明專利技術，可以獲得一種用于循環腫瘤細胞檢測的微納復合微流道結構，這種檢測結構具有靈敏度高、效率高等特點。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構，包括單晶硅片層和封蓋，單晶硅片層上開有微米級別的凹槽作為流道，其特征在于，所述流道內均勻分布有硅微米柱陣列，各硅微米柱上分布有納米線陣列。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：廖廣蘭，史鐵林，盛文軍，孫博，張康，湯自榮，夏奇，高陽，譚先華，
申請(專利權)人：華中科技大學，
類型：發明
國別省市：