微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器技術(shù)方案

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，包括底座、微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片和雙纖準(zhǔn)直器，以及呈管狀封裝管，所述封裝管分為芯片部和雙纖準(zhǔn)直器部，芯片部與雙纖準(zhǔn)直器部由一個(gè)間隔部隔開，間隔部上設(shè)置有一個(gè)通孔，底座與封裝管的芯片部一端密封連接，使得所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片被容納在所述芯片部中，雙纖準(zhǔn)直器由雙纖準(zhǔn)直器部的一端插入所述封裝管，使得所述雙纖準(zhǔn)直器前段被容納在所述雙纖準(zhǔn)直器部中，封裝管內(nèi)部與外界密封隔離。本實(shí)用新型專利技術(shù)通過采用上述技術(shù)方案，使得微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器性能更好、成本更低、工藝更簡(jiǎn)便。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種可調(diào)式光衰減器，尤其是一種反射式微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器。
技術(shù)介紹
(MEMS)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器(VOA)可以按照使用者的需要通過外加電壓來調(diào)節(jié)光強(qiáng)度的衰減，微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器(MEMS V0A)能廣泛應(yīng)用于控制和調(diào)節(jié)光通訊系統(tǒng)中光強(qiáng)度的場(chǎng)合中。基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的可調(diào)式光衰減器是可調(diào)式光衰減器的主要解決方案之一，具有體積小、功耗低的優(yōu)勢(shì)。反射式微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器通過靜電或者電磁力驅(qū)動(dòng)一個(gè)扭轉(zhuǎn)微機(jī)電系統(tǒng)反射鏡芯片，使入射光束偏轉(zhuǎn)以減少耦合進(jìn)輸出光纖的光功率來實(shí)現(xiàn)衰減。微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器通常以一個(gè)雙光纖準(zhǔn)直器與微機(jī)電系統(tǒng)芯片進(jìn)行耦合，實(shí)現(xiàn)緊湊的封裝結(jié)構(gòu)。微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片必須要在適當(dāng)?shù)膬艋h(huán)境中進(jìn)行密封，以保證微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片的反射鏡不被灰塵顆粒與水汽污染，微電機(jī)械轉(zhuǎn)軸不被灰塵顆粒與水汽腐蝕卡住而影響轉(zhuǎn)動(dòng)。在現(xiàn)有產(chǎn)品中有以下方式實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器的氣密封裝。如圖I所示為一種現(xiàn)有微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，先把微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2固定在底座I的凸臺(tái)12上，將芯片2上的正負(fù)接線端與底座I上相應(yīng)的管腳連接。管帽組件5包括標(biāo)準(zhǔn)金屬管帽51和鍍膜玻璃52，用膠53固定；將管帽組件5的圓環(huán)面54與底座I的圓環(huán)面11采用金屬熔焊的方法焊接，這樣組成了一個(gè)密閉的組件來保護(hù)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2。雙光纖準(zhǔn)直器4的一根光纖通入光后，光線經(jīng)雙纖準(zhǔn)直器4準(zhǔn)直后，經(jīng)過管帽組件5上的鍍膜玻璃52到達(dá)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2上的鍍金反射鏡21，而反射回的光再經(jīng)過管帽組件5上的鍍膜玻璃52到達(dá)雙纖準(zhǔn)直器4的另一根光纖。管帽組件5和底座I做成的密閉組件，與雙光纖準(zhǔn)直器4再固定在外部的另一個(gè)封裝管內(nèi)(圖中未示出)。這種實(shí)施方案，在光的通路中間有玻璃片的影響，微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器的插損、偏振相關(guān)損耗等性能會(huì)變差。如圖2所示為另一種現(xiàn)有的微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器。這種微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光裳減器，先把微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光裳減器芯片2固定在底座I的凸臺(tái)12上，將芯片2上的正負(fù)接線端與底座I上相應(yīng)的管腳連接。管帽組件6包括金屬管帽61和C-Lens 62，用膠63固定；再把管帽6圓環(huán)面64與底座I的圓環(huán)面11采用金屬熔焊的方法焊接，這樣組成了一個(gè)密閉的組件來保護(hù)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2。雙光尾纖(Pigtail)組件7包括具有平行排列且相距很小間距的雙光纖毛細(xì)管與一對(duì)光纖組成的雙纖尾纖71，玻璃管72，以及外封金屬套管73，調(diào)節(jié)雙纖Pigtail組件7與C-Lens 62斜面間的距離，并使兩者的斜面平行。這樣雙纖Pigtail組件7的一根光纖通入光后經(jīng)C-Lens 62準(zhǔn)直后出來的光到達(dá)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2上的鍍金反射鏡21，反射回的光經(jīng)過C-Lens62到達(dá)雙纖Pigtail組件7的另一根光纖。管帽組件6和底座I做成的密閉組件，與雙纖Pigtail組件7再固定在外部的另一個(gè)封裝管內(nèi)(圖中未示出)。這種技術(shù)方案中，C-Lens62安裝固定在金屬管帽61時(shí)，因金屬管帽61與C-Lens 62外徑的公差,會(huì)產(chǎn)生一定的偏轉(zhuǎn)，而使得雙纖Pigtail組件7與C-Lens 62調(diào)整耦合時(shí)很困難，生產(chǎn)效率較低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是提供一種微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，使得該微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器性能更好、成本更低、工藝更簡(jiǎn)便。為解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器的技術(shù)方案是，包括底座、微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片和雙纖準(zhǔn)直器，所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片設(shè)置在所述底座上，還包括呈管狀封裝管，所述封裝管分為芯片部和雙纖準(zhǔn)直器部兩部分，所述芯片部與所述雙纖準(zhǔn)直器部由一個(gè)間隔部隔開，所述間隔部上設(shè)置有一個(gè)通孔，所述底座與封裝管的芯片部一端密封連接，使得所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片被容 納在所述芯片部中，所述雙纖準(zhǔn)直器由所述雙纖準(zhǔn)直器部的一端插入所述封裝管，使得所 述雙纖準(zhǔn)直器前段被容納在所述雙纖準(zhǔn)直器部中，所述雙纖準(zhǔn)直器通過所述間隔部的通孔對(duì)準(zhǔn)所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片，所述封裝管的雙纖準(zhǔn)直器部一端與所述雙纖準(zhǔn)直器的外部密封連接，所述封裝管內(nèi)部與外界密封隔離。本技術(shù)中雙纖準(zhǔn)直器與固定了微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片的底座通過封裝管連接為一體，內(nèi)部的密封空間保證了微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片的性能。本技術(shù)光路中間沒有其他光學(xué)元件，如玻璃，整個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器的性能更好更穩(wěn)定；并且由于省去了現(xiàn)有技術(shù)中的密閉微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片組件，既節(jié)省了成本，又簡(jiǎn)化了工藝，能大大提高產(chǎn)能與器件的品質(zhì)。以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)的說明圖I和圖2為現(xiàn)有的微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3和圖4為本專利技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中附圖標(biāo)記為，I.底座；11.圓環(huán)面；12.凸臺(tái)；2.微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片；21.鍍金反射鏡；3.封裝管；31.圓環(huán)面；32.芯片部；33.雙纖準(zhǔn)直器部；34.間隔部；35.倒角；36.焊接孔；37.球面狀的內(nèi)緣；4.雙纖準(zhǔn)直器；41.雙纖Pigtail ；42.柱狀C-Lens或G-Lens ；43.玻璃管；44.外封套管；45.球面狀的外緣；5.管帽組件；51.標(biāo)準(zhǔn)金屬管帽；52.鍍膜玻璃；53.膠；54.圓環(huán)面；6.管帽組件；61.金屬管帽；62. C-Lens ；63.膠；64.圓環(huán)面；7.雙光Pigtail組件；71.雙纖尾纖；72.玻璃管；73.外封金屬套管。具體實(shí)施方式本專利技術(shù)公開了一種微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，如圖3所示，包括底座I、微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2和雙纖準(zhǔn)直器4，所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2設(shè)置在所述底座I的凸臺(tái)12上，還包括呈管狀封裝管3，所述封裝管3分為芯片部32和雙纖準(zhǔn)直器部33兩部分，所述芯片部32與所述雙纖準(zhǔn)直器部33由一個(gè)間隔部34隔開，所述間隔部34上設(shè)置有一個(gè)通孔，所述底座I與封裝管的芯片部32 —端密封連接，使得所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2被容納在所述芯片部32中，所述雙纖準(zhǔn)直器4由所述雙纖準(zhǔn)直器部33的一端插入所述封裝管3，使得所述雙纖準(zhǔn)直器4前段被容納在所述雙纖準(zhǔn)直器部33中，所述雙纖準(zhǔn)直器4通過所述間隔部34的通孔對(duì)準(zhǔn)所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片2，所述封裝管的雙纖準(zhǔn)直器部33 —端與所述雙纖準(zhǔn)直器4的外部密封連接，所述封裝管4內(nèi)部與外界密封隔離。本技術(shù)所采用的雙纖準(zhǔn)直器與圖I所示的現(xiàn)有技術(shù)中的雙纖準(zhǔn)直器類似，所述雙纖準(zhǔn)直器4包含具有平行排列且相距125um的雙纖毛細(xì)管與一對(duì)光纖組成的雙纖Pigtai 141、柱狀C-Lens或G-Lens 42、玻璃管43和鍍金的外封套管44。制作耦合時(shí)，雙纖準(zhǔn)直器4前端放置一塊反射鏡，光從雙纖Pigtail41 —根光纖進(jìn)入柱狀C-Lens或G-Lens42后，經(jīng)過C-Lens或G-Lens準(zhǔn)直作用后到達(dá)反射鏡，反射回去的光進(jìn)入雙纖準(zhǔn)直器4的另一根光纖，這時(shí)要求插損達(dá)到最小。可以用環(huán)氧樹脂膠固定雙纖準(zhǔn)直器4中的零件。所述封裝管采用不銹鋼材料。所述封裝管表面有一層鍍金層。·如圖3所示，所述底座I外圈本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，包括底座、微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片和雙纖準(zhǔn)直器，所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片設(shè)置在所述底座上，其特征在于，還包括呈管狀封裝管，所述封裝管分為芯片部和雙纖準(zhǔn)直器部兩部分，所述芯片部與所述雙纖準(zhǔn)直器部由一個(gè)間隔部隔開，所述間隔部上設(shè)置有一個(gè)通孔，所述底座與封裝管的芯片部一端密封連接，使得所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片被容納在所述芯片部中，所述雙纖準(zhǔn)直器由所述雙纖準(zhǔn)直器部的一端插入所述封裝管，使得所述雙纖準(zhǔn)直器前段被容納在所述雙纖準(zhǔn)直器部中，所述雙纖準(zhǔn)直器通過所述間隔部的通孔對(duì)準(zhǔn)所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片，所述封裝管的雙纖準(zhǔn)直器部一端與所述雙纖準(zhǔn)直器的外部密封連接，所述封裝管內(nèi)部與外界密封隔離。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，包括底座、微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片和雙纖準(zhǔn)直器，所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片設(shè)置在所述底座上，其特征在于，還包括呈管狀封裝管，所述封裝管分為芯片部和雙纖準(zhǔn)直器部兩部分，所述芯片部與所述雙纖準(zhǔn)直器部由一個(gè)間隔部隔開，所述間隔部上設(shè)置有一個(gè)通孔，所述底座與封裝管的芯片部一端密封連接，使得所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片被容納在所述芯片部中，所述雙纖準(zhǔn)直器由所述雙纖準(zhǔn)直器部的一端插入所述封裝管，使得所述雙纖準(zhǔn)直器前段被容納在所述雙纖準(zhǔn)直器部中，所述雙纖準(zhǔn)直器通過所述間隔部的通孔對(duì)準(zhǔn)所述微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器芯片，所述封裝管的雙纖準(zhǔn)直器部一端與所述雙纖準(zhǔn)直器的外部密封連接，所述封裝管內(nèi)部與外界密封隔離。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器，其特征在于...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鐘祖平，張前進(jìn)，王海燕，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海中科股份有限公司，上海中科光纖通訊器件有限公司，上海中科創(chuàng)欣通訊設(shè)備有限公司，
類型：實(shí)用新型
國別省市：