【技術實現步驟摘要】
本技術涉及屬于拉制單晶硅棒用石英坩堝的制造領域，特別是一種專門設計的石英坩堝內表面噴涂裝置，可自動完成14” 28”的單晶石英坩堝內表面噴涂。
技術介紹
石英玻璃坩堝是拉制太陽能、半導體單晶硅棒的重要輔件。在石英坩堝的制作過程中，一般采用電弧高溫熔融法生產。即在旋轉的石墨模具腔體內倒入高純石英砂，采用刮砂成型治具成型，使石英砂均布在石墨模具腔體內形成石英坩堝坯體；然后將石墨電極伸入腔體內，通上大電流使石墨電極短路燃燒釋放出高溫電弧對坯體進行熔融，一定熔融時間后坯體形成石英坩堝。該石英坩堝在后續生產中還需對內外表面清洗干凈，且烘干 后的坩堝進行內表面噴涂某種溶液，目前采用人工進行噴涂噴涂前需把坩堝整體加熱到300°C左右，坩堝口子朝上放置，操作人員戴上防高溫手套，手拿噴槍進行內表面的噴涂作業，噴涂持續一分鐘。該種噴涂方式務必會有人為的主觀控制，每個人手拿噴槍手勢、噴槍嘴離坩堝內表面距離和角度、準確的噴涂時間、噴涂的均勻性等無法一致，造成坩堝噴涂質量得不到保證，同時作業人員長期的近距離高溫作業對作業人員也是不好的。
技術實現思路
為了克服現有手動噴涂坩堝內表面的不足，本技術提供了一種石英坩堝內表面噴涂裝置。本技術采用的技術方案是石英坩堝內表面噴涂裝置，其特征在于包括驅動裝置、回轉平臺、支撐平臺和噴槍機構，所述支撐平臺設在所述回轉平臺上且可隨所述回轉平臺旋轉，所述噴槍機構包括噴嘴和連接桿，所述連接桿一端設在一可往復上下運動的導軌支架上，另一端螺紋連接所述噴嘴，所述導軌支架和所述回轉平臺分別與所述驅動裝置相連。進一步，所述支撐平臺上安裝有支撐擋圈，所述支撐擋圈與待噴...
【技術保護點】
石英坩堝內表面噴涂裝置，其特征在于：包括驅動裝置、回轉平臺、支撐平臺和噴槍，所述支撐平臺設在所述回轉平臺上且可隨所述回轉平臺旋轉，所述噴槍機構包括噴嘴和連接桿，所述連接桿一端設在一可往復上下運動的導軌支架上，另一端螺紋連接所述噴嘴，所述導軌支架和所述回轉平臺分別與所述驅動裝置相連。
【技術特征摘要】
1.石英坩堝內表面噴涂裝置，其特征在于包括驅動裝置、回轉平臺、支撐平臺和噴槍，所述支撐平臺設在所述回轉平臺上且可隨所述回轉平臺旋轉，所述噴槍機構包括噴嘴和連接桿，所述連接桿一端設在一可往復上下運動的導軌支架上，另一端螺紋連接所述噴嘴，所述導軌支架和所述回轉平臺分別與所述驅動裝置相連。2.如權利...
【專利技術屬性】
技術研發人員：涂永文，周勇，吳洪聯，吳偉華，
申請(專利權)人：杭州先進石英材料有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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