一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置，設置在多晶硅鑄錠爐內部的下半部分，包括：熱場件、熱交換臺底部保溫層、悶蓋、測溫裝置；測溫裝置包括：外套桿、內套桿、熱電偶、鎖緊套桿、信號輸出端子；作業過程中，通過熱場件的加熱，使得熱電偶將信號通過信號輸出端子傳遞給PLC，PLC通過控制程序顯示出溫度值，可以測量到熱場內部溫度；便于作業人員及時調節工藝參數，保證硅錠能正常生長。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及多晶硅錠的制造裝置，特別涉及一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置。
技術介紹
多晶硅鑄錠爐是多晶硅料轉化為多晶硅錠工藝過程中的必備設備，而多晶硅錠經工藝處理后又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。多晶硅錠作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。在多晶硅鑄錠爐鑄錠過程中，需要實時的測量熱場的溫度，便于作業人員及時調節工藝參數，保證硅錠能正常生長。現有的多晶硅鑄錠爐，都不采用熱電偶測溫，容易造成測溫不準確，生產成本高等現象。
技術實現思路
鑒于此，有必要設計一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置。一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置，設置在多晶硅鑄錠爐內部的下半部分，包括熱場件、熱交換臺底部保溫層、悶蓋、測溫裝置；其中，熱場件、熱交換臺底部保溫層通過支撐桿固定在下腔體上，悶蓋設置在多晶硅鑄錠爐下腔體的中心處，在悶蓋上開有通孔，在多晶硅鑄錠爐內部并且垂直正對該孔的熱場件、熱交換臺底部保溫層也開有通孔，測溫裝置穿過并固定在上述三處通孔位置，測溫裝置的頂部接觸石墨坩堝底板。優選的，測溫裝置包括外套桿、內套桿、熱電偶、鎖緊套桿、信號輸出端子、PLC控制電路；其中，熱電偶外面套有氧化鋯制成的內套桿，在內套桿的末端通過鎖緊套桿將內套桿與熱電偶的結合體固定在悶蓋上，在熱場件之上的內套桿部分外套有外套桿，信號輸出端子位于熱電偶底端連接著熱電偶與PLC控制電路。優選的，多晶硅鑄錠爐測溫裝置還包括抽真空裝置，該抽真空裝置包括三通、波紋管、真空計、氣動閥、四通、球閥；其中，三通上端口通過鎖緊套桿與內套桿底端密封固定，三通下端口與密封蓋密封，三通側端口與波紋管連通，波紋管的另一端連通四通，四通的另外三個端口連接真空計、氣動閥、和球閥。氣動閥另一端與真空泵連接，球閥另一端與氬氣瓶連接。作業過程中，通過熱場件的加熱，使得熱電偶將信號通過信號輸出端子傳遞給PLC控制電路，PLC控制電路控制顯示面板顯示出溫度值，可以測量到熱場內部溫度；真空泵通過氣動閥控制，可保證熱電偶內的真空度；氬氣通過球閥控制，保證作業時所需氬氣的流量。本專利技術通過在多晶硅鑄錠爐下腔體的中心處設置帶有熱電偶的測溫裝置，可以實時的獲得熱場的溫度，便于作業人員及時調節工藝參數，保證硅錠能正常生長。附圖說明附圖I是一較佳實施方式的多晶硅鑄錠爐測溫裝置的剖視圖。附圖2是一較佳實施方式的多晶硅鑄錠爐測溫裝置的立體圖。圖中熱場件I、熱交換臺底部保溫層2、支撐桿3、下腔體4、悶蓋5、外套桿6、內套桿7、鎖緊套桿8、熱電偶9、信號輸出端子10、三通11、波紋管12、四通13、氣動閥14、真空計15、球閥16。具體實施例方式如圖I、圖2所示，一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置，設置在多晶硅鑄錠爐內部的下半部分，包括熱場件I、熱交換臺底部保溫層2、悶蓋5、測溫裝置；其中，熱場件I、熱交換臺底部保溫層2通過支撐桿3固定在下腔體4上，悶蓋5設置在多晶硅鑄錠爐下腔體4的中心處，在悶蓋5上開有通孔，在多晶硅鑄錠爐內部并且垂直正對該孔的熱場件I、熱交換臺底部保溫層2也開有通孔，測溫裝置穿過并固定在上述三處通孔位置，測溫裝置的頂部接觸石墨坩堝底板。在本實施方式中，測溫裝置包括外套桿6、內套桿7、熱電偶9、鎖緊套桿8、信號輸出端子10、PLC控制電路；其中，熱電偶9外面套有氧化鋯制成的內套桿7，在內套桿7的末端通過鎖緊套桿8將內套桿7與熱電偶9的結合體固定在悶蓋5上，在熱場件I之上的內套桿7部分外套有外套桿6，信號輸出端子10位于熱電偶9底端連接著熱電偶9與PLC控制電路。在本實施方式中，多晶硅鑄錠爐測溫裝置還包括抽真空裝置，該抽真空裝置包括三通11、波紋管12、真空計15、氣動閥14、四通13、球閥16 ;其中，三通11上端口通過鎖緊套桿8與內套桿7底端密封固定，三通11下端口與密封蓋密封，三通11側端口與波紋管12連通，波紋管12的另一端連通四通13，四通13的另外三個端口連接真空計15、氣動閥14、和球閥16。氣動閥14另一端與真空泵連接，球閥16另一端與氬氣瓶連接。作業過程中，通過熱場件I的加熱，使得熱電偶9將信號通過信號輸出端子10傳遞給PLC控制電路，PLC控制電路控制顯示面板顯示出溫度值，可以測量到熱場內部溫度；真空泵通過氣動閥14控制，可保證熱電偶9內的真空度；氬氣通過球閥16控制，保證作業時所需IS氣的流量。權利要求1.一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置，其特征在于，包括熱場件、熱交換臺底部保溫層、悶蓋、測溫裝置；其中，悶蓋設置在多晶硅鑄錠爐下腔體的中心處，在悶蓋上開有通孔，在多晶硅鑄錠爐內部并且垂直正對該孔的熱場件、熱交換臺底部保溫層也開有通孔，測溫裝置穿過并固定在上述三處通孔位置，測溫裝置的頂部接觸石墨坩堝底板。2.如權利要求I所述的多晶硅鑄錠爐測溫裝置，其特征在于測溫裝置包括外套桿、內套桿、熱電偶、鎖緊套桿、信號輸出端子、PLC控制電路；其中，熱電偶外面套有氧化鋯制成的內套桿，在內套桿的末端通過鎖緊套桿將內套桿與熱電偶的結合體固定在悶蓋上，在熱場件之上的內套桿部分外套有外套桿，信號輸出端子位于熱電偶底端連接著熱電偶與PLC控制電路。3.如權利要求2所述的多晶硅鑄錠爐測溫裝置，其特征在于多晶硅鑄錠爐測溫裝置還包括抽真空裝置，該抽真空裝置包括三通、波紋管、真空計、氣動閥、四通、球閥；其中，三通上端口通過鎖緊套桿與內套桿底端密封固定，三通下端口與密封蓋密封，三通側端口與波紋管連通，波紋管的另一端連通四通，四通的另外三個端口連接真空計、氣動閥、和球閥。全文摘要一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置，設置在多晶硅鑄錠爐內部的下半部分，包括熱場件、熱交換臺底部保溫層、悶蓋、測溫裝置；測溫裝置包括外套桿、內套桿、熱電偶、鎖緊套桿、信號輸出端子；作業過程中，通過熱場件的加熱，使得熱電偶將信號通過信號輸出端子傳遞給PLC，PLC通過控制程序顯示出溫度值，可以測量到熱場內部溫度；便于作業人員及時調節工藝參數，保證硅錠能正常生長。文檔編號C30B29/06GK102912415SQ20121040613公開日2013年2月6日 申請日期2012年10月23日 優先權日2012年10月23日專利技術者吳學軍, 周凱平 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種多晶硅鑄錠爐測溫裝置，其特征在于，包括：熱場件、熱交換臺底部保溫層、悶蓋、測溫裝置；其中，悶蓋設置在多晶硅鑄錠爐下腔體的中心處，在悶蓋上開有通孔，在多晶硅鑄錠爐內部并且垂直正對該孔的熱場件、熱交換臺底部保溫層也開有通孔，測溫裝置穿過并固定在上述三處通孔位置，測溫裝置的頂部接觸石墨坩堝底板。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳學軍，周凱平，
申請(專利權)人：寧夏日晶新能源裝備股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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