本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及一種薄膜涂覆裝置,特別涉及一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置。主要解決現(xiàn)有浸泡法前驅(qū)液易受環(huán)境影響、流延法對(duì)設(shè)備要求高的技術(shù)問題。技術(shù)方案為:一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,包括放帶輪、涂覆輪、流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐和收卷輪,所述放帶輪和收卷輪分別設(shè)置在兩個(gè)密閉空間內(nèi),基帶經(jīng)放帶輪、涂覆輪以及對(duì)應(yīng)的流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐、導(dǎo)向輪,最后由收卷輪卷收。本實(shí)用新型專利技術(shù)主要用于對(duì)基材表面進(jìn)行超導(dǎo)薄膜涂覆。(*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期,可自由使用*)
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種薄膜涂覆裝置,特別涉及一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置。
技術(shù)介紹
第二帶高溫超導(dǎo)帶材(2G-HTS)是在雙軸織構(gòu)的金屬基體上外延生長Y(RE) 123(RE=Nd, Sm等稀土元素)超導(dǎo)薄膜,是當(dāng)今國際上超導(dǎo)材料研究的熱點(diǎn)問題。實(shí)現(xiàn)多層膜結(jié)構(gòu)的外延生長是2G-HTS的成材中的關(guān)鍵技術(shù)難題,目前短樣涂層普遍采用的有旋涂法(spin-coating),而長樣動(dòng)態(tài)涂層主要采用浸泡法(dip-coating),流延法(slot-die coating)等涂覆方法。對(duì)于浸泡法,環(huán)境對(duì)前驅(qū)液的影響較大,不利于長時(shí)間連續(xù)化生產(chǎn);而流延法對(duì)溶液保護(hù)較好,但連續(xù)均勻的流延膜依賴于系統(tǒng)穩(wěn)定的機(jī)械性能,對(duì)裝置的電機(jī)性能,機(jī)械加工精度等都要求較高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提高一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,主要解決現(xiàn)有浸泡法前驅(qū)液易受環(huán)境影響、流延法對(duì)設(shè)備要求高的技術(shù)問題。我們結(jié)合浸泡法和流延法的各自優(yōu)點(diǎn),設(shè)計(jì)了一種新型浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置。本技術(shù)的技術(shù)方案為一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,包括放帶輪、涂覆輪、流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐和收卷輪,所述放帶輪和收卷輪分別設(shè)置在兩個(gè)密閉空間內(nèi),基帶經(jīng)放帶輪、涂覆輪以及對(duì)應(yīng)的流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐、導(dǎo)向輪,最后由收卷輪卷收。放帶輪配有具有阻尼軸承,使放帶輪上的帶材始終處于拉緊狀態(tài),也防止長帶在涂層槽和其后的熱處理爐區(qū)松弛下垂。所述流延頭由注射泵和儲(chǔ)液槽組成,儲(chǔ)液槽開有狹縫,前驅(qū)液由注射泵注入并控制出口儲(chǔ)液槽液面高度恒定。放帶輪、收卷輪均連接可逆電機(jī),實(shí)現(xiàn)帶材的反向回收功能。本技術(shù)的有益效果涂覆裝置能對(duì)涂層面所需溶液進(jìn)行定量控制,涂層面暴露外界面積小、時(shí)間短;對(duì)定向輪的剛性和同軸性要求有所降低,便于加工。走帶速度可O.01-10m/min范圍可調(diào)節(jié)。薄膜前驅(qū)液采用注射泵密封儲(chǔ)存并能定量精確推出,有利于動(dòng)態(tài)生產(chǎn)中保持前驅(qū)液的穩(wěn)定性;涂覆采用上端開有圓弧儲(chǔ)液槽的狹縫擠出裝置,增加了薄膜均勻涂覆的窗口。放帶輪的阻尼和收圈輪的無極調(diào)速設(shè)計(jì),可使帶材始終處于可調(diào)控的柔性拉緊狀態(tài),防止在走帶過程中的松弛下垂現(xiàn)象出現(xiàn);選用可逆向運(yùn)轉(zhuǎn)的放帶輪、收卷輪的可逆電機(jī),可實(shí)現(xiàn)帶材的反向回收功能。附圖說明圖I為本技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本技術(shù)涂覆機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1_放帶輪,2-涂覆輪,3-注射泵,4-儲(chǔ)液槽,5-張力控制傳感器,6-導(dǎo)向輪,7-熱處理爐,8-收卷輪,9-基帶,10-狹縫。具體實(shí)施方式參照?qǐng)DI,一種化學(xué)溶劑薄膜動(dòng)態(tài)涂覆系統(tǒng),包括放帶輪I、涂覆輪2、流延頭、張力控制傳感器5、導(dǎo)向輪6、熱處理爐7和收卷輪8,所述放帶輪I和收卷輪8分別設(shè)置在兩個(gè)密閉空間內(nèi),基帶9經(jīng)放帶輪I、涂覆輪2以及對(duì)應(yīng)的流延頭、張力控制傳感器5、導(dǎo)向輪6、熱處理爐7、導(dǎo)向輪6,最后由收卷輪8卷收。放帶輪I配有具有阻尼軸承,使放帶輪上的基帶材始終處于拉緊狀態(tài),也防止長帶在涂層槽和其后的熱處理爐區(qū)松弛下垂。流延頭內(nèi)含儲(chǔ)液槽4,儲(chǔ)液槽4包括內(nèi)儲(chǔ)液槽和出口儲(chǔ)液槽,兩者通過狹縫10連接,保證溶液均勻從內(nèi)儲(chǔ)液槽流入出口儲(chǔ)液槽,而出口儲(chǔ)液槽呈圓弧形設(shè)計(jì)。這些設(shè)計(jì)有益于液面高度和有效接觸液面的穩(wěn)定控制。前驅(qū)液由注射泵3注入并控制出口儲(chǔ)液槽液面高度恒定。放帶輪I、收卷輪8均連接可逆電機(jī),實(shí)現(xiàn)薄帶材的反向回收功能。權(quán)利要求1.一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,其特征是包括放帶輪、涂覆輪、流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐和收卷輪,所述放帶輪和收卷輪分別設(shè)置在兩個(gè)密閉空間內(nèi),基帶經(jīng)放帶輪、涂覆輪以及對(duì)應(yīng)的流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐、導(dǎo)向輪,最后由收卷輪卷收。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,其特征是所述流延頭帶有注射泵。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,其特征是所述流延頭,其包含內(nèi)儲(chǔ)液槽和出口儲(chǔ)液槽,兩者通過狹縫連接,出口儲(chǔ)液槽呈圓弧形。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,其特征是所述的放帶輪配有具有阻尼軸承。專利摘要本技術(shù)涉及一種薄膜涂覆裝置,特別涉及一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置。主要解決現(xiàn)有浸泡法前驅(qū)液易受環(huán)境影響、流延法對(duì)設(shè)備要求高的技術(shù)問題。技術(shù)方案為一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,包括放帶輪、涂覆輪、流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐和收卷輪,所述放帶輪和收卷輪分別設(shè)置在兩個(gè)密閉空間內(nèi),基帶經(jīng)放帶輪、涂覆輪以及對(duì)應(yīng)的流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐、導(dǎo)向輪,最后由收卷輪卷收。本技術(shù)主要用于對(duì)基材表面進(jìn)行超導(dǎo)薄膜涂覆。文檔編號(hào)B05C11/10GK202700755SQ20122038322公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月4日專利技術(shù)者蔡傳兵, 白傳易, 劉志勇, 魯玉明 申請(qǐng)人:上海上創(chuàng)超導(dǎo)科技有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種浸泡式動(dòng)態(tài)流延薄膜涂覆裝置,其特征是包括放帶輪、涂覆輪、流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐和收卷輪,所述放帶輪和收卷輪分別設(shè)置在兩個(gè)密閉空間內(nèi),基帶經(jīng)放帶輪、涂覆輪以及對(duì)應(yīng)的流延頭、張力控制傳感器、導(dǎo)向輪、熱處理爐、導(dǎo)向輪,最后由收卷輪卷收。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:蔡傳兵,白傳易,劉志勇,魯玉明,
申請(qǐng)(專利權(quán))人:上海上創(chuàng)超導(dǎo)科技有限公司,
類型:實(shí)用新型
國別省市:
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