平行同步影像處理系統技術方案

本發明專利技術揭露一種在微影制程中將光罩數據圖案透過平行同步影像處理機制施加于基板之系統及方法。在一實施例中，該平行同步影像處理系統包括：一圖形引擎，其可將一對象劃分為多個梯形，并取各梯形之一邊，列出一代表該多個梯形之邊表；以及一分配器，其可自該圖形引擎接收該邊表，并將該邊表分配至多個掃描線影像處理單元。該系統進一步包括：一同步調度哨符機制，其可監控處理該多個掃描線影像處理單元之多元同步化運作；以及多個緩沖儲存器，其可儲存來自對應掃描線影像處理單元之影像數據，并根據該同步調度哨符機制輸出已儲存之影像數據。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術系關于計算機成像處理。更詳而言之，本專利技術系關于在微影制程中利用平行同步影像處理機制以將光罩數據圖案施加于基板之系統。
技術介紹
受惠于半導體集成電路(IC)技術之突飛猛進，動態矩陣液晶電視(AMLCD TV)及計算機顯示器之制程已有長足進步。近年來，液晶電視及計算機顯示器之尺寸不斷放大，但價格則逐漸大眾化。就半導體IC而言，各技術世代系由電路設計規則中之關鍵尺寸(⑶)加以定義。隨著技術世代之演進，新世代IC之圖征關鍵尺寸目標值逐漸縮小，誤差容許度亦更趨嚴格。但就面板顯示器(FPD)而言，各技術世代系依照制程中所用基板之實體尺寸加以分類。例如，Fro分別于2005、2007及2009年進入第六代(G6)、第八代(G8)及第十代(GlO)，其對應之基板尺寸(公厘X公厘)分別為1500xl800、2160x2460及2880x3080。無論是半導體IC或FPD基板，其微影制程所面臨之挑戰均為如何一方面加大產品之尺寸，一方面使產品平價化；但兩者之制程卻截然不同。IC業界之一主要挑戰，系于直徑300公厘之晶圓上形成具有小關鍵尺寸之圖征，其目標為盡可能提高晶體管之安裝數量，俾使相同大小之芯片具有更佳功能。然而，Fro業界之一主要挑戰系盡可能加大可處理之矩形基板尺寸，因為生產在線所能處理之FPD基板愈大，則所能制造之電視或顯示器愈大，且成本愈低。為提高效能，一般液晶電視及顯示器之設計均采用較為復雜之薄膜晶體管(TFT)，但TFT之關鍵尺寸目標值仍停留在相同之規格范圍內。從某一觀點而言，Fro制程之一主 要挑戰，系使后續各世代之單位時間產出量均具有合理之成本效益，而其中一項重要之考慮因素系令制程良率達到獲利水平，同時維持適當之制程窗口。習知用于制造Fro之微影技術系由制造IC之微影制程演變而來。Fro基板所用之微影曝光工具大多為步進式及/或掃描式投影系統，其中從光罩至基板之投影比例共有二比一(縮小)與一比一兩種。為將光罩圖案投影至基板，光罩本身便須依可接受之關鍵尺寸規格制造。Fro之光罩制程與半導體IC之光罩制程類似，不同之處在于制造半導體IC所用之光罩尺寸約為每邊150公厘(約6時)，而制造FPD所用之光罩，其每邊尺寸在一實例中可為前述每邊尺寸之八倍左右，即每邊超過一公尺。在制造未來世代FPD時所可能面臨之上述各種挑戰，乃肇因于FPD業界亟須降低成本，而主要動機之一，系令新世代產品之制程具有成本效益。微影技術必須一方面維持產出效率，一方面確保產品良率逐代提升。欲達此目的，必須加大微影制程之制程窗口，并減少制程瑕疵，以因應日益增大之Fro基板。一如前述，現有曝光工具架構之缺點甚多，其中一主要缺點系與光罩之使用有關，亦即光罩尺寸過大，導致光罩之制造不符成本效益。由于光罩尺寸勢必持續加大方能滿足未來世代FPD之需求，此一缺點將愈趨嚴重。因此，需有一種經改良之成像寫入系統，以解決習知工具與方法之諸多問題。為計算機顯示器及打印裝置制備影像之方式已有多種發展，通常系由繪圖管線提供坐標轉換、裁切、掃描轉換及其它功能。相較之下，無光罩微影法之平行同步掃描技術則面臨不同挑戰。例如，在無光罩微影法之平行同步掃描過程中，影像處理引擎與影像曝光裝置須以更為緊密之方式平行同步運作。因此，吾人亟需發展出一種系統，其不但可將預處理與影像曝光之程序分離，并使掃描轉換成柵格化圖像之運算管道維持高產出率，更可解決相鄰影像區域間之拼接問題，同時容許使用低成本之商業集成電路組件。
技術實現思路
本專利技術提供一種在微影制程中將光罩數據圖案透過平行同步影像處理機制施加 于基板之系統及方法。在一實施例中，所述平行同步影像處理系統包括一圖形引擎，其可處理一或多個圖形對象以形成多個凸多邊形，并產生一代表該多個凸多邊形之邊表；一分配器，其可將該邊表分配至多個掃描線影像處理單元；該多個掃描線影像處理單元，其可接收該邊表并平行同步處理該多個凸多邊形；控制邏輯，其可利用一同步調度哨符同步化該多個掃描線影像處理單元之運作，其中該同步調度哨符包括一用以標示掃描線終點之獨特圖案；以及多個緩沖儲存器，其可儲存由該多個掃描線影像處理單元產生之影像數據。該圖形引擎包括控制邏輯，其可根據一掃描方向辨別所述一或多個圖形對象其邊界之過渡；以及控制邏輯，其可將所述一或多個圖形對象劃分為多個凸多邊形。各該掃描線影像處理單元包括一先進先出(FIFO)機制，其可儲存該邊表之項目；一逐漸增量內插值法更新式邏輯，其可更新該邊表之項目；以及一多路復用器，其可自該分配器及一在前之掃描線影像處理單元接收數據。該分配器包括控制邏輯，其可根據一預設之間隔因子，而于該多個掃描線影像處理單元之間，來平衡該邊表之處理負載；以及控制邏輯，其可根據各該掃描線影像處理單元中之先進先出機制之容量大小，而于該多個掃描線影像處理單元之間，來平衡該邊表之處理負載。該多個掃描線影像處理單元包括控制邏輯，其可以輪流方式每次處理一個凸多邊形之一部分。此外，各該掃描線影像處理單元包括控制邏輯，其可根據一預設之掃描方向掃描部分該凸多邊形；控制邏輯，其可掃描部分該凸多邊形轉換成柵格化圖像；以及控制邏輯，其可于部分該凸多邊形之邊界處執行圖像淡出操作。用以掃描部分該凸多邊形之控制邏輯包括控制邏輯，其可沿一列掃描部分該凸多邊形；或控制邏輯，其可沿一行掃描部分該凸多邊形。該用以執行影像圖像淡出操作處理之控制邏輯包括控制邏輯，其可利用一第二同步調度哨符控制部分該凸多邊形之邊界圖像淡出操作；以及控制邏輯，其可根據該第二同步調度哨符而自各該掃描線影像處理單元之圖像淡出操作來輸出數據。用以同步化該多個掃描線影像處理單元之運作之控制邏輯包括控制邏輯，其可連結各該掃描線影像處理單元中之先進先出機制以形成一先進先出機制鏈，藉以儲存該邊表所列之該多個凸多邊形；以及控制邏輯，其可利用其同步調度哨符控制該多個緩沖儲存器之影像數據輸出。于另一實施例中，一種執行平行同步影像處理之方法包括下列步驟處理一或多個圖形對象以形成多個凸多邊形；產生一代表該多個凸多邊形之邊表；將該邊表分配至多個掃描線影像處理單元；利用其多個掃描線影像處理單元，平行同步處理該邊表所列之該多個凸多邊形；利用一同步調度哨符同步化該多個掃描線影像處理單元之運作，其同步調度哨符包括一用以標明掃描線終點之獨特圖案；以及利用多個緩沖儲存器儲存該多個掃描線影像處理單元所產生之影像數據。所述處理一或多個圖形對象之步驟包括根據一掃描方向辨別所述一或多個圖形對象其邊界之過渡；以及將所述一或多個圖形對象劃分為多個凸多邊形。各掃描線影像處理單元包括一先進先出機制，其可儲存該邊表之項目；一逐漸增量內插值法更新式邏輯，其可更新該邊表之項目；以及一多路復用器，其可自一分配器及一在前之掃描線影像處理單元接收數據。 所述分配該邊表之步驟包括根據一預設之間隔因子，而于該多個掃描線影像處理單元之間，來平衡該邊表之處理負載；以及根據各該掃描線影像處理單元中之先進先出機制之容量大小，而于多個掃描線影像處理單元之間，來平衡該邊表之處理負載。所述處理該多個凸多邊形之步驟包括將各掃描線影像處理單元之組態設定為可以輪流方式每次處理一個凸多邊形之一部分。處理該多個凸多邊形尚包括根據一預設之掃描方向掃描部分該凸多邊形；掃描部分該凸多邊形轉換本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：B·基恩，T·萊迪格，
申請(專利權)人：派因布魯克成像系統公司，
類型：
國別省市：