玻璃加工方法技術

提供使用了蝕刻耐性高、且分辨率及剝離性優異的感光性樹脂組合物的玻璃加工方法。本發明專利技術的玻璃加工方法包括以下工序：在玻璃基板上形成含有具有酚性羥基的堿可溶性樹脂的感光性樹脂組合物的涂布膜的涂布膜形成工序；對上述涂布膜進行選擇性曝光的曝光工序；對曝光后的上述涂布膜進行顯影而形成樹脂圖案的顯影工序；以上述樹脂圖案作為掩模對上述玻璃基板進行蝕刻的蝕刻工序；以及將上述樹脂圖案剝離的剝離工序。

【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及以感光性樹脂組合物圖案化而得到的樹脂圖案作為掩模而對玻璃基板進行蝕刻加工的玻璃加工方法。
技術介紹
觸摸面板通過在介由間隔物相對的玻璃基板和薄膜材料的相對面上分別將ITO等透明導電物質成膜而構成。在該觸摸面板上，薄膜材料的接觸位置作為坐標信息被檢測。此外，最近，也提出觸摸面板一體型的液晶顯示器。其是構成液晶顯示器的2片玻璃基板中的一片兼作觸摸面板的玻璃基板的顯示器，在實現薄型化及輕量化的方面非常有效。 以往，雖然作為這樣的玻璃基板的加工方法一般為物理方法，但是存在加工時容易出現裂紋、強度降低或成品率惡化的問題。因此，近年，提出以將感光性樹脂組合物圖案化而得到的樹脂圖案作為掩模而對玻璃基板進行蝕刻加工的化學方法(例如參照專利文獻1、2)。根據這樣的化學方法，由于在加工時不會受到物理性負荷，所以不易出現裂紋。此外，與物理方法不同，也可以對玻璃基板進行麥克風或揚聲器用的開孔加工。現有技術文獻專利文獻專利文獻I :日本特開2008-076768號公報專利文獻2 :日本特開2010-072518號公報
技術實現思路
專利技術所要解決的問題不過，最近作為這樣的玻璃基板大多使用強化玻璃。伴隨于此，蝕刻條件也變得苛亥IJ，正在研究例如將包含15質量％氟酸及15質量％硫酸的蝕刻液加溫至25 60°C后使用。但是，使用專利文獻1、2中記載的以往的感光性樹脂組合物時，在上述那樣苛刻的蝕刻條件下存在蝕刻耐性不足的問題。此外，本專利技術人等進行了研究，結果明確，雖然通過向感光性樹脂組合物中添加無機填料可改善蝕刻耐性自身，但是分辨率及剝離性下降。本專利技術是鑒于這樣的以往的實際情況而進行的，目的在于提供一種使用了蝕刻耐性高、且分辨率及剝離性優異的感光性樹脂組合物的玻璃加工方法。用于解決問題的方法本專利技術人等為了解決上述問題反復進行了深入研究。其結果發現，通過使用特定的感光性樹脂組合物能夠解決上述問題，從而完成本專利技術。S卩，本專利技術的玻璃加工方法包括以下方法在玻璃基板上形成含有具有酚性羥基的堿可溶性樹脂的感光性樹脂組合物的涂布膜的涂布膜形成工序；對上述涂布膜進行選擇性曝光的曝光工序；對曝光后的上述涂布膜進行顯影而形成樹脂圖案的顯影工序；以上述樹脂圖案作為掩模對上述玻璃基板進行蝕刻的蝕刻工序；以及將上述樹脂圖案剝離的剝離工序。專利技術的效果 根據本專利技術，能夠提供一種使用了蝕刻耐性高、且分辨率及剝離性優異的感光性樹脂組合物的玻璃加工方法。具體實施例方式以下，對本專利技術的實施方式進行詳細地說明。本專利技術的玻璃加工方法是以將感光性樹脂組合物圖案化而得到的樹脂圖案作為掩模而對玻璃基板進行蝕刻加工的方法。以下，首先對本專利技術中使用的感光性樹脂組合物進行說明，接著對本專利技術的玻璃加工方法進行說明。《感光性樹脂組合物》本專利技術中使用的感光性樹脂組合物至少含有具有酚性羥基的堿可溶性樹脂。該感光性樹脂組合物可以是正型、負型中的任一種。以下，對正型感光性樹脂組合物及負型感光性樹脂組合物中含有的各成分進行詳細說明。<正型感光性樹脂組合物>正型感光性樹脂組合物至少含有(A)具有酚性羥基的堿可溶性樹脂及(B)含醌二疊氮基的化合物。[ (A)具有酚性羥基的堿可溶性樹脂]作為具有酚性羥基的堿可溶性樹脂(以下也稱為“㈧成分”。)，例如，可以使用聚羥基苯乙烯系樹脂。聚羥基苯乙烯系樹脂至少具有來自羥基苯乙烯的構成單元。這里所謂“羥基苯乙烯”是指包括羥基苯乙烯；及鍵合在羥基苯乙烯的α位上的氫原子被鹵素原子、烷基、鹵代烷基等其它的取代基取代的羥基苯乙烯；及它們的衍生物的羥基苯乙烯衍生物(單體)的概念?！傲u基苯乙烯衍生物”至少維持苯環和其上鍵合的羥基，例如，包含鍵合在羥基苯乙烯的α位上的氫原子被鹵素原子、碳原子數I 5的烷基、鹵代烷基等其它的取代基取代的羥基苯乙烯、及羥基苯乙烯的鍵合了羥基的苯環上進一步鍵合了碳原子數I 5的烷基的羥基苯乙烯、或該鍵合了羥基的苯環上進一步鍵合了 I 2個羥基的羥基苯乙烯(這時羥基的數目的總計為2 3個。)等。作為鹵素原子，可列舉出氯原子、氟原子、溴原子等，優選氟原子。此外，只要沒有特別指定，所謂“羥基苯乙烯的α位”是指鍵合了苯環的碳原子。來自該羥基苯乙烯的構成單元例如以下述式(a-Ι)表示。[化學式I]本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種玻璃加工方法，其包括以下工序：在玻璃基板上形成含有具有酚性羥基的堿可溶性樹脂的感光性樹脂組合物的涂布膜的涂布膜形成工序；對所述涂布膜進行選擇性曝光的曝光工序；對曝光后的所述涂布膜進行顯影而形成樹脂圖案的顯影工序；以所述樹脂圖案作為掩模對所述玻璃基板進行蝕刻的蝕刻工序；以及將所述樹脂圖案剝離的剝離工序。

【技術特征摘要】
2011.07.28 JP 2011-1659861.一種玻璃加工方法，其包括以下工序 在玻璃基板上形成含有具有酚性羥基的堿可溶性樹脂的感光性樹脂組合物的涂布膜的涂布膜形成工序； 對所述涂布膜進行選擇性曝光的曝光工序； 對曝光后的所述涂布膜進行顯影而形成樹脂圖案的顯影工序； 以所述樹脂圖案作為掩模對所述玻璃基板進行蝕刻的蝕刻工序；以及 將所述樹脂圖案剝離的剝離工序。2.根據權利要求I所述的玻璃加工方法，其中，在所述蝕刻工序中，使用包含氟酸及硫酸的25 60°C的蝕刻液對所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：植松照博，
申請(專利權)人：東京應化工業株式會社，
類型：發明
國別省市：