半導體產業的污水凈化循環系統技術方案

本發明專利技術公開了一種半導體產業的污水凈化循環系統，包括：以超濾膜濾器為主要濾材所構成的超濾膜凈水回收系統中，依污水固體含量多寡在系統適當流程中結合一離心裝置，借由離心裝置將水中固體微粒以離心力作用，自污水中分離出來，被分離出的固體微粒，其含水率可降低至重量百分比50％以下，可省略掉傳統需要再進行污水處理作業的程序，直接依污泥棄物流程丟棄；而部分研磨工藝的污水含高純度的硅，其固體微粒經離心裝置的離心脫水至含水率達重量百分比25％以下，可再行回收；前述經離心裝置分離出來的液態水被重新再導入超濾膜凈水回收系統的初始端，進行重復過濾作業。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術是關于一種污水凈化循環系統，尤指一種將半導體產業所產生的切割或研磨污水，以超濾膜凈水系統結合離心裝置的系統加以過濾凈化，并且將前述過濾凈化后的凈水導入作為本專利技術主要凈水來源的半導體產業的污水凈化循環系統。
技術介紹
目前，在半導體的電子產業中，對于晶圓在切割及研磨的工藝中，需搭配純水加以清洗，清洗后的純水帶有大量的固體微粒。為了達到回收再利用的目的，目前業界的處理方式及應用流程，常以超濾膜過濾器(UF)為主的凈水回收系統過濾水中的固體雜質，達到固體和液體分離的效果，經透析后的凈水依水質狀況，再導入凈水回收系統適當的回收點，以此達到回收再利用的目的。 上述公知凈水回收系統僅以超濾膜過濾器作為污水透析的主要濾器，會受限于超濾膜過濾器去除效果及使用年限，必須有部分帶著固體的濃縮水被排放，以避免凈水回收系統內的固體雜質無限制地升高，造成超濾膜過濾器內部的濾膜嚴重阻塞無法正常透析濾水。縱觀公知凈水回收系統的效益，雖然可以達到部分凈水回收再利用的目的，可是濃縮排放的污水仍然有造成下列的困擾之處I.濃縮排放后的污水，需再經過混凝、沉淀處理，以污水處理的角度來看，雖然處理的水量減少，但是處理的水中固體濃度卻升高，仍須加入等量的混凝劑才能加以沉淀排放，最終無助于減輕污水處理的負荷。2.濃縮排放水量約占凈水回收系統總體水量的10 25%，此10 25%的水量須以污水處理后的方式加以排放，無法再利用，甚為可惜。
技術實現思路
有鑒于上述公知凈水回收系統存在的缺點，本專利技術的主要目的在于提供一種能充分回收并凈化污水的半導體產業的污水凈化循環系統。為達到上述目的，本專利技術提供一種半導體產業的污水凈化循環系統，其由一超濾膜凈水回收系統結合一離心裝置組成；其中，該超濾膜凈水回收系統是以超濾膜濾器為主要濾材所構成，其尚包括原水儲槽、清水儲槽、濃縮水儲槽、原水泵、逆洗泵、離心供水泵、兩個以上開關閥及兩個以上管路；該離心裝置連結于離心供水泵，能接收來自所述濃縮水儲槽的污水，將污水中固體微粒分離出來，前述分離出來的固體微粒以排渣方式排出，而所分離出來的液態水，再以超濾膜凈水回收系統進行重復性的循環過濾作業，且經超濾膜凈水回收系統透析后的清凈水，可供作為加工工藝的清洗用水。該離心裝置為臥式離心裝置和盤片式離心裝置任一種，前述污水可經由離心裝置將固體微粒分離出來，所分離出來的固體微粒，可以達到含水率重量百分比50%以下，據此，可直接依污泥污棄物流程丟棄；當部分研磨工藝的污水含高純度的硅，其固體微粒經離心裝置的離心脫水至含水率達重量百分比25 %以下，可提供回收再利用。本專利技術還提供一種半導體產業的污水凈化循環系統，該污水凈化循環系統以超濾膜濾器為主要濾材，配合原水儲槽、原水泵、清水儲槽、逆洗泵、離心供水泵及兩個以上管路組成超濾膜凈水回收系統，該超濾膜凈水回收系統結合有一離心裝置；該離心裝置連結于所述離心供水泵，可接收來自濃縮水儲槽的污水，可將污水中固體微粒分離出來，前述分離出來的固體微粒以排渣方式排出，而所分離出來的液態水，再以所述超濾膜凈水回收系統進行重復性的循環過濾作業，且經所述超濾膜凈水回收系統透析后的清凈水，可供作為加工工藝的清洗用水。本專利技術半導體產業的污水凈化循環系統，其由一超濾膜凈水回收系統結合一離心裝置組成；其中，本專利技術較佳實施例一的超濾膜凈水回收系統，包括一原水儲槽，其一端連結切割研磨污水，其另一端連結一原水泵將前述污水送入超濾膜濾器，經超濾膜濾器透析后的清凈水導入一清水儲槽，以供連結至使用點再利用，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清凈水由 超濾膜濾器的凈水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至一濃縮水儲槽，以儲存過濾后的高濃度污水，該濃縮水儲槽連結一離心供水泵，借由該離心供水泵將高濃度污水輸送至一離心裝置，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置分離后的水再導入原水儲槽，以便進行循環過濾，具省卻污水處理作業的特點。本專利技術較佳實施例二的超濾膜凈水回收系統，包括一原水儲槽，其一端連結切割研磨污水，其另一端連結一原水泵將前述污水送入超濾膜濾器，經超濾膜濾器透析后的清凈水導入一清水儲槽，以供連結至使用點再利用，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清凈水由超濾膜濾器的凈水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至前述原水儲槽，該原水儲槽連結一離心供水泵，借由該離心供水泵將原水儲槽內的污水輸送至一離心裝置，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置分離后的水再導入原水儲槽，以便進行循環過濾，同樣可達到具省卻污水處理作業的功能。本專利技術較佳實施例三的超濾膜凈水回收系統，包括一原水儲槽，其一端連結切割研磨污水，其另一端依序連結一離心供水泵和一離心裝置，該離心供水泵將原水儲槽內的污水輸送至一離心裝置，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置分離后的水儲存于一離心儲水槽，該離心儲水槽連結一濾膜供水泵，借由濾膜供水泵將離心儲水內污水導入超濾膜濾器進行透析凈化，經超濾膜濾器透析后的清凈水導入一清水儲槽，以供連結至使用點再利用，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清凈水由超濾膜濾器的凈水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至前述原水儲槽，以便重復進行前述循環過濾作業。本專利技術離心裝置依據切割研磨污水中粒徑及排渣物的處理方式不同，分為臥式離心裝置和盤片式離心裝置，以臥式離心裝置處理后的排渣物，含水率可調整到50%左右，經過特殊計算的臥式離心裝置，其排渣物含水率甚至能做到20%，便于排渣物的回收或再利用，臥式離心裝置轉速最高只達4，500RPM(每分鐘轉速比；轉/分鐘)，產生的G力(泛指高速移動時承受力道的單位；等同離心力)遠低于盤片式，所以對于粒徑小于2μπι(微米)以下的固體微粒其固、液分離效果遠低于盤片式。然而盤片式的離心裝置其排渣物的含水率幾乎呈現泥狀，不利于后續的污棄物處理。因此對于離心裝置的選擇須考慮原水粒徑的大小及污棄物處理的方式。當水中固形物粒徑為2 20 μ m，要求排渣物含水率為重量百分比5 20%，離心裝置的轉速是設定在2500 5000 (RPM)時，采用臥式離心裝置。當水中固形物粒徑小于2 μ m，要求排渣物含水率大于重量百分比50%以上，離心裝置的轉速是設定在4500 12000 (RPM)時，采用盤片式離心裝置。離心裝置在超濾膜凈水回收系統中的作用，除了上述說明的功能外，還可以降低超濾膜凈水回收系統水中的固體濃度，減輕超濾膜濾器的處理負擔。本專利技術最少可達到下列目標的I 2項或全部 I.增加超濾膜凈水回收系統的固體微?；厥章剩罡呖蛇_99. 5%以上；2.被分離的固體微粒，可不經污水處理場處理，直接以污棄物處理流程處理，或依其固體種類及純度再回收利用；3.可提高超濾膜(UF)濾器的使用壽命；4.可減少超濾膜(UF)濾器的藥洗頻率；5.污水凈化循環系統為全自動化作業,可減少人工操作費用。附圖說明圖I為本專利技術半導體產業的污水凈化循環系統結構較佳實施例一的配置圖；圖2為圖I的局部結構衍生示意圖；圖3為本專利技術半導體產業的污水凈化循環系統結構較佳實施例二本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種半導體產業的污水凈化循環系統，其特征在于，該污水凈化循環系統以超濾膜濾器為主要濾材，配合原水儲槽、原水泵、清水儲槽、逆洗泵、濃縮水儲槽、離心供水泵及兩個以上管路組成超濾膜凈水回收系統，該超濾膜凈水回收系統結合有一離心裝置；該離心裝置連結于所述離心供水泵，能接收來自所述濃縮水儲槽的污水，將污水中固體微粒分離出來，前述分離出來的固體微粒以排渣方式排出，而所分離出來的液態水，再以所述超濾膜凈水回收系統進行重復性的循環過濾作業，且經所述超濾膜凈水回收系統透析后的清凈水，可供作為加工工藝的清洗用水。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：廖芳基，
申請(專利權)人：彰化煉水股份有限公司，
類型：發明
國別省市：