被加工物保持器、金屬線放電加工裝置、薄板制造方法、以及半導體晶片制造方法制造方法及圖紙

被加工物保持器10在通過來自相互隔開間隔且被并排的金屬線電極2的放電來切割被加工物的金屬線放電加工裝置的切割加工時保持被加工物8，形成有大致無間隙地嵌入被加工物的嵌入部102，在與嵌入在嵌入部的被加工物一起進行切割加工時，呈現被加工物保持器和被加工物與金屬線電極相對置的部分的沿著金屬線電極的長度在被加工物的切割加工中大致固定的外形。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種。
技術介紹
以往，作為金屬線放電加工的方式而提出了如下的放電線鋸(wire-saw)方式在從圓柱狀的被加工物切片加工出薄板的情況下，通過將一根金屬線電極卷繞在多個導輥之間而使其并排，而形成多個切割金屬線部分，向各個切割金屬線部分單獨地供電，使各切割金屬線部分與被加工物之間同時放電，從而將被加工物一次被切割為多片。在如上述那樣的結構的放電線鋸中，為了穩定地實施加工而需要可靠地保持被加工物的保持單元。例如在專利文獻I中公開了如下技術在圓柱狀的被加工物的周向的一 部分中，準備軸向延伸的導電性的固定用底座，并將固定用底座和被加工物用具有導電性的粘接劑進行固定，即由固定用底座來保持被加工物。另外，在專利文獻2中公開了如下技術在金屬線與被加工物之間提供包含磨粒的加工液、并一邊向多個金屬線列擠壓被加工物一邊通過研磨作用來切割出多個晶片的多線鋸中，在L形截面的模型構件之上裝載被加工物，一邊由模型構件的側面部來支撐作用于被切割部的磨削阻抗一邊對每個模型構件進行切割。根據該方法，提出了高效地進行被加工物的設定、切割后的被加工物的取出。另外，在專利文獻3中公開了如下技術在對將硬度有差異的不同材料進行組合而制作的復合結構工件的不同材料同時進行切削或者磨削加工的情況下，預先對硬度或者脆性高的材料的被切削內邊沿進行倒角加工而在與另一材料的邊界部產生槽，從而不損傷刀具地高精度地進行同時切削(simultaneous-cutting)、切削、磨削加工。專利文獻I :日本特開2000-109397號公報專利文獻2 日本專利第2765307號公報專利文獻3 :日本特開平5-293711號公報
技術實現思路
專利技術所要解決的技術問題在如上述那樣的放電線鋸方式中，需要穩定地維持切割加工中的放電狀態。當放電狀態不穩定化時，在金屬線與被加工物之間發生短路，有時會發生加工面損傷、金屬線斷線。加工面損傷、金屬線斷線導致工件不合格，因此為了提高生產率而需要避免這些。另一方面，在切割圓柱狀的被加工物的情況下，金屬線和被加工物相對置的部分的沿著金屬線的長度(對置長度)隨著切割加工的進行而變化。即，在切割圓柱狀的被加工物的中心時對置長度變得最大，隨著從那里離開而對置長度變小。于是，由于對置長度發生變化，穩定地維持切割加工中的放電狀態變得困難。一般為了在金屬線放電加工中實現最大速度，需要對每個加工板厚設定最優的條件。但是，由于上述的對置長度有變化，因此需要以放電狀態最容易變得不穩定的切割加工開始時的板厚條件為基準來設定加工條件。因此，存在如下問題不能避免貫通被加工物整體的加工速度的降低，導致加工時間的增大。另外，由于伴隨著對置長度的變化而加工間隙發生變化，因此維持加工槽的寬度為固定變得困難。一般將加工槽的寬度變化的狀態稱為加工表面波度(waviness)，需要在作為后續工序的研磨作業中確實地消除波度部分。因此，因為需要估計研磨時的消除量來將加工間距設定得大，所以 存在如下問題每一晶錠的晶片產量減少，生產率惡化。另外，為了將伴隨加工而產生的加工屑從加工槽排出，有時通過從接近被加工物而設置的加工液噴嘴朝向加工槽噴出加工液來排出加工屑。但是，為了將加工液噴嘴接近被加工物而配置，必須根據上述的對置長度的變化來移動加工液噴嘴，存在造成裝置的復雜化這樣的問題。另外，在加工液噴嘴未能很好地接近被加工物的情況下，變得容易發生金屬線斷線，因此不得已進行以金屬線難以斷線的低能量的加工，從而只好變為低速加工。并且，在專利文獻廣3公開的技術中，在對圓柱狀的被加工物進行切割加工時難以抑制對置長度的變化。本專利技術是鑒于上述而作出的，其目的在于獲得一種能夠抑制與金屬線電極的對置長度的變化、穩定地維持金屬線放電加工裝置的切割加工中的放電狀態的被加工物保持器。進一步目的在于，通過能夠根據單個被加工物和金屬線電極的對置長度來變更脈沖頻率的加工電源進行加工來實現高精度槽加工。解決技術問題的手段為了解決上述的課題而達成目的，本專利技術提供一種被加工物保持器，其在通過來自相互隔開間隔而并排的金屬線電極的放電來切割被加工物的金屬線放電加工裝置的切割加工時保持所述被加工物，該被加工物保持器的特征在于，形成有大致無間隙地嵌入所述被加工物的嵌入部，在與嵌入在所述嵌入部的所述被加工物一起進行切割加工時，呈現被加工物保持器和被加工物與所述金屬線電極相對置的部分的沿著所述金屬線電極的長度在所述被加工物的切割加工中大致固定的外形。另外，在保持被加工物的上述被加工物保持器中，其特征在于，在與嵌入在嵌入部的被加工物一起進行切割加工時，切割用的加工用電源能夠根據被加工物和金屬線電極的對置長度W來變更脈沖頻率。專利技術效果根據本專利技術，起到如下效果無論金屬線電極與被加工物的對置長度W的變化如何，都能夠穩定地維持金屬線放電加工裝置的切割加工中的放電狀態、均勻地維持槽寬。附圖說明圖I是示出本專利技術的實施方式I所涉及的金屬線放電加工裝置的結構的立體圖。圖2是示出被加工物保持器的結構的說明圖。圖3是被加工物的加工狀態的說明圖。圖4-1是示出切割加工中的非加工物以及被加工物保持器、與金屬線電極的關系的立體截面圖。圖4-2示出切割加工中的被加工物以及被加工物保持器、與金屬線電極的關系的橫截面圖。圖5-1是示出切割加工中的被加工物保持器與加工液噴嘴的位置關系的圖，即示出加工剛剛開始之后的狀態的圖。圖5-2是示出切割加工中的被加工物保持器與加工液噴嘴的位置關系的圖，即示出加工即將結束之前的狀態的圖。圖6-1是實施方式I的變形例I所涉及的加工物保持器的立體圖。圖6-2是實施方式I的變形例2所涉及的被加工物保持器的立體圖。圖6-3是實施方式I的變形例3所涉及的被加工物保持器的立體圖。圖7-1是示出被加工物的防掉落結構的一個例子的被加工物保持器的立體圖。 圖7-2是示出被加工物的防掉落結構的一個例子的被加工物保持器的立體圖。圖8是本專利技術的實施方式2所涉及的被加工物保持器的立體圖。圖9是示出使用了本專利技術的實施方式3所涉及的被加工物保持器的切割加工中的非加工物以及被加工物保持器、與金屬線電極的關系的立體截面圖。圖10-1是示出實施方式3所涉及的切割加工中的被加工物以及被加工物保持器、與金屬線電極的關系的橫截面圖。圖10-2是示出實施方式3所涉及的切割加工中的被加工物以及被加工物保持器、與金屬線電極的關系的橫截面圖。圖11是示出根據加工進行位置而變化的被加工物和金屬線電極的對置長度W、和根據對置長度W而被控制的加工電源的脈沖頻率的推移的圖。圖12是示出進行切片加工的被加工物的截面形狀的圖，是用于說明脈沖頻率的控制的有無所帶來的截面形狀的不同的圖。具體實施例方式下面根據附圖詳細地說明本專利技術的實施方式所涉及的。此外，并非通過該實施方式來限定該專利技術。實施方式I.圖I是示出本專利技術的實施方式I所涉及的金屬線放電加工裝置的結構的立體圖。四根導輥3a 3d在軸線方向上相互平行地隔開間隔而配置。從金屬線線軸I拉出的金屬線電極2依次在導輥3a 3d之間相互隔著微小的間隔而卷繞多次之后，通過金屬線排出輥5排出。這里，金屬線電極2中的平行拉開在導輥3a與導輥3b之間的部分成為切割金屬線部2a。保持了被加工物8的被加工物保持器10被未圖示的位置控制裝置保持著以與本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：湯澤隆，三宅英孝，佐藤達志，系數篤，
申請(專利權)人：三菱電機株式會社，
類型：
國別省市：