檢查用接觸器和檢查用夾具制造技術

本發明專利技術提供一種可以應對基板的微細化和復雜化、并在檢查時提供強的按壓力且在非檢查時提供弱的按壓力的微細的接觸器和檢查用夾具。一種將被檢查物的多個檢查點與在檢查用夾具的電極體上具備的并與檢查檢查點間的電特性的檢查裝置電連接的多個電極部電連接的檢查用接觸器具備：兩端具有開口部且前端開口部與電極部的表面抵接的導電性的筒狀部件、從筒狀部件的后端開口部突出并配置在筒狀部件內部、且后端與檢查點接觸的導電性的棒狀部件和將筒狀部件與板狀部件電連接的固定部，筒狀部件具有在筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第一和第二缺口部，第一或第二缺口部在棒狀部件與檢查點抵接并實施檢查時達到收縮的極限。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種將預先設定在被檢查物的檢查對象部上的檢查點與實施這種檢查的檢查裝置電連接的檢查用夾具以及在檢查用夾具中使用的檢查用接觸器。
技術介紹
安裝有檢查用接觸器的檢查用夾具經由所述檢查用接觸器，針對被檢查物所具有的檢查對象部，從檢查裝置向規定的檢查位置提供電流或電信號，并從檢查對象部檢測電信號，據此進行檢查對象部的電特性的檢測、動作測試的實施等。 作為被檢查物，例如有印刷線路基板、柔性基板、陶瓷多層線路基板、液晶顯示器或等離子顯示器等用的電極板、以及半導體封裝用的封裝基板或膜式載體等各種基板、或半導體晶片、半導體芯片或CSP(芯片尺寸封裝，Chip size package)等的半導體裝置。在本說明書中，將上述的這些被檢查物統稱為“被檢查物”，將形成在被檢查物上的檢查對象部稱為“檢查部”。另外，可以在檢查部上設定用于實際地檢查所述檢查部的電特性的檢查點，并通過將接觸器壓接在所述檢查點上而與檢查部成為導通狀態。這種檢查用夾具的接觸器的一端壓接在布線(檢查部)上的檢查點上，另一端壓接在與基板檢查裝置電連接的電極部上。另外，經由所述檢查用夾具，從基板檢查裝置提供用于測量布線的電特性的電流或電壓，并且將從布線中檢測的電信號向基板檢查裝置發送。這種檢查用夾具例如可以例示出在專利文獻I中公開的夾具。在專利文獻I的檢查用夾具中，在導電性可移動體(接觸器)上安裝有螺旋彈簧。在這種檢查用夾具中，接觸器在被安裝在支架上時，利用螺旋彈簧的收縮而被按壓在導電部上，提供了導電部與接觸器的良好的接觸狀態。另外，接觸器被調整為，為了破壞在檢查點的表面上形成的氧化膜等的絕緣層并與檢查點導通接觸，使接觸器與檢查點接觸以使螺旋彈簧收縮規定的量(規定長度)而可以獲得規定的按壓力。特別地，近年來，因為基板設定了大量的檢查點，所以也將應與這些檢查點對應的接觸器大量地安裝在支架上。因此，如上所述，如果接觸器的數量增加，則收縮的螺旋彈簧也增加，在支架上負擔很大的力。負擔了很大的力的支架存在因所述的螺旋彈簧的力的作用而整體彎曲的問題。另一方面，要降低施加在支架上的力，就要研究降低螺旋彈簧的彈力，但在收縮規定長度的情況下螺旋彈簧不能提供所希望的按壓力，存在接觸器與檢查點不能通過足夠的按壓力而導通接觸的問題。(現有技術文件)專利文獻I :日本特開2003-215160號公報
技術實現思路
(專利技術所要解決的問題)本專利技術提供一種可以應對基板的微細化以及復雜化、并可以在檢查時提供強的按壓力且可以在非檢查時提供弱的按壓力的微細的接觸器以及使用這種接觸器的檢查用夾具。(解決問題的手段)本專利技術的第一方面提供一種將成為被檢查對象并具有多個檢查點的被檢查物與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接的檢查用夾具，其特征在于具備具備與所述檢查裝置電連接的多個電極部的電極體；將所述電極部與所述檢查點電連接的檢查用接觸器；以及保持所述檢查用接觸器的保持體，其中，所述檢查用接觸器具備兩端具有開口部、且前端開口部與所述電極部的表面抵接的導電性的筒狀部件；從所述筒狀部件的后端開口部突出并配置在所述筒狀部件的內部、且后端與所述檢查點接觸的導電性的棒狀部·件；以及將所述筒狀部件與所述棒狀部件電連接的固定部，所述保持體具備具有將所述前端開口部向所述電極體引導的第一引導孔的第一板狀部件；以及具有將所述棒狀部件的后端向所述檢查點引導的第二引導孔的第二板狀部件，所述筒狀部件具有具有與所述電極部的表面接觸的前端開口部并將所述棒狀部件的前端部容納在內部的上筒部；形成為與所述上筒部相同的直徑并與所述上筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向伸縮的螺旋狀的缺口的第一缺口部；形成為與所述第一缺口部相同的直徑并與所述第一缺口部連通連接的中筒部；形成為與所述中筒部相同的直徑并與所述中筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第二缺口部；以及形成為與所述第二缺口部相同的直徑并與所述第二缺口部連通連接、且具備所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一個在所述棒狀部件與所述檢查點抵接并實施檢查時達到收縮的極限。本專利技術的第二方面提供一種如上述第一方面所述的檢查用夾具，其特征在于，所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的節距不同。本專利技術的第三方面提供一種如上述第一或第二方面所述的檢查用夾具，其特征在于，所述第一缺口部的缺口寬度與所述第二缺口部的缺口寬度不同。本專利技術的第四方面提供一種將成為被檢查對象的被檢查物的多個檢查點與在檢查用夾具的電極體上具備的多個電極部電連接的檢查用接觸器，所述電極部與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接，所述檢查用接觸器具備成為前端開口部與所述電極部抵接的電極端的外側筒體；以及從所述外側筒體的后端開口部突出并與所述外側筒體的內部電連接且同軸地配置的、且成為后端部壓接在所述檢查點上的檢查端的導電性的內側筒體，所述外側筒體具有具有成為所述電極端的前端開口部的外側上筒部；與所述外側上筒部相同直徑的、且前端開口部與所述外側上筒部的后端開口部連通連接并在周面上具備在長軸方向上形成的螺旋狀的缺口的筒狀的第一缺口部；與所述第一缺口部相同直徑的、并與所述第一缺口部連通連接的外側中筒部；與所述外側中筒部相同直徑的、且與所述外側中筒部連通連接并在周面上具備在長軸方向上形成的螺旋狀的缺口的筒狀的第二缺口部；以及與所述第二缺口部相同直徑的、且與所述第二缺口部連通連接并具備固定部的外側下筒部，所述內側筒體具有具有成為所述檢查端的后端部的內側下筒部；以及配置在所述外側筒體內部的固定部，其中，所述固定部將所述外側筒體與所述內側筒體電連接并固定，所述第一缺口部與所述第二缺口部的螺旋的節距不同。(專利技術的效果)根據本專利技術的上述第一和第四方面，由于將導電性的棒狀部件同軸地配置在具備兩處螺旋狀的缺口部的筒狀部件的內部且電連接并固定，所以這些筒狀部件和棒狀部件作為一個檢查用接觸器而發揮作用。設置在筒狀部件上的缺口部一體地形成在筒狀部件上，并發揮在長軸方向上收縮的彈性部的作用。即，所述檢查用接觸器只包括筒狀部件、棒狀部件和固定部而形成。因此，與使用螺旋彈簧的檢查用接觸器相比，可以減少零件數量，并簡單地形成檢查用接觸器。另外，所述檢查用接觸器提供一種可以在檢查時提供強的按壓力而在非檢查時提供弱的按壓力的微細的接觸器以及使用所述接觸器的檢查用夾具。根據本專利技術的上述第二方面，由于第一缺口部與第二缺口部的螺旋節距不同，所 以可以簡便地產生檢查時和非檢查時的按壓力之差。根據本專利技術的上述第三方面，由于第一缺口部與第二缺口部的缺口寬度不同，所以可以簡便地產生檢查時和非檢查時的按壓力之差。附圖說明圖I是表示本專利技術的檢查用夾具的概略結構圖。圖2是本專利技術的檢查用接觸器的概略剖面圖。圖3是本專利技術的檢查用接觸器的筒狀部件的概略剖面圖。圖4是本專利技術的檢查用接觸器的棒狀部件的概略剖面圖。圖5是表示本專利技術的檢查用接觸器的安裝狀態的概略剖面圖。圖6是表示本專利技術的檢查用夾具的檢查時的動作狀態的概略剖面圖。(附圖標記說明)I :檢查用夾具；2 :檢查用接觸器；21 :筒狀部件；22 :棒狀部件23 :固定部；3 :保持體；31 :第一板狀部件；31h :第一引導孔32 :第二板狀部件；3 1 :本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種將成為被檢查對象并具有多個檢查點的被檢查物與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接的檢查用夾具，其特征在于具備：具備與所述檢查裝置電連接的多個電極部的電極體；將所述電極部與所述檢查點電連接的檢查用接觸器；以及保持所述檢查用接觸器的保持體，其中，所述檢查用接觸器具備：兩端具有開口、且前端開口部與所述電極部的表面抵接的導電性的筒狀部件；從所述筒狀部件的后端開口部突出并配置在所述筒狀部件的內部、且后端與所述檢查點接觸的導電性的棒狀部件；以及將所述筒狀部件與所述棒狀部件電連接的固定部，所述保持體具備：具有將所述前端開口部向所述電極體引導的第一引導孔的第一板狀部件；以及具有將所述棒狀部件的后端向所述檢查點引導的第二引導孔的第二板狀部件，所述筒狀部件具有：具有與所述電極部的表面接觸的前端開口部并將所述棒狀部件的前端部容納在內部的上筒部；形成為與所述上筒部相同的直徑并與所述上筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第一缺口部；形成為與所述第一缺口部相同的直徑并與所述第一缺口部連通連接的中筒部；形成為與所述中筒部相同的直徑并與所述中筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第二缺口部；以及形成為與所述第二缺口部相同的直徑并與所述第二缺口部連通連接、且具備所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一個在所述棒狀部件與所述檢查點抵接并實施檢查時達到收縮的極限。...

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：沼田清，
申請(專利權)人：日本電產理德株式會社，
類型：發明
國別省市：