本發明專利技術涉及一種爐體,公開了一種立式爐體,該立式爐體包括爐體本體,所述爐體本體的底部設有升降機構,所述升降機構包括固定支座、頂塊和升降驅動單元;所述固定支座上設有一個或多個豎直導向槽,每個所述豎直導向槽內分別設有頂塊,所述頂塊與升降驅動單元連接,所述升降驅動單元驅動所述頂塊在所述豎直導向槽內做升降運動并帶動爐體本體做升降運動進而調節爐體本體的高度。本發明專利技術采用升降機構實現爐體本體的高度可調,使得在爐體本體內的溫區分布不變的情況下,通過調節爐體本體的高度,以保證恒溫區處于理想位置,實現設備更換爐體后溫區具有一致性,并能使得盡可能多的產品處于恒溫區內,該爐體適應不同產品、不同工藝要求的熱處理爐。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種爐體,特別是涉及一種立式爐體。
技術介紹
目前,在半導體等行業多用到各類爐子,特別是對于熱處理設備的廣泛應用,熱處理設備其中一個很重要的參數是溫區分布,而目前熱處理生產線所用的爐體中的溫區分布情況是固定不變的,對于不同的熱處理爐,其溫區分布是不相同的,這就要求每更換一次爐體,都要根據新的溫區分布來調節相應的工藝過程及參數,這對工藝的穩定性也帶來不利的影響。
技術實現思路
(一)要解決的技術問題 本專利技術要解決的技術問題是如何提供一種高度可調的熱處理爐體,以保證恒溫區處于理想位置。(二)技術方案為了解決上述技術問題,本專利技術提供的一種立式爐體,包括爐體本體,所述爐體本體的外部設有升降機構,所述升降機構用于調節所述爐體本體的高度。其中,所述升降機構設于所述爐體本體的底部。其中,所述升降機構包括固定支座、頂塊和升降驅動單元;所述固定支座上設有一個或多個豎直導向槽,每個所述豎直導向槽內分別設有頂塊,所述頂塊與升降驅動單元連接,所述頂塊的頂部抵住所述爐體本體的底部,所述升降驅動單元驅動所述頂塊在所述豎直導向槽內做升降運動并帶動爐體本體做升降運動進而調節爐體本體的高度。其中,所述頂塊的頂部還設有升降座,所述升降座的上部與所述爐體本體底部連接,所述升降座的下部與所述固定支座相扣合。其中,所述升降座設有開口向下的第一凹槽,所述固定支座上設有與所述第一凹槽相匹配的突起,所述頂塊位于所述突起上。其中,所述升降驅動單元采用液壓驅動系統,所述液壓驅動系統與所述固定支座一體成形,所述液壓驅動系統直接驅動頂塊做升降運動。其中,所述升降驅動單元包括液壓驅動系統和運動轉換單元,所述運動轉換單元設置在所述固定支座的內部并與所述頂塊連接;所述液壓驅動系統設置在所述固定支座的外部,并通過與所述運動轉換單元連接來間接驅動頂塊做升降運動。其中,所述升降驅動單元包括電機驅動單元和運動轉換單元,所述運動轉換單元設置在所述固定支座的內部并與所述頂塊連接;所述電機驅動單元設置在所述固定支座的外部,并通過與所述運動轉換單元連接來間接驅動頂塊做升降運動。其中,所述升降機構還包括定位銷,所述固定支座上開有與所述定位銷相匹配的第一豎直定位孔,所述升降座上與所述第一豎直定位孔相對的位置開有與所述定位銷相匹配的第二豎直定位孔,所述定位銷的兩端分別安裝在所述第一豎直定位孔和第二豎直定位孔內。其中,所述固定支座設為一個或多個。(三)有益效果上述技術方案所提供的一種立式爐體,采用升降機構實現爐體本體的高度可調,使得在爐體本體內的溫區分布不變的情況下,通過調節爐體本體的高度,以保證恒溫區處于理想位置,實現設備更換爐體后溫區具有一致性,并能使得盡可能多的產品處于恒溫區內,該爐體適應不同產品、不同工藝要求的熱處理爐,熱處理工藝穩定,節約了成本和資源。附圖說明圖I是本專利技術一種立式爐體的結構示意圖; 圖2是本專利技術升降機構的結構示意圖;圖3是本專利技術升降機構的軸測圖;圖4是本專利技術的固定支座的內部結構示意圖;圖5是升降座的剖面圖。其中,I、爐體本體;2、固定支座;21、突起;3、頂塊;4、升降座;41、第一凹槽;42、第二凹槽;5、定位銷;6、進出油口 ;A、恒溫區。具體實施例方式下面結合附圖和實施例,對本專利技術的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本專利技術,但不用來限制本專利技術的范圍。如圖I和圖2所示,本專利技術實施例提供的一種立式爐體,包括爐體本體1,該爐體本體的外部設有升降機構,該升降機構用于調節爐體本體的高度。實現了爐體本體的高度可調以保證設備更換爐體后恒溫溫區具有一致性,恒溫區A處于理想位置,使得盡可能多的產品處于恒溫區A內,該爐體可適應不同產品、不同工藝要求的熱處理爐,實現熱處理工藝穩定,節約了成本和資源。為了減輕升降機構的承載力,以提高設備的使用壽命,該升降機構設于爐體本體I的底部。如圖4和圖5所示,其中,升降機構包括固定支座2、頂塊3和升降驅動單元;固定支座2的上設有一個或多個豎直導向槽,每個豎直導向槽內分別設有頂塊3,可在固定支座2的長度方向上設置一個或多個豎直導向槽,優選為兩個,分別位于該固定支座2的兩端;采用多個內設頂塊3的導向槽的設計可減輕每個頂塊的負荷,降低對頂塊的要求,可提高頂塊的使用壽命;頂塊3與升降驅動單元連接,頂塊3的頂部抵住爐體本體I的底部,升降驅動單元驅動頂塊3在豎直導向槽內做升降運動并帶動爐體本體I做升降運動進而調節爐體本體I的高度。為了提高爐體本體I整體升降運動的平衡性,頂塊3的頂部還設有升降座4,該升降座4的上部與爐體本體的底部連接,該升降座4的下部與固定支座3相扣合。固定支座2可設為一個或多個,可為對稱設置在爐體本體I底部的兩端。優選地,每個固定支座2上的多個頂塊3的頂部與一個升降座4連接,如圖3 ;升降座4的長度與固定支座2的長度一致,以使頂塊3的推動力均勻分布在爐體本體底部11上。優選地,為了防止升降座4在做升降運動過程中傾斜而破環整個爐體本體I的平衡,升降座4設有開口向下的第一凹槽41,固定支座2上設有與該第一凹槽41相匹配的突起21,頂塊3位于突起21上,如圖2。其中,升降座4的第一凹槽41與頂塊3的連接處設有與該頂塊3相匹配的第二凹槽42,頂塊3抵住該第二凹槽42,如圖5。進一步地,為了保證升降座4沿豎直方向做升降運動,而不會產生水平方向的位移,如圖2和圖4,本實施例的升降機構還包括定位銷5,固定支座3上開有與定位銷5相匹配的第一豎直定位孔,升降座4上與該第一豎直定位孔相對的位置開有與定位銷相匹配的第二豎直定位孔,定位銷5的兩端分別安裝在第一豎直定位孔和第二豎直定位孔內。定位銷5可設置為一根或多根。優選地,升降驅動裝置采用與固定支座2 —體成形的液壓驅動系統,該液壓驅動系統設于固定支座2的內部,將固定支座2的局部作為液壓驅動系統的油缸使用,其合理利用了空間,節省資源。該液壓驅動系統與頂塊3連接,直接驅動頂塊3做升降運動。其中,液壓驅動系統的進出油口 6設置在固定支座2的側面。 優選地,升降驅動裝置包括液壓驅動系統和運動轉換單元,運動轉換單元設置在固定支座2的內部并與頂塊3連接;液壓驅動系統設置在固定支座2的外部,并通過與運動轉換單元連接來間接驅動頂塊3做升降運動。優選地,升降驅動單元包括電機驅動單元和運動轉換單元,運動轉換單元設置在固定支座2的內部并與頂塊3連接;電機驅動單元設置在固定支座2的外部,并通過與運動轉換單元連接來間接驅動頂塊3做升降運動。上述運動轉換單元將電機驅動單元或液壓驅動系統的動力轉換成驅動頂塊3做升降運動的動力,其可以為適用于該動力轉換的運動轉換裝置。采用上述技術方案所提供的立式爐體實現了爐體本體的高度可調,在爐體本體I內的溫區分布不變的情況下,采用升降驅動單元控制驅動頂塊3做升降運動,頂塊3推動升降座4帶動爐體本體I做升降運動,在固定支座2和定位銷6的限制下,升降座4只能沿豎直方向運動,確保了高度調節運動的穩固和平衡,實現設備更換爐體后容易獲得溫區的一致性,并能夠保證恒溫區處于理想位置,使得盡可能多的產品處于恒溫區A內,該爐體適應不同產品、不同工藝要求的熱處理爐,節約成本和資源。以上所述僅是本專利技術的優選實施方式,應當指出,對于本
的普通技術人員來說,在不脫離本專利技術技術原理的前提本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種立式爐體,其特征在于,包括爐體本體,所述爐體本體的外部設有升降機構,所述升降機構用于調節所述爐體本體的高度。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:趙燕平,孫少東,
申請(專利權)人:北京七星華創電子股份有限公司,
類型:發明
國別省市:
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