動(dòng)力排液防倒灌接頭制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開(kāi)了一種動(dòng)力排液防倒灌接頭，包括：連接母口，與一排液管相連；連接公口，連接于所述連接母口；防倒灌裝置，設(shè)置于所述連接公口內(nèi)。本實(shí)用新型專利技術(shù)在不改變現(xiàn)有設(shè)備的情況下，在排液管內(nèi)增設(shè)防倒灌接頭，可以在地勢(shì)有落差及排放壓力超出控制范圍等異常情況下使用，防止在排液時(shí)的廢液倒灌，增加了安全性，預(yù)防工安事件的發(fā)生。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種動(dòng)力排液防倒灌接頭。
技術(shù)介紹
隨著晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)大和集約化生產(chǎn)的大趨勢(shì)下，廠務(wù)動(dòng)力的壓力也日趨加大。目前主流的廢水廢液排放采用重力排放，即在設(shè) 備排放口的下方設(shè)置排液管，通過(guò)廢液自身重力由排液管排出。排液管的結(jié)構(gòu)一般是基于國(guó)際法蘭標(biāo)準(zhǔn)的，滿足國(guó)際通用的關(guān)于法蘭標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。但是可能因?yàn)榈貏?shì)落差和排放壓力超出控制范圍，從而使排液管下方的廢液壓力大于排液管內(nèi)的廢液重力，最終導(dǎo)致廢液倒灌而進(jìn)一步產(chǎn)生人員危害，設(shè)備損壞，環(huán)境污染等工安事件。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種在不改變現(xiàn)有設(shè)備的情況下實(shí)現(xiàn)防倒灌的動(dòng)力排液防倒灌接頭。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本技術(shù)提供了一種動(dòng)力排液防倒灌接頭，包括連接母口，與一排液管相連；連接公口，連接于所述連接母口 ；防倒灌裝置，設(shè)置于所述連接公口內(nèi)。可選的，所述連接母口和所述連接公口是法蘭接口，所述連接母口和所述連接公口是螺紋連接。可選的，所述連接公口的頂部設(shè)置有第一卡槽。可選的，所述防倒灌裝置包括固定框架、浮塊和密封圈，所述固定框架設(shè)置于所述連接公口內(nèi)，所述浮塊設(shè)置于所述固定框架內(nèi)，所述密封圈設(shè)置于所述固定框架頂部。可選的，所述固定框架頂部設(shè)置有邊沿，所述邊沿容置于所述第一卡槽內(nèi)；所述固定框架的外徑小于或等于所述連接公口的內(nèi)徑，所述固定框架底部設(shè)置有排液口。可選的，所述固定框架還包括用于將所述浮塊限制于所述固定框架內(nèi)的固定桿。可選的，所述浮塊為中空橢球型。可選的，所述密封圈的內(nèi)徑小于所述浮塊的長(zhǎng)軸，所述密封圈的外徑等于所述固定框架的內(nèi)徑，所述密封圈的邊緣設(shè)置有至少一個(gè)卡榫，所述固定框架上設(shè)置有至少一個(gè)第二卡槽，所述卡榫容置于所述第二卡槽內(nèi)。可選的，所述邊沿的寬度小于或等于第一卡槽的寬度，所述邊沿的厚度小于或等于第 ^槽的深度。本技術(shù)在不改變現(xiàn)有設(shè)備的情況下，通過(guò)連接母口和連接公口在排液管內(nèi)增設(shè)防倒灌裝置，當(dāng)排液管內(nèi)壓力及液位正常時(shí)，防倒灌裝置內(nèi)的浮塊降下，廢液從浮塊上方的排液管的排液口排出，當(dāng)浮塊下方的廢液的壓力超過(guò)浮塊上方的排液管內(nèi)廢液重力時(shí)，防倒灌裝置內(nèi)的浮塊升起并完全堵住排液管的進(jìn)液口，防止廢液倒灌，保證了排液管在地勢(shì)有落差及排放壓力超出控制范圍等異常情況下使用，從而在幾乎不需要改造的情況下實(shí)現(xiàn)了防倒灌，增加了安全性，預(yù)防工安事件的發(fā)生。附圖說(shuō)明圖I是本技術(shù)一較佳實(shí)施例的動(dòng)力排液防倒灌接頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)一較佳實(shí)施例的連接公口結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本技術(shù)一較佳實(shí)施例的防倒灌裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本技術(shù)一較佳實(shí)施例的固定框架結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本技術(shù)一較佳實(shí)施例的防倒灌裝置俯視圖； 圖6是本技術(shù)一較佳實(shí)施例的浮塊升起后的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為使本技術(shù)的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，以下結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說(shuō)明。如圖I所示，根據(jù)本技術(shù)一較佳實(shí)施例，該動(dòng)力排液防倒灌接頭包括連接母口 2、連接公口 3和防倒灌裝置4。連接母口 2與排液管I相連，所述連接母口 2和連接公口 3均為法蘭接口，滿足國(guó)際通用的關(guān)于法蘭標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，從而很好與現(xiàn)有設(shè)備的結(jié)構(gòu)相適用。其中，連接公口 3連接于連接母口 2，連接公口 3優(yōu)選通過(guò)螺紋連接的方式固定于連接母口 2內(nèi)，從而方便防倒灌接頭的安裝和拆卸。防倒灌裝置4設(shè)置于連接公口 3內(nèi)。如圖I和2所示，連接公口 3的頂部設(shè)置有第一卡槽3’，便于防倒灌裝置4固定于連接公口 3內(nèi)。可選的，以連接公口 3的外徑Dl的二分之一處作為第一^^槽3’的邊界線，其中，第一卡槽3’的深度為hi。如圖3和圖5所示，防倒灌裝置4包括固定框架7、浮塊6和密封圈5 ;密封圈5設(shè)置于固定框架7的頂部，固定框架7設(shè)置于連接公口 3內(nèi)，固定框架7的外徑D2等于連接公口 3的內(nèi)徑；浮塊6設(shè)置于固定框架7內(nèi)，浮塊6優(yōu)選為中空的橢球型，這是由于橢球形獲得的最大浮力較大，當(dāng)然，所述浮塊6還可以是其它可以起到密封作用的幾何體。如圖4所示，固定框架7的頂部設(shè)置有邊沿10，邊沿10的寬度Wl小于或等于第一卡槽3’的寬度，邊沿10的厚度h2小于或等于第一卡槽3’的深度hl，從而使固定框架7固定于連接公口 3內(nèi)，并保證固定框架7的頂部不高于連接公口 3的頂部；本實(shí)施例中，固定框架7的頂部設(shè)置有四個(gè)呈對(duì)角線分布的第二卡槽5’，便于固定密封圈5，當(dāng)然，本技術(shù)并不限定第二卡槽5’的分布方式，其還可以呈三角形分布，設(shè)置多個(gè)獨(dú)立的第二卡槽5’有利于節(jié)約空間。繼續(xù)參考圖4，固定框架7的底部包括固定桿11和排液口 9，固定桿11用于將浮塊6限制于固定框架7內(nèi)，防止浮塊6從固定框架7底部漏出，排液口 9在浮塊6降下時(shí)起到排放廢液的作用。如圖5所不,密封圈5的外徑D3等于固定框架7的內(nèi)徑,從而保證密封圈5固定于固定框架7的頂部；密封圈5的內(nèi)徑小于浮塊6的長(zhǎng)軸，從而保證浮塊6上浮時(shí)，能夠完全封堵住密封圈5。密封圈5的形狀與第二卡槽5’的形狀相匹配。較佳的，密封圈5邊緣設(shè)置有四個(gè)呈對(duì)角線分布的卡榫8,卡榫8與第二卡槽5’相匹配，四個(gè)卡榫8恰好卡在四個(gè)第二卡槽5’內(nèi)，從而保證密封圈5不會(huì)在固定框架7的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)施例的動(dòng)力排液防倒灌接頭的工作過(guò)程如下如圖I所示，當(dāng)排液管I內(nèi)壓力及液位正常時(shí)，浮塊6降下，廢液自進(jìn)液口進(jìn)入到排液管內(nèi)，其中廢液進(jìn)入方向如箭頭A所示，獲得浮力方向如箭頭B所示，廢液從排液管I的排液口 9排出，廢液排放方向如箭頭C所示；如圖6所示，當(dāng)浮塊6下方的廢液壓力超過(guò)浮塊6上方廢液的重力，浮塊6升起，堵住密封圈5，從而完全阻斷排液管I的進(jìn)液口，防止了廢液倒灌，保證了排液管I在地勢(shì)有落差及排放壓力超出控制范圍等異常情況下使用。綜上所述，本技術(shù)通過(guò)連接母口 2和連接公口 3，在排液管I內(nèi)增設(shè)防倒灌裝置4，從而在幾乎不需要改造現(xiàn)有設(shè)備的情況下實(shí)現(xiàn)了防倒灌，增加了安全性，預(yù)防工安事 件的發(fā)生。以上所述僅為本技術(shù)的較佳實(shí)施例，凡依本技術(shù)權(quán)利要求范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本技術(shù)權(quán)利要求的涵蓋范圍。權(quán)利要求1.一種動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于，包括 連接母口，與一排液管相連； 連接公口，連接于所述連接母口 ； 防倒灌裝置，設(shè)置于所述連接公口內(nèi)。2.如權(quán)利要求I所述的動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于所述連接母口和所述連接公口是法蘭接口，所述連接母口和所述連接公口是螺紋連接。3.如權(quán)利要求I所述的動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于所述連接公口的頂部設(shè)置有第一^^槽。4.如權(quán)利要求3所述的動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于所述防倒灌裝置包括固定框架、浮塊和密封圈，所述固定框架設(shè)置于所述連接公口內(nèi)，所述浮塊設(shè)置于所述固定框架內(nèi)，所述密封圈設(shè)置于所述固定框架頂部。5.如權(quán)利要求4所述的動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于所述固定框架頂部設(shè)置有邊沿，所述邊沿容置于所述第一卡槽內(nèi)；所述固定框架的外徑小于或等于所述連接公口的內(nèi)徑，所述固定框架底部設(shè)置有排液口。6.如權(quán)利要求4所述的動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于所述固定框架還包括用于將所述浮塊限制于所述固定框架內(nèi)的固定桿。7.如權(quán)利要求4所述的動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于所述浮塊為中空橢球型。8.如權(quán)利要求4或7所述的動(dòng)力排液本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種動(dòng)力排液防倒灌接頭，其特征在于，包括：連接母口，與一排液管相連；連接公口，連接于所述連接母口；防倒灌裝置，設(shè)置于所述連接公口內(nèi)。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：戴文俊，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海集成電路研發(fā)中心有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：