【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種微粒清除裝置，其特征在于：包括控制面板、吸氣馬達、清潔裝置、吸氣管道、吸嘴和吸嘴位置調節裝置，所述吸氣馬達通過所述控制面板控制其吸力的大小與開關，所述吸氣馬達與所述清潔裝置連接，所述清潔裝置通過所述吸氣管道與所述吸嘴連接，所述吸嘴安裝在所述吸嘴位置調節裝置上。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：張學良，高海林，
申請(專利權)人：中芯國際集成電路制造上海有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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