本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種氣柜系統(tǒng)，尤其是一種高純安全特氣柜系統(tǒng)。本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種在更換鋼瓶時保證鋼瓶管接頭的密封連接部清潔的高純安全特氣柜系統(tǒng)，包括特氣柜、設(shè)置在特氣柜內(nèi)的特氣系統(tǒng)，所述特氣系統(tǒng)包括鋼瓶和管路系統(tǒng)，所述管路系統(tǒng)包括供氣管路、稀釋氣體管路以及抽真空管路，所述供氣管路上設(shè)置有鋼瓶管接頭，所述供氣管路通過鋼瓶管接頭與所述鋼瓶相連，所述稀釋氣體管路和抽真空管路均連在所述供氣管路上，還包括吹掃管路，所述鋼瓶管接頭包括氣體通道、依次設(shè)置的密封接口部、緊固部和進(jìn)氣部，還包括吹掃部，所述吹掃部上設(shè)置有一定數(shù)量的吹掃通孔，所述吹掃通孔的出口朝向所述密封接口部的外壁，所述吹掃管路與所述吹掃通孔相連通。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及ー種氣柜系統(tǒng)，尤其是ー種高純安全特氣柜系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
目前的壓縮氣體幾乎都是采用鋼瓶進(jìn)行承裝，鋼瓶的出氣ロ通常設(shè)置有閥門和鋼瓶接ロ，管道需利用鋼瓶管接頭才能密封連接在鋼瓶接口上，現(xiàn)有的鋼瓶管接頭均是采用如下方式進(jìn)行連接，鋼瓶接口上的外壁上設(shè)置有外螺紋，鋼瓶接ロ上設(shè)置有與鋼瓶管接頭密封面相匹配的密封面，在兩個密封面之間安裝好墊片，然后將螺母穿在管道接口上 與管道接ロ的外螺紋相連接，螺母在緊固過程中壓住鋼瓶管接頭上的緊固部，使得鋼瓶管接頭牢牢的連接在鋼瓶接口上，從而實(shí)現(xiàn)兩者的密封。在鋼瓶的使用過程中，一旦鋼瓶中的氣體使用完畢，則必須要更換鋼瓶，對比普通氣體來說，只需直接將鋼瓶管接頭拆下，然后換上新鋼瓶連接即可。然而對于易燃、易爆、有毒之類的氣體，則在換鋼瓶前需要進(jìn)行一系列エ藝，以排出管道中殘余的特殊氣體，以防止氣體在換鋼瓶中泄露出來。這種エ序一般采用如下方式，在拆下鋼瓶管接頭前，首先對供氣管路抽真空，在抽真空后再向供氣管路中充氮?dú)庵惖姆€(wěn)定氣體進(jìn)行稀釋，然后再抽真空，再充氮?dú)庀♂專绱朔磸?fù)若干次，然后時供氣管路保壓確保鋼瓶閥關(guān)閉可靠后，再拆下鋼瓶管接頭以更換鋼瓶。然而在更換鋼瓶時，鋼瓶管接頭的密封連接部必然暴漏在空氣中，這就使得密封連接部受到灰塵和微生物的污染，這就很可能從管道中污染氣體，這在電子行業(yè)中尤其突出，電子行業(yè)中使用的氣體一般為易燃、易爆、有毒的氣體，其對無塵度的要求非常高，一旦氣體中混入灰塵則會對產(chǎn)品的質(zhì)量造成嚴(yán)重的影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是提供一種在更換鋼瓶時保證鋼瓶管接頭的密封連接部清潔的高純安全特氣柜系統(tǒng)。本專利技術(shù)解決其技術(shù)問題所采用的高純安全特氣柜系統(tǒng)，包括特氣柜、設(shè)置在特氣柜內(nèi)的特氣系統(tǒng)，所述特氣系統(tǒng)包括鋼瓶和管路系統(tǒng)，所述管路系統(tǒng)包括供氣管路、稀釋氣體管路以及抽真空管路，所述供氣管路上設(shè)置有鋼瓶管接頭，所述供氣管路通過鋼瓶管接頭與所述鋼瓶相連，所述稀釋氣體管路和抽真空管路均連在所述供氣管路上，還包括吹掃管路，所述鋼瓶管接頭包括氣體通道、依次設(shè)置的密封接ロ部、緊固部和進(jìn)氣部，還包括吹掃部，所述吹掃部上設(shè)置有吹掃通孔，所述吹掃通孔的出口朝向所述密封接ロ部的外壁，所述吹掃管路與所述吹掃通孔相連通。進(jìn)ー步的是，所述吹掃部上還設(shè)置有進(jìn)氣腔，所述進(jìn)氣腔與所述吹掃管路連通，所述進(jìn)氣腔與所述吹掃通孔的進(jìn)ロ相連通。進(jìn)ー步的是，所述吹掃部還包括密封蓋板，所述密封蓋板設(shè)置在進(jìn)氣腔頂部并將所述進(jìn)氣腔密封，所述密封蓋板上設(shè)置有與所述進(jìn)氣腔相連通的進(jìn)氣嘴，所述進(jìn)氣嘴與所述吹掃管路連通。進(jìn)ー步的是，所述吹掃通孔至少設(shè)置兩個并均勻分布在所述吹掃部上。進(jìn)ー步的是，所述吹掃部設(shè)置在所述進(jìn)氣部和所述緊固部之間，所述吹掃通孔穿過所述緊固部。進(jìn)ー步的是，所述吹掃管路的兩端分別與所述吹掃通孔和稀釋氣體管路相連通。進(jìn)ー步的是，所述特氣系統(tǒng)設(shè)置有兩組，并且兩組特氣系統(tǒng)并聯(lián)。進(jìn)ー步的是，所述稀釋氣體管路上設(shè)置有單向閥，所述單向閥的方向為氣體從稀釋氣體管路進(jìn)入到供氣管路中。進(jìn)ー步的是，所述供氣管路上設(shè)置有壓カ測量器，所述壓カ測量器設(shè)置在供氣管 路與稀釋氣體管路的連接點(diǎn)和鋼瓶管接頭之間。進(jìn)ー步的是，所述特氣柜上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣ロ，所述出氣ロ設(shè)置在特氣柜的下部，所述進(jìn)氣ロ設(shè)置在特氣柜的上部，所述進(jìn)氣口上連接由排風(fēng)管路，所述特氣柜除進(jìn)氣口和出氣口外整體密封，所述進(jìn)氣口上設(shè)置有電磁閥，所述特氣柜的柜座上設(shè)置有防震結(jié)構(gòu)。本專利技術(shù)的有益效果是由于在鋼瓶管接頭上設(shè)置有吹掃部，因此在更換鋼瓶時，利用吹掃管路從吹掃通孔中吹出氣體，使得氣體在密封接ロ部表面形成風(fēng)簾，從而阻止灰塵或其它物質(zhì)污染密封接ロ部，同時氣體產(chǎn)生的動カ也能吹走密封接ロ部已有的灰塵，這樣就保證了密封接ロ部的清潔程度，防止因為更換鋼瓶使得管道受到污染，這為精密的加工提供了可靠的保障。在吹掃部內(nèi)還可以設(shè)置進(jìn)氣腔，供氣裝置提供的氣體首先進(jìn)入到進(jìn)氣腔，在進(jìn)氣腔中緩沖均勻后再均勻的從吹掃通孔中噴出，這樣使得風(fēng)簾更加均勻，更好的保護(hù)密封接ロ部表面。特氣系統(tǒng)可以設(shè)置兩組，從而形成一備ー用，這在維修或更換鋼瓶時就能持續(xù)的供氣。附圖說明圖I是管路布置示意圖；圖2是鋼瓶接口和鋼瓶管接頭裝配時的爆炸示意圖；圖3是鋼瓶管接頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是鋼瓶管接頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是鋼瓶管接頭的主視圖；圖6是圖5的左視圖；圖中零部件、部位及編號鋼瓶接ロ I、連接結(jié)構(gòu)11、密封連接面12、氣體出口 12、鋼瓶管接頭2、氣體通道21、密封接ロ部22、緊固部23、吹掃部24、進(jìn)氣部25、吹掃通孔26、進(jìn)氣腔27、密封蓋板28、進(jìn)氣嘴29、螺母3、墊片4、鋼瓶5、供氣管路61、稀釋氣體管路62、抽真空管路63、吹掃管路64、排空管路65、單向閥66、壓カ測量器67。具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本專利技術(shù)作進(jìn)ー步說明。如圖I所示，本專利技術(shù)包括特氣柜、設(shè)置在特氣柜內(nèi)的特氣系統(tǒng)，所述特氣系統(tǒng)包括鋼瓶5和管路系統(tǒng)，所述管路系統(tǒng)包括供氣管路61、稀釋氣體管路62以及抽真空管路63，所述供氣管路61上設(shè)置有鋼瓶管接頭2，所述供氣管路61通過鋼瓶管接頭2與所述鋼瓶5相連，所述稀釋氣體管路62和抽真空管路63均連在所述供氣管路61上，還包括吹掃管路64，所述鋼瓶管接頭2包括氣體通道21、依次設(shè)置的密封接ロ部22、緊固部23和進(jìn)氣部25，還包括吹掃部24，所述吹掃部24上設(shè)置有一定數(shù)量的吹掃通孔26，所述吹掃通孔26的出ロ朝向所述密封接ロ部22的外壁，所述吹掃管路64與所述吹掃通孔26相連通。本管路系統(tǒng)中以供氣管路61為主干管路，其它管路除吹掃管路64外均分支連接在供氣管路61上，通過三通等管件即可實(shí)現(xiàn)連接，各個管路上均按需要設(shè)置閥門，其閥門布置可以參見圖I設(shè)置，在供氣管路61上最好設(shè)置過濾器，其數(shù)量按需求設(shè)置，以防止雜質(zhì)進(jìn)入后續(xù)設(shè)備。吹掃管路64直接與吹掃通孔26連通，吹掃管路64可以直接與吹掃通孔26連通，也可以通過其它機(jī)構(gòu)緩沖后于吹掃通孔26連通，在連通好后除維修外就不必再拆開兩者。在組裝鋼瓶和供氣管路61吋，與普通的鋼瓶管連接結(jié)構(gòu)相同，將墊片4安裝在密封接ロ部22和密封連接面12之間，然后將鋼瓶管接頭2上的緊固部23與鋼瓶接ロ I上的連接結(jié)構(gòu)11連接緊固，緊固可以采用如圖I所示的螺母3緊固在連接結(jié)構(gòu)11上，從而壓緊鋼瓶管接頭2上的緊固部23，使得鋼瓶管接頭2和鋼瓶接ロ I形成端面密封；同樣也可以采用快速卡接接頭的方式，直接將緊固部23和連接結(jié)構(gòu)11設(shè)置為快速卡接接頭的構(gòu)造，從而快速的實(shí)現(xiàn)密 封。在長期使用中，鋼瓶內(nèi)的氣體耗盡或者壓力不足以使用，這就需要更換鋼瓶，對于易燃易爆、有毒等特殊氣體，首先需要進(jìn)入清掃エ藝，即關(guān)閉鋼瓶閥門，抽取利用抽真空管路63抽出供氣管路61中殘存的特殊氣體，抽真空管路63通過抽真空裝置實(shí)現(xiàn)抽真空，特殊氣體被抽至廢氣處理場所，再利用稀釋氣體管路62通入氮?dú)庀♂屘厥鈿怏w，再抽取，以此反復(fù)數(shù)次以清掃供氣管路61中殘存的特殊氣體。在清掃完畢后，松開鋼瓶管接頭2上的緊固部23與鋼瓶接ロ I上的連接結(jié)構(gòu)11的連接，然后利用吹掃管路64為吹掃通孔26供氣，吹掃管路64與供氣裝置相連，吹掃管路64 —般提供氮?dú)膺@種穩(wěn)定無污染的氣體，當(dāng)然類似的氣體也可以。吹掃管路64可以直接與各個吹掃本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
高純安全特氣柜系統(tǒng)，包括特氣柜、設(shè)置在特氣柜內(nèi)的特氣系統(tǒng)，所述特氣系統(tǒng)包括鋼瓶（5）和管路系統(tǒng)，所述管路系統(tǒng)包括供氣管路（61）、稀釋氣體管路（62）以及抽真空管路（63），所述供氣管路（61）上設(shè)置有鋼瓶管接頭（2），所述供氣管路（61）通過鋼瓶管接頭（2）與所述鋼瓶（5）相連，所述稀釋氣體管路（62）和抽真空管路（63）均連在所述供氣管路（61）上，其特征在于：還包括吹掃管路（64），所述鋼瓶管接頭（2）包括氣體通道（21）、依次設(shè)置的密封接口部（22）、緊固部（23）和進(jìn)氣部（25），還包括吹掃部（24），所述吹掃部（24）上設(shè)置有吹掃通孔（26），所述吹掃通孔（26）的出口朝向所述密封接口部（22）的外壁，所述吹掃管路（64）與所述吹掃通孔（26）相連通。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鐘廷志，鄒克，
申請(專利權(quán))人：成都愛德工程有限公司，鐘廷志，
類型：發(fā)明
國別省市：
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