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    脈沖功率晶閘管制造技術(shù)

    技術(shù)編號:8149900 閱讀:214 留言:0更新日期:2012-12-28 21:17
    本實(shí)用新型專利技術(shù)的名稱為脈沖功率晶閘管。屬于功率半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域。它主要是解決現(xiàn)有普通晶閘管不能適應(yīng)大功率脈沖電源應(yīng)用要求,而傳統(tǒng)脈沖功率器件易衰退、可靠性低、成本高或技術(shù)難度太高。它的主要特征是:包括管殼和封裝在該管殼內(nèi)的PNPN四層三端結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體芯片,四層為P1陽極區(qū)、N1長基區(qū)、P2短基區(qū)和N2陰極區(qū),三個(gè)端子分別為陽極A、陰極K和門極G;所述的N2陰極區(qū)位于以P2短基區(qū)中心為圓心的圓環(huán)形區(qū)域內(nèi),且在N2陰極區(qū)內(nèi)形成相互隔離的陰極小元胞,該各陰極小元胞并聯(lián)形成陰極K;門極G位于N2陰極區(qū)的中心處。本實(shí)用新型專利技術(shù)具有簡單、易用、低廉、可靠、良好的脈沖電流輸出能力和較高的di/dt能力的特點(diǎn);主要用于高功率脈沖電源。(*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期,可自由使用*)

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本技術(shù)屬于功率半導(dǎo)體器件
    具體涉及一種半導(dǎo)體開關(guān)器件,主要應(yīng)用于大功率脈沖電源裝置。
    技術(shù)介紹
    晶閘管為四層三端結(jié)構(gòu)。在門極和陰極間施加mA級的觸發(fā)電流,可控制電流的開通,并通過反向換流技術(shù)實(shí)現(xiàn)關(guān)斷。其特點(diǎn)是輸出功率大、電壓高、可靠性較高、成本較低。由于工藝簡單,晶閘管適應(yīng)的工作頻率通常在IkHz以下,di/dt不超過1500A/^S。當(dāng)前晶閘管最大平均通態(tài)電流可達(dá)5000A,其浪涌電流一般不超過80kA。大功率脈沖電源通常要求的脈沖寬度大都在30(^S以下,輸出電流為幾十甚至數(shù)百kA,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過晶閘管所能承受的浪涌電流極限。因此對開關(guān)器件的通態(tài)電流能力要求很高。相應(yīng)要求di/dt也很高,不同應(yīng)用場合其di/dt要求一般為5飛OkA/^S。現(xiàn)代技術(shù)條件下,通常可選用氣體間隙開關(guān)、汞閘流管、IGBT、IGCT、MosFET、RSD等器件作為脈沖功率開關(guān)器件。下表一是一些常用脈沖功率開關(guān)器件的特性比較權(quán)利要求1.一種脈沖功率晶閘管,屬于大功率半導(dǎo)體開關(guān)器件,包括管殼和封裝在該管殼內(nèi)的PNPN四層三端結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體芯片,四層為Pl陽極區(qū)、NI長基區(qū)、P2短基區(qū)和N2陰極區(qū),三個(gè)端子分別為陽極A、陰極K和門極G,其特征是所述的N2陰極區(qū)位于以P2短基區(qū)中心為圓心的圓環(huán)形區(qū)域內(nèi),且在N2陰極區(qū)內(nèi)形成相互隔離的陰極小元胞,該各陰極小元胞并聯(lián)形成陰極K ;門極G位于N2陰極區(qū)的中心處。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的脈沖功率晶閘管,其特征在于所述的陰極小元胞的形狀和尺寸是相同的,在N2陰極區(qū)內(nèi)表面均勻排列。3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的脈沖功率晶閘管,其特征在于所述的陰極小元胞在N2陰極區(qū)內(nèi)表面呈同心圓分層排列。4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的脈沖功率晶閘管,其特征在于所述的各陰極小元胞是通過挖槽刻蝕芯片表面PN結(jié)成形的。5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的脈沖功率晶閘管,其特征在于所述的芯片陽極區(qū)Pl的雜質(zhì)濃度高于P2區(qū),Pl區(qū)的結(jié)深比P2區(qū)淺。專利摘要本技術(shù)的名稱為脈沖功率晶閘管。屬于功率半導(dǎo)體器件
    它主要是解決現(xiàn)有普通晶閘管不能適應(yīng)大功率脈沖電源應(yīng)用要求,而傳統(tǒng)脈沖功率器件易衰退、可靠性低、成本高或技術(shù)難度太高。它的主要特征是包括管殼和封裝在該管殼內(nèi)的PNPN四層三端結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體芯片,四層為P1陽極區(qū)、N1長基區(qū)、P2短基區(qū)和N2陰極區(qū),三個(gè)端子分別為陽極A、陰極K和門極G;所述的N2陰極區(qū)位于以P2短基區(qū)中心為圓心的圓環(huán)形區(qū)域內(nèi),且在N2陰極區(qū)內(nèi)形成相互隔離的陰極小元胞,該各陰極小元胞并聯(lián)形成陰極K;門極G位于N2陰極區(qū)的中心處。本技術(shù)具有簡單、易用、低廉、可靠、良好的脈沖電流輸出能力和較高的di/dt能力的特點(diǎn);主要用于高功率脈沖電源。文檔編號H01L29/08GK202633316SQ20122017024公開日2012年12月26日 申請日期2012年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月20日專利技術(shù)者顏家圣, 張橋, 劉小俐, 肖彥, 吳擁軍 申請人:湖北臺基半導(dǎo)體股份有限公司本文檔來自技高網(wǎng)
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    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
    一種脈沖功率晶閘管,屬于大功率半導(dǎo)體開關(guān)器件,包括管殼和封裝在該管殼內(nèi)的PNPN四層三端結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體芯片,四層為P1陽極區(qū)、N1長基區(qū)、P2短基區(qū)和N2陰極區(qū),三個(gè)端子分別為陽極A、陰極K和門極G,其特征是:所述的N2陰極區(qū)位于以P2短基區(qū)中心為圓心的圓環(huán)形區(qū)域內(nèi),且在N2陰極區(qū)內(nèi)形成相互隔離的陰極小元胞,該各陰極小元胞并聯(lián)形成陰極K;門極G位于N2陰極區(qū)的中心處。

    【技術(shù)特征摘要】

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:顏家圣張橋劉小俐肖彥吳擁軍
    申請(專利權(quán))人:湖北臺基半導(dǎo)體股份有限公司
    類型:實(shí)用新型
    國別省市:

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