平面擺式干涉儀制造技術

平面擺式干涉儀，包括光源，光源后的光路上依次設有將光源發出的光準直為平行光的第一準直鏡，以及將平行光分成兩束光的分束器，兩束光一束為反射光，另一束為透射光，于分束器一側的反射光的光路上，依次設有將反射光反射到第一角鏡的第一平面鏡，以及將反射光原路反射回分束器的第一角鏡，于分束器另一側的透射光的光路上，依次設有將透射光反射到第二角鏡的第二平面鏡，以及將透射光原路反射回分束器的第二角鏡，第一角鏡和第二角鏡之間設有能夠轉動的扭曲軸承，使第一角鏡和第二角鏡擺動產生光程差，于分束器另一側形成干涉光，分束器另一側設有將干涉光匯聚到探測器的焦點上的第二準直鏡。本實用新型專利技術光學效率相對提高1.33倍，穩定性好。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種紅外光譜測試儀器，它可在實驗室及現場環境中使用，用于樣品的紅外光譜分析。由于其體積小、質量輕、結構緊湊更適合移動到現場。
技術介紹
傅立葉變換紅外光譜儀是把紅外光通過干涉儀調制成干涉光，再把干涉光通過傅立葉變換轉化成光譜。儀器的核心是干涉儀，干涉儀性能的優良決定儀器的優劣，國內生產傅立葉變換紅外光譜儀的廠家很少，國外生產傅立葉變換紅外光譜儀的公司也不是很多。各家公司的干涉儀都各不相同，但都是在邁克爾遜干涉儀的基礎上的變形。構成干涉儀的動鏡和定鏡大都采用平面鏡或角鏡，通過移動平面鏡或角鏡改變光程差，而形成干涉圖。移動平面鏡或者角鏡的方式有兩種，一種是平行移動，一種是轉動。但現有的干涉儀體積和質量較大，搬動不便，外界因素容易影響儀器的干涉度，穩定性不夠。
技術實現思路
本技術提供一種平面擺式干涉儀，以解決
技術介紹
中存在的技術問題。為此，本技術的一種平面擺式干涉儀，包括光源，所述光源后的光路上依次設有將光源發出的光準直為平行光的第一準直鏡，以及將所述平行光分成兩束光的分束器，所述兩束光一束為反射光，另一束為透射光，于所述分束器一側的所述反射光的光路上，依次設有將所述反射光反射到第一角鏡的第一平面鏡，以及將所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角鏡，于所述分束器另一側的所述透射光的光路上，依次設有將所述透射光反射到第二角鏡的第二平面鏡，以及將所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角鏡，所述第一角鏡和第二角鏡之間設有能夠轉動的扭曲軸承，使所述第一角鏡和第二角鏡擺動產生光程差，于所述分束器另一側形成干涉光，所述分束器另一側設有將所述干涉光匯聚到探測器的焦點上的第二準直鏡。其中，所述平行光以20°入射角進入所述分束器。其中，所述扭曲軸承通過電磁驅動音圈帶動。其中，所述第一平面鏡、第二平面鏡、第一角鏡、第二角鏡和分束器均固定到一個干涉儀架上。其中，所述第一平面鏡和第二平面鏡其中之一為固定式，另一平面鏡為能夠平行移動。其中，所述第一平面鏡和第二平面鏡均能夠平行移動。其中，所述第一平面鏡和第二平面鏡外形為圓形、長方形或橢圓形。其中，所述第一平面鏡和第二平面鏡材質為石英玻璃。其中，所述第一平面鏡和第二平面鏡的光學反射鏡面鍍金。由于采用了角反射鏡，這樣就降低了外界因素對儀器干涉度的影響，顯著提高了儀器的穩定性。本技術采用入射到分束器的光束入射角為20°和傳統的邁克爾遜干涉儀45°入射角相比，光學效率相對提高1.33倍(C0S20° /COS45。)。本技術的分束器、平面鏡、角鏡都在一個干涉儀架上，使得干涉儀非常緊湊、體積很小。環境適應性增強，穩定性好。本技術平面鏡外形設計為圓形、長方形或橢圓形，提高材料的使用效率，材質采用石英玻璃表面鍍金，提高光學反射效率。附圖說明圖I是本技術的結構示意圖。 附圖標記說明I-光源；2_第一準直鏡；3_第一平面鏡；4_分束器；5_第二平面鏡；6_扭曲軸承；7-第二角鏡；8_第二準直鏡；9_探測器；10_干涉儀架；11_音圈；12_第一角鏡。具體實施方式為了使本技術的形狀、構造以及特點能夠更好地被理解，以下將列舉較佳實施例并結合附圖進行詳細說明。本技術包括光源1，光源I發出的光經過第一準直鏡2后成為一束平行光，平行光以20°角進入分束器4后分成兩束,一束為反射光,另一束為透射光。反射光被經第一平面鏡3反射到第一角鏡12，然后反射回第一平面鏡3，再返回分束器4。透射光經第二平面鏡5反射到第二角鏡7，然后反射回第二平面鏡5，再返回分束器4。角鏡12和7之間設有扭曲軸承6，通過電磁驅動音圈11運動再帶動扭曲軸承6轉動，而使兩個角鏡12和7擺動產生光程差，使返回所述分束器4的反射光和透射光形成干涉光。干涉光經過第二準直鏡8匯聚到探測器9的焦點上。所述平面鏡3、5，角鏡7、12，分束器4均固定到一個干涉儀架10上，結構緊湊、體積小、重量輕。平面鏡3和5可以設置為一邊平面鏡為固定式，另一邊平面鏡能夠調整，通過平行移動調整平面鏡的位置，來調整光程差；也可設計成兩邊都可平行移動來調整的平面鏡結構；也可設計成一邊平面鏡為固定式，另一邊調整后然后固定的方式。平面鏡3和5外形為圓形、長方形或橢圓形，材質為石英玻璃，光學反射鏡面鍍金。由于光以20°角進入到分束器，光學效率是傳統的邁克爾遜干涉儀的I. 33倍。另外這種干涉儀由于采用了角鏡使儀器的抗干擾能力穩定性得到了加強。穩定性得到提升。以上對本技術的描述是說明性的，而非限制性的，本專業技術人員理解，在權利要求限定的精神與范圍之內可對其進行許多修改、變化或等效，但是它們都將落入本技術的保護范圍內。權利要求1.一種平面擺式干涉儀，其特征在于，包括光源，所述光源后的光路上依次設有將光源發出的光準直為平行光的第一準直鏡，以及將所述平行光分成兩束光的分束器，所述兩束光一束為反射光，另一束為透射光， 于所述分束器一側的所述反射光的光路上，依次設有將所述反射光反射到第一角鏡的第一平面鏡，以及將所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角鏡， 于所述分束器另一側的所述透射光的光路上，依次設有將所述透射光反射到第二角鏡的第二平面鏡，以及將所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角鏡， 所述第一角鏡和第二角鏡之間設有能夠轉動的扭曲軸承，使所述第一角鏡和第二角鏡擺動產生光程差，反射回所述分束器的反射光與透射光于所述分束器另一側形成干涉光，所述分束器另一側設有將所述干涉光匯聚到探測器的焦點上的第二準直鏡。2.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述平行光以20°入射角進入所述分束器。3.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述扭曲軸承通過電磁驅動音圈帶動。4.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡、第二平面鏡、第一角鏡、第二角鏡和分束器均固定到一個干涉儀架上。5.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡和第二平面鏡其中之一為固定式，另一平面鏡為能夠平行移動。6.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡和第二平面鏡均能夠平行移動。7.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡和第二平面鏡外形為圓形、長方形或橢圓形。8.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡和第二平面鏡材質為石英玻璃。9.如權利要求I所述的平面擺式干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡和第二平面鏡的光學反射鏡面鍍金。專利摘要平面擺式干涉儀，包括光源，光源后的光路上依次設有將光源發出的光準直為平行光的第一準直鏡，以及將平行光分成兩束光的分束器，兩束光一束為反射光，另一束為透射光，于分束器一側的反射光的光路上，依次設有將反射光反射到第一角鏡的第一平面鏡，以及將反射光原路反射回分束器的第一角鏡，于分束器另一側的透射光的光路上，依次設有將透射光反射到第二角鏡的第二平面鏡，以及將透射光原路反射回分束器的第二角鏡，第一角鏡和第二角鏡之間設有能夠轉動的扭曲軸承，使第一角鏡和第二角鏡擺動產生光程差，于分束器另一側形成干涉光，分束器另一側設有將干涉光匯聚到探測器的焦點上的第二準直鏡。本技術光學效率相對提高1.33倍，穩定性好。文檔編號G01J3/45本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種平面擺式干涉儀，其特征在于，包括光源，所述光源后的光路上依次設有將光源發出的光準直為平行光的第一準直鏡，以及將所述平行光分成兩束光的分束器，所述兩束光一束為反射光，另一束為透射光，于所述分束器一側的所述反射光的光路上，依次設有將所述反射光反射到第一角鏡的第一平面鏡，以及將所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角鏡，于所述分束器另一側的所述透射光的光路上，依次設有將所述透射光反射到第二角鏡的第二平面鏡，以及將所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角鏡，所述第一角鏡和第二角鏡之間設有能夠轉動的扭曲軸承，使所述第一角鏡和第二角鏡擺動產生光程差，反射回所述分束器的反射光與透射光于所述分束器另一側形成干涉光，所述分束器另一側設有將所述干涉光匯聚到探測器的焦點上的第二準直鏡。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：高學軍，龔蓉曄，王百華，劉志國，楊海山，武惠忠，彭海英，王文智，
申請(專利權)人：北京瑞利分析儀器有限公司，
類型：實用新型
國別省市：