玻璃基板保持用膜體及玻璃基板的研磨方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片(34)將自吸附型片(32)粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述雙面膠粘片由片狀基材(38)和設(shè)置在該基材的兩面上的粘合層(40、42)構(gòu)成，所述粘合層以在所述基材的同一面內(nèi)各自形成預(yù)定間隙(B””、B””)的方式設(shè)置，并且設(shè)置在所述基材的兩面上的粘合層之間的間隙在粘合層的層疊方向上不重合。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及用于在加工玻璃基板時(shí)保持玻璃基板的。
技術(shù)介紹
對(duì)于應(yīng)用于液晶顯示器用途的玻璃基板而言，其表面的微小凹凸或起伏會(huì)導(dǎo)致圖像產(chǎn)生變形，因此，使用研磨裝置來除去該微小凹凸或起伏。作為這種研磨裝置，本申請(qǐng)人在專利文獻(xiàn)I中公開了ー種研磨裝置，其中，通過將保持在研磨頭上的玻璃基板推壓到粘貼在研磨平臺(tái)上的研磨墊上并且使研磨平臺(tái)和研磨頭進(jìn)行相對(duì)旋轉(zhuǎn)而對(duì)玻璃基板進(jìn)行研磨。另外，專利文獻(xiàn)I的研磨裝置中，通過使玻璃基板吸附保持于安裝在研磨頭上的自吸附型保持用膜體上而將玻璃基板安裝到研磨頭上。 近來，隨著液晶顯示器用玻璃基板的大型化，用于使該玻璃基板吸附保持在研磨頭上的保持用膜體的尺寸也正在大型化。該保持用膜體通過借助雙面膠粘片將多孔性自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持在該自吸附型片上。對(duì)稱為GlO的尺寸(3130mmX2880mm)的母玻璃基板進(jìn)行研磨加工時(shí)，在用于保持該尺寸的玻璃基板的保持用膜體的制造中，對(duì)于自吸附型片和背板而言，能夠使用現(xiàn)有的制造設(shè)備來制造尺寸與其對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品。但是，用于將自吸附型片膠粘到背板上的雙面膠粘片無法使用現(xiàn)有的制造設(shè)備制造成單個(gè)產(chǎn)品，制造時(shí)需要新型設(shè)備投資，因而存在制造成本増大的問題。雙面膠粘片具備在聚對(duì)苯ニ甲酸こニ醇酯等基材的兩面上涂布有膠粘劑的粘合層。對(duì)于上述基材而言，也能夠使用現(xiàn)有的制造設(shè)備來制造上述GlO尺寸的產(chǎn)品。但是，由于涂布面積過大，因此使用現(xiàn)有設(shè)備無法應(yīng)對(duì)膠粘劑的涂布裝置的要求。因此，以往使用至少兩片現(xiàn)有尺寸的雙面膠粘片將自吸附型片膠粘保持于背板上。作為自吸附型片，如專利文獻(xiàn)2所示，可以例示作為由聚氨酯樹脂形成的軟質(zhì)塑料片的聚氨酯片。專利文獻(xiàn)2的聚氨酯片是通過在其表面層上形成多微孔、并且在表面層中含有水等液體從而利用滲入到表面層的多微孔中的液體的表面張カ將研磨墊膠粘到研磨平臺(tái)上的聚氨酯片。但利用該聚氨酯片也能夠使玻璃基板進(jìn)行自吸附保持，因此，將其作為自吸附型片使用。另外，在使用多片雙面膠粘片的現(xiàn)有的保持用膜體中，難以使相鄰的雙面膠粘片的端部彼此以無間隙的方式進(jìn)行粘貼。圖8示出了借助兩片雙面膠粘片2A、2B將自吸附型片I貼合在背板3上并且玻璃基板G吸附保持在自吸附型片I上的保持用膜體6的截面圖。為了使相鄰的雙面膠粘片2A、2B的端部彼此以無間隙的方式進(jìn)行粘貼而使雙面膠粘片2A、2B的端部以彼此稍稍重疊的方式進(jìn)行膠粘吋，該重疊的部分會(huì)形成凸?fàn)?，該凸?fàn)罱?jīng)由自吸附型片I轉(zhuǎn)印到玻璃基板G上而形成凸?fàn)畈?。在轉(zhuǎn)印有凸?fàn)畈?的狀態(tài)下對(duì)玻璃基板G進(jìn)行研磨吋，如圖9所示，研磨后的玻璃基板G的形成有該凸?fàn)畈?的部分會(huì)相反地表現(xiàn)為凹狀部4A，因此，存在加工表面的平坦性受損、玻璃基板G的質(zhì)量(平坦度)降低的問題。為了解決以上的問題，為了將大型玻璃基板研磨至期望的平坦度，如圖10所示，需要使保持用膜體6具有厚度方向的間隙(A)和表面方向的間隙(B)。作為具有間隙(A、B)的保持用膜體，想到了下述構(gòu)成的保持用膜體。如圖11所示，以在同一面內(nèi)形成預(yù)定間隙(A’、B’ )的方式使用多片小尺寸的保持用膜體6、6，由此得到大尺寸的保持用膜體7。如圖12所示，將自吸附型片I作為單個(gè)產(chǎn)品并且以在同一面內(nèi)形成預(yù)定間隙(A”、B”)的方式使用多片雙面膠粘片2C、2D，由此得到大尺寸的保持用膜體8。如圖13所示，將自吸附型片I作為單個(gè)產(chǎn)品并且以在同一面內(nèi)形成預(yù)定間隙 的方式使用多片雙面膠粘片2E、2F，并且形成如下構(gòu)成在將兩片雙面膠粘片重疊的同時(shí)使上下兩片各雙面膠粘片2E、2F之間的間隙(A”’、B”’ )在雙面膠粘片的層疊方向上不重合，由此得到大尺寸的保持用膜體9。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2004-122351號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2007-7824號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
專利技術(shù)所要解決的問題但是，圖11所示的保持用膜體7中，鑒于制作誤差而難以縮小間隙(B’ )。因此，保持用膜體7中存在與保持用膜體7的厚度相應(yīng)大小的間隙(A’ )和間隙(B’)，因此，如圖14所示在與該間隙(A’、B’ )的位置對(duì)應(yīng)的玻璃基板上出現(xiàn)較大的凸?fàn)畈?B。因此，該保持用膜體7難以提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。另外，圖12所示的保持用膜體8的間隙(A”)與圖11所示的保持用膜體7的間隙(A’ )相比，存在與自吸附型片I的厚度對(duì)應(yīng)程度的減小，而鑒于制作誤差仍難以減小間隙(B”)。另外，由于研磨時(shí)玻璃基板與研磨墊的摩擦阻力，使自吸附型片I在表面方向上延伸，因此使間隙(B”)増大。因此，對(duì)于該保持用膜體8而言，也會(huì)在玻璃基板上出現(xiàn)較大的上述凸?fàn)畈?B(參考圖14)，因此，難以提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。圖13所示的保持用膜體9能夠利用兩片重疊配置的雙面膠粘片2E、2F的各基材2G、2H的強(qiáng)度而將自吸附型片I在表面方向上的延伸抑制到小于圖12所示的保持用膜體8的延伸。但是，如圖13所示將雙面膠粘片2E、2F兩片重疊時(shí)，兩個(gè)間隙(A”’ )的相加值達(dá)到圖12的保持用膜體的間隙(A”)的2倍，另外，鑒于制作誤差也難以縮小間隙(B”’)。因此，該保持用膜體9也難以提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。本專利技術(shù)鑒于上述情況而完成，其目的在于提供能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量的。用于解決問題的手段本專利技術(shù)提供ー種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述雙面膠粘片由片狀基材和設(shè)置在該基材的兩面上的粘合層構(gòu)成，上述粘合層以在上述基材的同一面內(nèi)形成預(yù)定間隙的方式設(shè)置，并且設(shè)置在上述基材的兩面上的粘合層之間的間隙在粘合層的層疊方向上不重合。根據(jù)本專利技術(shù)的保持用膜體，能夠利用與自吸附型片相同尺寸的雙面膠粘片的基材來抑制研磨加工時(shí)自吸附型片在表面方向上的延伸。另外，本專利技術(shù)的保持用膜體的間隙(B””’)與前述的圖12、圖13的保持用膜體8、9的間隙大致相同。但是，本專利技術(shù)的保持用膜體的間隙(A””’ )與設(shè)置在基材的兩面上的粘合層的厚度相當(dāng)，因此，與圖11 圖13的保持用膜體7、的間隙(Α’Γ(Α”’)相比大幅減小。因此，根據(jù)本專利技術(shù)的保持用膜體，與保持用膜體7、相比，能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。由這種保持用膜體保持而進(jìn)行研磨的玻璃基板，由于在上述間隙被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下進(jìn)行研磨而在其表面上形成凸?fàn)畈俊５?，根?jù)本專利技術(shù)的保持用膜體，由于設(shè)置在上述基材的兩面上的粘合層之間的上述間隙在粘合層的層疊方向上不重合，因此，能夠抑制間隙所致的轉(zhuǎn)印量。因此，根據(jù)本專利技術(shù)，能夠?qū)⑿纬稍诓ＡЩ宓谋砻嫔系耐範(fàn)畈康母叨纫种圃谳^低水平，因此，能夠更進(jìn)一步地提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。 本專利技術(shù)以用于吸附保持大型玻璃基板的保持用膜體作為對(duì)象。因此，本專利技術(shù)的一片自吸附型片和雙面膠粘片的基材的尺寸可以應(yīng)對(duì)大型玻璃基板的尺寸。另外，雙面膠粘片的粘合層的尺寸為現(xiàn)有涂布裝置所能涂布的最大尺寸以下。另外，根據(jù)本專利技術(shù)，優(yōu)選上述玻璃基板的尺寸為3130 (mm) X2880 (mm)以上。S卩，本專利技術(shù)的保持用膜體可保持尺寸為稱為GlO尺寸的尺寸以上的玻璃基板，從而對(duì)該玻璃基板進(jìn)行研磨。另外，根據(jù)本專利技術(shù)，優(yōu)選上述保持用膜體的尺寸為3200(mm)X3000(mm)以上。為了保持上述GlO尺寸以上的玻璃基板，優(yōu)選本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來華專利技術(shù)】2010.03.30 JP 2010-0779341.一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述雙面膠粘片由片狀基材和設(shè)置在該基材的兩面上的粘合層構(gòu)成， 所述粘合層以在所述基材的同一面內(nèi)各自形成預(yù)定間隙的方式設(shè)置，并且 設(shè)置在所述基材的兩面上的粘合層之間的間隙在粘合...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：古田充，橫田稔，笹森孝，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：旭硝子株式會(huì)社，富士紡控股株式會(huì)社，
類型：
國(guó)別省市：