【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種連續式水平濺鍍機傳輸機構。
技術介紹
連續式水平濺鍍機是一種在高真空條件下，利用氣體放電產生的荷能離子在電場的作用下高速轟擊陰極靶材，使靶材原子和分子逸出而沉積到基片上形成薄膜的機器，傳輸馬達帶動鏈條轉動從而帶動傳輸導輪使載盤前進的傳輸方式被廣泛應用，如圖I和圖2所示，目前連續式水平濺鍍機所使用的這種傳輸方式，在長時間的傳輸過程中經常會出現傳輸載盤傳動受阻和卡在兩側側面導向軸承之間的設備故障，造成生產停止，使維護成本提高，如果不能及時處理，會浪費大量的人力和物力，最終造成生產成本的提高
技術實現思路
目的為了克服現有技術中存在的不足，解決現有技術中正常生產時載盤在傳輸過程中發生跑偏而卡住載盤而使生產停止的問題，本專利技術提供一種連續式水平濺鍍機傳輸機構，使用方便，結構簡單，成本低，能有效的降低濺鍍腔的傳動故障率，提高了機臺的稼動率并節約了大量的勞動力與生產成本。技術方案為解決上述技術問題，本專利技術采用的技術方案為一種連續式水平濺鍍機傳輸機構，包括傳輸馬達、側面導向軸承、傳輸膠輪、傳輸鏈條、傳輸主軸、傳輸支架和傳輸載盤，其特征在于所述連續式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承和維持傳輸載盤在固定的軌道上傳輸的側面導向支撐，所述側面導向支撐為內空結構，側面導向軸承安裝在所述側面導向支撐內部外露部分外徑。所述側面導向支撐為長條形結構，材質為不銹鋼。所述傳輸載盤的四個角為圓角。有益效果本專利技術提供的連續式水平濺鍍機傳輸機構，在傳輸側面增加側面導向支撐結構，側面導向軸承安裝在里面只露出小部分外徑大大減少了濺鍍粉塵進入側面導向軸...
【技術保護點】
連續式水平濺鍍機傳輸機構，包括傳輸馬達、側面導向軸承、傳輸膠輪、傳輸鏈條、傳輸主軸、傳輸支架和傳輸載盤，其特征在于:所述連續式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承和維持傳輸載盤在固定的軌道上傳輸的側面導向支撐，所述側面導向支撐為內空結構，側面導向軸承安裝在所述側面導向支撐內部外露部分外徑。
【技術特征摘要】
1.連續式水平濺鍍機傳輸機構，包括傳輸馬達、側面導向軸承、傳輸膠輪、傳輸鏈條、傳輸主軸、傳輸支架和傳輸載盤，其特征在于所述連續式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承和維持傳輸載盤在固定的軌道上傳輸的側面導向支撐，所述側面導向支撐為內空...
【專利技術屬性】
技術研發人員：黃國興，費文池，王光華，姜建峰，
申請(專利權)人：赫得納米科技昆山有限公司，
類型：發明
國別省市：
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