螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法制造方法及圖紙

一種螺旋涂敷裝置，具有工作臺、旋轉機構、涂敷噴嘴、移動機構部、噴嘴位置檢測部以及位置調整部。工作臺具有載置涂敷對象物的載置面。旋轉機構使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉方向上旋轉。涂敷噴嘴對工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷。移動機構部使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并使上述工作臺和上述涂敷噴嘴能夠在上述旋轉的軸方向上相對移動。噴嘴位置檢測部檢測上述旋轉的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息。位置調整部根據上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調整。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術的實施方式涉及，例如涉及在涂敷對象物上涂敷材料而形成涂敷膜的。
技術介紹
在半導體等領域中，作為在基板上形成圓形狀的膜的方法，有螺旋涂敷方法。該螺旋涂敷方法中，在圓形狀的旋轉工作臺上固定圓盤狀的基板，將涂敷噴嘴的噴出面與基板表面的距離(間隙)保持為規定的值，使該旋轉工作臺旋轉，ー邊用可控制流量的定量泵從涂敷噴嘴噴出材料，ー邊使該涂敷噴嘴從基板中央向基板外周直線狀移動，通過描繪螺旋 狀(漩渦狀)的涂敷軌跡來在基板的整個面上形成膜。基于螺旋涂敷的涂敷裝置以及涂敷方法中，例如用與噴嘴一體設置的位移測量定距基板表面的距離，以使測定出的距離成為預先設定的值的方式調整噴嘴的高度方向的位置，由此進行控制(間隙控制)以使得噴嘴前端與基板表面的距離保持為一定。存在例如由于噴嘴的移動的再現性、尺寸偏差、噴嘴的熱伸長等影響而導致噴嘴的噴出面的位置變化的情況，在這樣的情況下，通過上述的技術難以高精度地控制間隙。
技術實現思路
ー種螺旋涂敷裝置，具有工作臺、旋轉機構、涂敷噴嘴、移動機構部、噴嘴位置檢測部以及位置調整部。工作臺具有載置涂敷對象物的載置面。旋轉機構使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉方向上旋轉。涂敷噴嘴對工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷。移動機構部使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并使上述工作臺和上述涂敷噴嘴能夠在上述旋轉的軸方向上相對移動。噴嘴位置檢測部檢測上述旋轉的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息。位置調整部根據上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調整。根據本實施方式的，能夠實現高精度的間隙控制和聞精度下的定位。附圖說明圖I是表示第I實施方式的螺旋涂敷裝置的結構的概略說明圖。圖2是表示該實施方式的螺旋涂敷方法的控制順序的流程圖。圖3是表示該螺旋涂敷方法的工作臺位置檢測エ序的說明圖。圖4是表示該螺旋涂敷方法的工作臺位置檢測エ序的說明圖。圖5是表示該螺旋涂敷方法的噴嘴位置檢測エ序的說明圖。圖6是表示該螺旋涂敷方法的噴嘴位置檢測エ序的說明圖。圖7是表示第2實施方式的涂敷裝置的結構的概略說明圖。圖8是表示該涂敷裝置的控制步驟的流程圖。圖9是表示第3實施方式的涂敷裝置的結構的概略說明圖。圖10是表示該涂敷裝置的控制步驟的流程圖。具體實施例方式以下，參照圖f圖6說明本專利技術的ー實施方式的。各圖中箭頭χ、γ、ζ分別表示相互正交的三個方向。此外，在各圖中，為了便于說明，將結構適當擴大、縮小或省略地示出。圖I所示的螺旋涂敷裝置I具備載置作為涂敷對象物的基板W的工作臺2，使該工作臺2在水平面內旋轉的旋轉機構3，從前端向工作臺2上的基板W噴出材料而進行涂敷的涂敷噴嘴4，能夠使該涂敷噴嘴4和工作臺2在水平面方向(X軸)及高度方向(Ζ軸) 上相對移動的移動機構5 (移動機構部)，向涂敷噴嘴4供給涂敷材料的供給部7，線傳感器 (line sensor) 11 (位置檢測部)，位移傳感器12 (位置檢測部)，溫度檢測部13，以及對各部進行控制的控制部10 (位置調整部)。工作臺2例如形成為圓形狀，并構成為能夠通過旋轉機構3在水平面內旋轉。該工作臺2具備吸附所載置的基板W的吸附機構，通過該吸附機構將作為涂敷對象物的基板W固定并保持在工作臺2的載置面2a上。作為該吸附機構，例如可以采用空氣(air)吸附機構等。旋轉機構3是如下機構，即支撐工作臺2使其能夠在水平面內旋轉，以工作臺中心為旋轉中心、通過馬達等驅動源使工作臺2在水平面內旋轉。由此，在工作臺2上載置的基板W在水平面內旋轉。涂敷噴嘴4是噴出成為涂敷膜M的材料的噴嘴，在前端(底面)具有噴嘴面4a。該涂敷噴嘴4利用壓カ從其前端4a連續地噴出材料，使該材料涂敷于工作臺2上的基板W。該涂敷噴嘴4經由連通管8的通路而連接著供給材料的供給部7。供給部7具有貯存材料的供給箱、供給用泵、流量調整閥等。該供給部7通過控制部10而被控制，調整從涂敷噴嘴4噴出的材料噴出量。在涂敷處理時材料通過供給用泵的動作從供給箱供給到涂敷噴嘴4。連通管8例如由軟管(tube)或導管(pipe)構成，與涂敷噴嘴4及供給部7的供給箱內連通。在噴嘴4設有溫度檢測部13。溫度檢測部13例如設置在噴嘴4的側壁。溫度檢測部13是熱電偶等溫度傳感器，檢測噴嘴4的側壁溫度來測定噴嘴4的溫度，將溫度信息送到控制部10。移動機構5具備Z軸移動機構5a和X軸移動機構5b，Z軸移動機構5a支撐涂敷噴嘴4使其沿Z軸方向移動，X軸移動機構5b經由該Z軸移動機構5a支撐涂敷噴嘴4并使其沿X軸方向移動。該移動機構5使涂敷噴嘴4定位于工作臺2的上方，并使該涂敷噴嘴4對工作臺2相對移動。作為Z軸移動機構5a及X軸移動機構5b，例如可以采用以線性馬達作為驅動源的線性馬達移動機構和/或以馬達作為驅動源的進給螺桿(日本語送りネジ)移動機構等。在工作臺2的側方設置有作為位置檢測部的線傳感器11。線傳感器11例如具備投光部11a、受光部lib、朝向工作臺2水平地延伸且可上下移動地設置的位置檢測用板11c。線傳感器11，在使位置檢測用板Ilc上下運動而與工作臺2上表面抵接的狀態下，從投光部Ila照射光，根據經由位置檢測用板Ilc而由受光部Ilb接收的光的信息，取得位置檢測用板Ilc的位置信息，根據該位置信息，檢測工作臺2的以載置面2a為基準的Z方向上的位置信息(高度信息)并送到控制部10。此外，線傳感器11，在將噴嘴4設置在規定的測定對象范圍內的狀態下，從投光部Ila照射光，根據經由噴嘴4而由受光部Ilb接收的光的信息，取得噴嘴面4a在Z方向上的位置信息并送到控制部10。在移動機構5，設有涂敷噴嘴4和工作臺用位移傳感器12。通過移動機構5的動作，涂敷噴嘴4及工作臺用位移傳感器12都能夠沿X方向及Z方向移動。位移傳感器12是反射型激光傳感器等，利用Z軸移動機構5a和X軸移動機構5b沿X軸方向移動，通過光到達對置配置的工作臺2的載置面2a或調整用基板W2而后檢測其反射光，從而測定與工作臺2的載置面2a或調整用基板W2的間隔距離。由此，取得工作臺2的載置面2a或調整用基板W2在Z方向上的位置信息并送到控制部10。 控制部10具備對各部集中控制的微型計算機、以及存儲各種程序及各種信息等的存儲部。作為存儲部，可以采用存儲器、硬盤驅動器(HDD)等。 控制部10例如根據各種程序、各種信息(位置信息、溫度信息等)，進行運算處理而決定間隙值、修正值。此外，控制部10例如根據各種程序、各種信息(涂敷條件信息等)，控制旋轉機構3及移動機構5，作為在工作臺2上維持規定間隙而定位涂敷噴嘴4的位置調整部發揮功能。此外，控制部10使載置有基板W的工作臺2旋轉，ー邊使材料從涂敷噴嘴4的前端4a噴出，一邊使該涂敷噴嘴4從基板中央(或基板外周)向基板外周(或基板中央)直線狀地移動，通過描繪漩渦狀的涂敷軌跡來在基板的整個面上形成膜(螺旋涂敷)。以下，參照圖2說明涂敷裝置I的動作。首先，控制部10利用線傳感器11檢測エ作臺2的上表面的高度信息(ST1)。例如，如圖2、圖3所示，在使檢測用板Ilc在上下方向上移動而與工作臺2的上表面抵接的狀態下，從投光部IlA照射光，根據由受光部IlB檢測出的光的信息本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種螺旋涂敷裝置，其特征在于，具備：工作臺，具有載置涂敷對象物的載置面；旋轉機構，使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉方向上旋轉；涂敷噴嘴，對上述工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷；移動機構部，使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并且能夠使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在上述旋轉的軸方向上相對移動；噴嘴位置檢測部，檢測上述旋轉的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息；以及位置調整部，根據上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調整。

【技術特征摘要】
2011.06.20 JP 136354/20111.ー種螺旋涂敷裝置，其特征在于，具備 工作臺，具有載置涂敷對象物的載置面； 旋轉機構，使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉方向上旋轉； 涂敷噴嘴，對上述工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷； 移動機構部，使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并且能夠使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在上述旋轉的軸方向上相對移動； 噴嘴位置檢測部，檢測上述旋轉的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息；以及位置調整部，根據上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調整。2.如權利要求I所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 上述噴嘴位置檢測部具備設置于上述工作臺、測定到上述涂敷噴嘴的前端的位移的位移傳感器。3.如權利要求I所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 上述噴嘴位置檢測部具備設置于上述工作臺的側方、檢測上述涂敷噴嘴的前端在上述軸方向的位置的線傳感器。4.如權利要求3所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 具備工作臺位移傳感器，該工作臺位移傳感器與上述涂敷噴嘴一體地設置于上述移動機構部，與上述涂敷噴嘴一起移動，在與上述工作臺對置的狀態下測定距上述載置面的距離， 上述位置調整部根據上述噴嘴的位置信息、由上述移動機構部產生的上述噴嘴的移動的信息、以及由上述工作臺位移傳感器測定的距上述載置面的距離，進行上述位置調整。5.如權利要求4所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 該螺旋涂敷裝置還具備檢測上述噴嘴的溫度的溫度檢測部， 上述位置調整部根據上述噴嘴的溫度，算出上述噴嘴的熱伸長量，執行對上述噴嘴與上述載置面在高度方向的位置關系進行修正的修正處理。6.ー種螺旋涂敷裝置，其特征在于，具備 工作臺，具有載置涂敷對象物的載置面； 旋轉機構，使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉方向上旋轉； 涂敷噴嘴，對上述工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷； 移動機構，使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動； 溫度檢測部，檢測上述涂敷噴嘴的溫度；以及 位置調整部，根據上述涂敷噴嘴的溫度，算出上述噴嘴的熱伸長量，修正...

【專利技術屬性】
技術研發人員：大城健一，佐藤強，
申請(專利權)人：株式會社東芝，
類型：發明
國別省市：