【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種晶體硅太陽能電池PECVD工序板式鍍膜設(shè)備，具體涉及一種晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置。
技術(shù)介紹
太陽能作為一種清潔、可再生的能源，對它的利用一直被人們所關(guān)注。晶體硅太陽電池作為目前太陽能電池的主流，如何降低太陽能電池的成本，提高效率成為國內(nèi)外晶體硅太陽能電池研究的重點。在生產(chǎn)晶體硅太陽能電池的過程中， 硅片在鍍膜后疊放時鍍膜面存在著容易被氮化硅粉塵玷污，導(dǎo)致鍍膜面氮化硅粉塵難以清除的問題，不便于后序操作，增加了人力成本。
技術(shù)實現(xiàn)思路
技術(shù)目的本技術(shù)的目的是為了更好的解決鍍膜后硅片疊放時鍍膜面容易被粉塵玷污的問題，提供一種方便快捷的吹掃系統(tǒng)，便于后序操作，節(jié)約人力成本。技術(shù)方案本技術(shù)所述的一種晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，包括壓力調(diào)節(jié)閥、連接管路及風(fēng)刀，所述風(fēng)刀為中空結(jié)構(gòu)，且截面為梯形，所述連接管路的兩端分別和氣源及風(fēng)刀下底面的進氣口連接，所述壓力調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述連接管路上，所述風(fēng)刀的上底面均勻設(shè)置有若干吹掃氣孔，所述風(fēng)刀上底面的寬度與大于或等于待吹掃石墨載板的寬度。進一步，所述風(fēng)刀上底面的氣孔分為三排，各排均勻排布，氣孔直徑為O. 1cm，氣孔間隔為O. 3cm。進一步，所述風(fēng)刀的長度與待吹掃石墨載板的長度相等。進一步，所述風(fēng)刀的材質(zhì)為聚四氟乙烯。為了保證了氣體在傳輸過程不受到任何污染，所述連接管路為二分之一英寸不銹鋼管。本裝置在不改變原有設(shè)備和工藝的前提下，在設(shè)備出料腔后安裝風(fēng)刀，上述的風(fēng)刀采用壓縮空氣做氣源，直接放置于工藝腔尾部，待吹掃石墨載板出口正上方，氣孔吹掃方向與待吹掃石墨載板成45°夾角。...
【技術(shù)保護點】
一種晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，包括壓力調(diào)節(jié)閥（1）、連接管路（2）及風(fēng)刀（3），所述風(fēng)刀（3）為中空結(jié)構(gòu)，且截面為梯形，所述連接管路（2）的兩端分別和氣源（4）及所述風(fēng)刀（3）下底面的進氣口連接，所述壓力調(diào)節(jié)閥（1）設(shè)置在所述連接管路（2）上，所述風(fēng)刀（3）的上底面均勻設(shè)置有若干吹掃氣孔，所述風(fēng)刀（3）上底面的寬度大于或等于待吹掃石墨載板的寬度。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，包括壓カ調(diào)節(jié)閥(I)、連接管路(2)及風(fēng)刀(3)，所述風(fēng)刀(3)為中空結(jié)構(gòu)，且截面為梯形，所述連接管路(2)的兩端分別和氣源(4)及所述風(fēng)刀(3)下底面的進氣ロ連接，所述壓カ調(diào)節(jié)閥(I)設(shè)置在所述連接管路(2)上，所述風(fēng)刀(3)的上底面均勻設(shè)置有若干吹掃氣孔，所述風(fēng)刀(3)上底面的寬度大于或等于待吹掃石墨載板的寬度。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：胡俊濤，勾憲芳，姜利凱，王鵬，曹華斌，宋愛珍，
申請(專利權(quán))人：中節(jié)能太陽能科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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