一種設(shè)備包括：產(chǎn)生光束的光源、帶寬測量系統(tǒng)、多個帶寬致動系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)。每一個帶寬致動系統(tǒng)都包括一個或多個帶寬致動器，每一個帶寬致動系統(tǒng)都連接到以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的光束的光學(xué)特征，并可操作以修改所連接的光學(xué)特征以選擇所產(chǎn)生的光束的帶寬范圍內(nèi)的一帶寬。控制系統(tǒng)被連接到帶寬測量系統(tǒng)以及多個帶寬致動系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)被配置成基于所提供的帶寬測量值和所選的目標(biāo)帶寬，在激活并操作第一帶寬致動系統(tǒng)與激活并操作第二帶寬致動系統(tǒng)之間切換，激活并操作第二帶寬致動系統(tǒng)和激活并操作第一帶寬致動系統(tǒng)是獨(dú)立的且分開的。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
所公開的主題涉及用于控制激光帶寬的方法。
技術(shù)介紹
對諸如激光器之類的光源的帶寬的準(zhǔn)確了解在許多科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用中是重要的，諸如，例如，對于深紫外光(DUV)半導(dǎo)體光刻中的臨界尺寸控制，其中，當(dāng)襯底或晶片沿著光束的光軸軸向地移動時，通過由光源所產(chǎn)生的光束照射襯底或晶片。激光的帶寬是從激光器輸出的激光的強(qiáng)度譜的寬度，此寬度可以以激光的波長或頻率給出?？梢允褂蒙婕肮庠醋V的細(xì)節(jié)的任何合適的尺度或數(shù)學(xué)結(jié)構(gòu)來估計激光的帶寬。例如，可以使用在最大峰值強(qiáng)度的分?jǐn)?shù)(X)時的光譜全寬(被稱為FWXM)來估計激光帶寬。作為另一個示例，可以使用包含集成光譜強(qiáng)度的分?jǐn)?shù)(Y)的光譜寬度(被稱為EY)來估計激 光帶寬。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
在一個一般性的方面，一種方法包括產(chǎn)生光束；在第一帶寬范圍內(nèi)啟用對所產(chǎn)生的光束的帶寬的控制，包括啟用對第一帶寬致動系統(tǒng)的激活和控制，所述第一帶寬致動系統(tǒng)連接到第一光學(xué)特征，所述第一光學(xué)特征以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的光束；以及，在第二帶寬范圍內(nèi)啟用對所產(chǎn)生的光束的帶寬的控制，包括啟用對第二帶寬致動系統(tǒng)的激活和控制，所述第二帶寬致動系統(tǒng)連接到第二光學(xué)特征，所述第二光學(xué)特征以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的光束。第二帶寬范圍不同于第一帶寬范圍。各實(shí)現(xiàn)可包括下列特征中的一個或多個。例如，該方法也可以包括接收將所產(chǎn)生的光束的帶寬從第一帶寬范圍改變?yōu)榈诙挿秶恼埱?。該方法可包括響?yīng)于切換命令，在第一范圍內(nèi)的帶寬控制和第二范圍內(nèi)的帶寬控制之間進(jìn)行切換。該方法可包括在第一范圍內(nèi)的帶寬控制和第二范圍內(nèi)的帶寬控制之間進(jìn)行切換。該切換包括選擇第二目標(biāo)帶寬信息；將所述第一帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為第一固定狀態(tài)；將帶寬測量系統(tǒng)從第一配置切換到第二配置；當(dāng)在所述第二配置中進(jìn)行操作時，從所述帶寬測量系統(tǒng)接收測量到的帶寬信息；確定所述測量到的帶寬信息是否匹配于所述第二目標(biāo)帶寬信息；以及，激活所述第二帶寬致動系統(tǒng)，以使所述第二光學(xué)特征修改所產(chǎn)生的光束的帶寬，直到確定所述測量到的帶寬信息匹配于所述第二目標(biāo)帶寬信息為止。該方法可包括在將所述第一帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為所述第一固定狀態(tài)之前，存儲有關(guān)所述第一帶寬致動系統(tǒng)的一個或多個組件的狀態(tài)的信息。第一固定狀態(tài)可以是當(dāng)接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從第一帶寬范圍改變?yōu)榈诙挿秶恼埱髸r所述第一帶寬致動系統(tǒng)的狀態(tài)。第一固定狀態(tài)可以是根據(jù)當(dāng)接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從第一帶寬范圍改變?yōu)榈诙挿秶恼埱髸r所述第一帶寬致動系統(tǒng)的狀態(tài)的函數(shù)而確定的。該方法可包括控制所述第二帶寬致動系統(tǒng)，以降低所述測量到的帶寬信息和所述第二目標(biāo)帶寬信息之間的絕對誤差，直到接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第二帶寬范圍改變?yōu)樗龅谝粠挿秶恼埱鬄橹埂Ｔ摲椒砂ㄔ趯⑺鰩挏y量系統(tǒng)從所述第一配置切換到所述第二配置之后，以重置模式來控制所述第二帶寬致動系統(tǒng)。該方法可包括在接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第二帶寬范圍改變?yōu)樗龅谝粠挿秶鷷r，在所述第二范圍內(nèi)的帶寬控制與所述第一范圍內(nèi)的帶寬控制之間切換。切換包括選擇第一目標(biāo)帶寬信息；將所述第二帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為第二固定狀態(tài)；將所述帶寬測量系統(tǒng)從所述第二配置切換到所述第一配置；當(dāng)在所述第一配置中進(jìn)行操作時，從所述帶寬測量系統(tǒng)接收測量到的帶寬信息；確定所述測量到的帶寬信息是否匹配于所述第一目標(biāo)帶寬信息；以及激活所述第一帶寬致動系統(tǒng)，以使所述第一光學(xué)特征修改所產(chǎn)生的光束的所述帶寬，直到確定所述測量到的帶寬信息匹配于所述第一目標(biāo)帶寬信息為止。 第二固定狀態(tài)可以是當(dāng)接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第二帶寬范圍改變?yōu)樗龅谝粠挿秶恼埱髸r所述第二帶寬致動系統(tǒng)的所述狀態(tài)。第二固定狀態(tài)可以是在校準(zhǔn)期間預(yù)先確定的狀態(tài)。該方法也可以包括控制所述第一帶寬致動系統(tǒng)，以降低所述測量到的帶寬信息和所述第一目標(biāo)帶寬信息之間的絕對誤差，直到接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第一帶寬范圍改變?yōu)樗龅诙挿秶恼埱鬄橹?。該方法也可以包括向所述帶寬致動系統(tǒng)發(fā)送信號以返回到在將所述第一帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為所述第一固定狀態(tài)之前所存儲的狀態(tài)。該方法也可以包括在將所述帶寬測量系統(tǒng)從所述第二配置切換到所述第一配置之后，以重置模式來控制所述第一帶寬致動系統(tǒng)。該方法可包括在第一范圍內(nèi)的帶寬控制和第二范圍內(nèi)的帶寬控制之間進(jìn)行切換。在第一范圍內(nèi)的帶寬控制和第二范圍內(nèi)的帶寬控制之間進(jìn)行切換可包括將帶寬測量系統(tǒng)從第一配置切換到第二配置。將帶寬測量系統(tǒng)從第一配置切換到第二配置可包括從第一組校準(zhǔn)變量切換到第二組校準(zhǔn)變量。所述第一組校準(zhǔn)變量可以是預(yù)先確定的，并被配置成提供一度量，所述度量被調(diào)節(jié)以估計所述第一帶寬范圍上的帶寬；以及，所述第二組校準(zhǔn)變量是預(yù)先確定的，并被配置成提供一度量，所述度量被調(diào)節(jié)以估計所述第二帶寬范圍上的帶寬。光束可以通過產(chǎn)生激光束而產(chǎn)生。在另一一般性的方面，一種設(shè)備包括產(chǎn)生光束的光源；被配置成接收從所述光源輸出的光束的一部分并被配置成測量所述光束部分的帶寬并提供帶寬測量值的帶寬測量系統(tǒng)；多個帶寬致動系統(tǒng)，每一個帶寬致動系統(tǒng)都包括一個或多個帶寬致動器，并且每一個帶寬致動系統(tǒng)都連接到以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的光束的光學(xué)特征，并且每一個帶寬致動系統(tǒng)都可操作以修改所連接的光學(xué)特征以選擇所產(chǎn)生的光束的帶寬范圍內(nèi)的一帶寬；以及，連接到所述帶寬測量系統(tǒng)以及所述多個帶寬致動系統(tǒng)的控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)被配置成基于所提供的帶寬測量值和選定的目標(biāo)帶寬，在激活并操作第一帶寬致動系統(tǒng)與激活并操作第二帶寬致動系統(tǒng)之間切換，激活并操作第二帶寬致動系統(tǒng)是與激活并操作第一帶寬致動系統(tǒng)獨(dú)立地且分開地進(jìn)行的。各實(shí)現(xiàn)可包括下列特征中的一個或多個。例如，該設(shè)備也可以包括目標(biāo)帶寬選擇開關(guān)，該目標(biāo)帶寬選擇開關(guān)被配置成設(shè)置在目標(biāo)帶寬，所述目標(biāo)帶寬位于從多個不同的目標(biāo)帶寬范圍中選擇的目標(biāo)帶寬范圍之內(nèi)。該設(shè)備可包括接收所產(chǎn)生的光束的光刻設(shè)備。光源可包括激光源，光束可以是激光束。光學(xué)特征中的至少一個可包括色散元件。光學(xué)特征中的至少一個可包括光束擴(kuò)展器。在另--般的方面，控制脈沖激光光束的帶寬的方法包括產(chǎn)生脈沖激光光束；從帶寬測量系統(tǒng)接收所產(chǎn)生的激光束的測量到的帶寬信息；以及，基于所述接收到的測量到的帶寬信息，將所產(chǎn)生的激光束的帶寬控制在多個帶寬范圍內(nèi)，包括激活和控制多個帶寬致動系統(tǒng)，每一個帶寬致動系統(tǒng)都連接到以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的激光束的光學(xué)特征。多個范圍中的每一個帶寬范圍都不同于所述多個范圍中的每一個其他帶寬范圍。這樣的帶寬控制設(shè)備和方法可以被用來允許對較窄的帶寬(例如，在低于O. 5微 微米(Pm)的范圍內(nèi))和較寬的帶寬(例如，在O. 5和I. 7pm之間的范圍內(nèi))的激光帶寬進(jìn)行控制。附圖說明圖I是向諸如光刻機(jī)之類的設(shè)備提供輸入的光照系統(tǒng)的框圖；圖2是圖I的光照系統(tǒng)的帶寬選擇系統(tǒng)的框圖；圖3是可以被用于圖I的光照系統(tǒng)中的示例性光源的框圖；圖4是圖I的光照系統(tǒng)的控制系統(tǒng)所使用的控制方案的框圖；圖5是圖I的光照系統(tǒng)中所使用的控制系統(tǒng)的框圖；圖6是用于在圖I的光照系統(tǒng)中選擇帶寬的過程的流程圖；圖7是用于操作圖I的光照系統(tǒng)的第一帶寬致動系統(tǒng)的過程的流程圖；圖8是用于從圖I的光照系統(tǒng)的第一帶寬致動系統(tǒng)的主動控制切換到第二帶寬致動系統(tǒng)的過程的流程圖；圖9是用于操作圖I的光照系統(tǒng)的第二帶寬致動系統(tǒng)本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】2010.04.07 US 12/755,7721.ー種方法，包括產(chǎn)生光束；在第一帶寬范圍內(nèi)啟用對所產(chǎn)生的光束的帶寬的控制，包括啟用對第一帶寬致動系統(tǒng)的激活和控制，所述第一帶寬致動系統(tǒng)連接到以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的光束的第一光學(xué)特征；以及在第二帶寬范圍內(nèi)啟用對所產(chǎn)生的光束的帶寬的控制，包括啟用對第二帶寬致動系統(tǒng)的激活和控制，所述第二帶寬致動系統(tǒng)連接到以光學(xué)方式耦合到所產(chǎn)生的光束的第二光學(xué)特征；以及其中，所述第二帶寬范圍不同于所述第一帶寬范圍。2.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，還包括接收將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第一帶寬范圍改變?yōu)樗龅诙挿秶恼埱蟆?.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，還包括響應(yīng)于切換命令，在所述第一范圍內(nèi)的帶寬控制和所述第二范圍內(nèi)的帶寬控制之間進(jìn)行切換。4.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，還包括在所述第一范圍內(nèi)的帶寬控制和所述第二范圍內(nèi)的帶寬控制之間進(jìn)行切換，其中，所述切換包括選擇第二目標(biāo)帶寬信息；將所述第一帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為第一固定狀態(tài)；將帶寬測量系統(tǒng)從第一配置切換到第二配置；從所述帶寬測量系統(tǒng)接收測量到的帶寬信息；確定所述測量到的帶寬信息是否匹配于所述第二目標(biāo)帶寬信息；以及激活所述第二帶寬致動系統(tǒng)，以使所述第二光學(xué)特征修改所產(chǎn)生的光束的帶寬，直到確定所述測量到的帶寬信息匹配于所述第二目標(biāo)帶寬信息為止。5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在干，從所述帶寬測量系統(tǒng)接收測量到的帶寬信息包括當(dāng)在所述第二配置中進(jìn)行操作時接收所述測量到的帶寬信息。6.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在干，還包括在將所述第一帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為所述第一固定狀態(tài)之前，存儲與所述第一帶寬致動系統(tǒng)的一個或多個組件的所述狀態(tài)有關(guān)的信息。7.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一固定狀態(tài)是當(dāng)接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第一帶寬范圍改變?yōu)樗龅诙挿秶恼埱髸r所述第一帶寬致動系統(tǒng)的狀態(tài)。8.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一固定狀態(tài)是根據(jù)當(dāng)接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第一帶寬范圍改變?yōu)樗龅诙挿秶恼埱髸r所述第一帶寬致動系統(tǒng)的狀態(tài)的函數(shù)而確定的。9.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括控制所述第二帶寬致動系統(tǒng)，以降低測量到的帶寬信息和所述第二目標(biāo)帶寬信息之間的絕對誤差，直到接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第二帶寬范圍改變?yōu)樗龅谝粠挿秶恼埱鬄橹埂?0.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括在將所述帶寬測量系統(tǒng)從所述第一配置切換到所述第二配置之后，以重置模式控制所述第二帶寬致動系統(tǒng)。11.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括在接收到將所產(chǎn)生的光束的帶寬從所述第二帶寬范圍改變?yōu)樗龅谝粠挿秶恼埱髸r在所述第二范圍的帶寬控制與所述第一范圍內(nèi)的帶寬控制之間切換，切換包括 選擇第一目標(biāo)帶寬信息； 將所述第二帶寬致動系統(tǒng)設(shè)置為第二固定狀態(tài)； 將所述帶寬測量系統(tǒng)從所述第二配置切換到所述第一配置； 當(dāng)在所述第一配置中進(jìn)行操作吋，從所述帶寬測量系統(tǒng)接收測量到的帶寬信息；確定所述測量到的帶寬信息是否匹配于所述第一目標(biāo)帶寬信息；以及激活所述第一帶寬致動系統(tǒng)，以使所述第一光學(xué)特征修改所產(chǎn)生的光束的所述帶寬，直到確定測量到的帶寬信息匹配于所述第一目標(biāo)帶寬信息為止。12.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述第二固定狀態(tài)是當(dāng)接收到將所產(chǎn)生...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：K·M·奧布萊恩，F·B·特林特裘克，
申請(專利權(quán))人：西默股份有限公司，
類型：
國別省市：
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