帶有氣動驅(qū)動的多腔蠕動泵的水分析裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種水分析裝置(10)，該水分析裝置帶有氣動操縱的多腔室蠕動泵(18)。蠕動泵(18)具有基板(40)，在所述基板(40)的近側(cè)帶有多個近側(cè)開口的泵腔室(41-43)；在所述基板(40)的近側(cè)上封閉泵腔室(41-43)的、流體密封并且彈性的泵膜(46)，以及在所述泵膜(46)上的蓋板(48)，其中，所述蓋板(48)在各泵腔室(41-43)的區(qū)域中分別具有一個氣動的促動通道(51-53)，所述促動通道可為了操縱泵膜(46)而連接在過壓源(30)上。兩個泵腔室(41，42；42，43)之間設(shè)有分別一個連接通道(71，73)，所述連接通道在基板(40)的遠(yuǎn)側(cè)構(gòu)造為槽(70，72)，其中，在所述基板(40)的遠(yuǎn)側(cè)在連接通道-槽(70，72)的區(qū)域中設(shè)置單獨的槽覆蓋件(80)，該槽覆蓋件封閉所述連接通道-槽(70，72)遠(yuǎn)側(cè)的開口側(cè)。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】

【技術(shù)保護(hù)點】

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：A法杰姆，R尤思曼，K伯戈爾德，U倫德格林，B德海杰，
申請(專利權(quán))人：哈克蘭格有限責(zé)任公司，
類型：發(fā)明
國別省市：