上位控制裝置、下位控制裝置、畫面操作權授予方法及存儲了畫面操作權授予程序的存儲介質制造方法及圖紙

上位ＰＣ（１００）與控制多個ＰＭ或者ＴＭ的多個下位ＰＣ（２００）連接。上位ＰＣ（１００）根據來自下位ＰＣ（２００）的畫面的操作要求，判斷是否將操作權分配給提出要求的下位ＰＣ（２００）。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種控制在用于控制基板處理裝置或者輸送裝置的下 位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群的操作權的授予的上位控制 裝置、要求畫面的操作的下位控制裝置、畫面的操作權授予方法以及存 儲畫面操作權授予程序的存儲介質。
技術介紹
一直以來，提供如下系統，其通過在無塵室內設置對基板實施規定 的處理的多個基板處理裝置以及輸送基板的輸送裝置，并且，將控制多個基板處理裝置以及輸送裝置的下位PC ( Personal Computer:個人計 算機)分別設置在無塵室內的各裝置的附近，并且，在無塵室外設置上 位PC,上位PC與下位PC經由網絡交換信息，由此使用上位PC遙控 地控制基板處理。根據該系統，通過上位PC進行遙控操作，盡可能抑制人進出無塵室，由此可以將無塵室內的污染保持于最小限度。在這種遙控控制系統中，上位PC的顯示部和下位PC的顯示部， 共有地顯示相同的畫面群，在正常動作中，上位PC具有畫面的操作權， 在無塵室內的各裝置發生了異常時等處于特別狀況時，下位PC會從上 位PC臨時被授予同畫面的操作權(例如，參照日本特開2004-348605 號公報)。但是，根據現有的系統，可以將畫面的操作權交給上位PC或者下 位PC中的任一方，但是具有畫面的操作權的PC僅限于一臺。因而， 在一個PC具有操作權時，無法使用其他PC操作在其他PC上顯示的 畫面，即使向其他PC通知了畫面的操作要求，到畫面的操作權移交到 其他的PC為止，操作人員必須等待很久，因而效率低。進而，近年來，在群構造的系統中包含的基板處理裝置的數量有增加的傾向。因此，具有畫面的操作權的PC以外的下位PC的數目增加， 即使是在這些下位PC想操作畫面時，從畫面的操作權被轉移到本機為 止還需要等很久。其結果，操作人員必須去具有畫面操作權的PC (通 常是上位PC)所在的地方來操作該PC的畫面，是非常不便的。特別地，在使被導入工廠內的系統過渡到穩定的量產體制的前階 段，預想將無塵室內的各裝置(基板處理裝置和輸送裝置)作為評價機 發揮功能時，產生例如基板碰撞到輸送裝置等在各裝置產生各種異常的情況。此時，與在上位PC進行遙控操作相比，通過操作在各裝置的附 近配置的下位PC的畫面，更容易并有效地在確認各裝置的狀態的同時控制各裝置的動作。
技術實現思路
在此，本專利技術提供一種控制對要求畫面操作的下位控制裝置是否授 予特定的畫面群的操作權的上位控制裝置、要求畫面操作的下位控制裝 置、畫面操作權授予方法以及存儲了畫面操作權授予程序的存儲介質。即，為了解決上述課題，根據本專利技術的第一方面，提供一種上位控 制裝置，其經由網絡連接具有能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群 的顯示部的第一下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作輸送裝置的畫 面群的顯示部的第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上述第一下位控 制裝置的顯示部被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置的顯示部被顯 示的畫面群的顯示部，且控制上述第一下位控制裝置以及上述第二下位 控制裝置。該上位控制裝置具備畫面數據庫，其分別存儲在上述第一下位控制 裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在上述第二下位控制裝置的顯示 部上能夠顯示的畫面群；畫面確定部，其根據從上述第一下位控制裝置或者上述第二下位控制裝置中的任一個發送來的畫面的IMt要求，從在上述 畫面數據庫中存儲的多個畫面群中確定要求了上述操作的畫面群；操作權 判斷部，其判斷由上述畫面確定部確定出的畫面群的操作權是否分配給 上述要求了的下位控制裝置；操作權授予部，其在通過上述操作權判斷 部判斷為將上述畫面群的操作權分配給上述提出要求的下位控制裝置 的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控制裝置以及上述上位控制裝置構成的多個控制裝置中的、不同的控制裝置對不 同的畫面群同時獨立地進行操作，不變更上述確定出的畫面群以外的畫 面群的操作權的授予對象，將上述確定出的畫面群的操作權授予給上述 提出要求的下位控制裝置。據此，通過上位控制裝置按被操作要求的每個畫面群判斷是否分配 了操作畫面的權利。由此，不必變更由下位控制裝置提出操作要求的畫 面群以外的畫面群的操作權的授予對象，可以將被操作要求的畫面群的 操作權的操作權授予上述提出要求的下位控制裝置。其結果，操作人員， 針可以針對提出要求操作的下位控制裝置，通過操作該下位控制裝置的 畫面確認產生了異常的裝置的狀態同時控制該裝置，針對其他裝置，可 以通過遙控操作上位控制裝置的畫面統一地控制系統整體。這樣，各操作人員，可以使用由上述第一下位控制裝置、上述第二 下位控制裝置以及上述上位控制裝置構成的多個控制裝置中、不同的兩 個以上的控制裝置，對不同的畫面群同時獨立地進行操作。由此，可以 解決操作畫面的控制裝置僅限于一臺，想要操作此外的控制裝置時，無 法立即使用自己的控制裝置自由地操作畫面的不良情況，可以向用戶提 供操作性高的系統。也可以，在上述確定出的畫面群的操作權被授予了上述多個控制裝 置中、上述提出要求的下位控制裝置以外的控制裝置時，上述操作權判斷部判斷為在被授予了上述操作權的控制裝置中正執行的處理結束之 后，將上述確定出的畫面群的操作權授予上述提出要求的下位控制裝 置。此外，也可以，在由上述上位控制裝置要求操作的畫面群的操作權 被授予給某一個下位控制裝置時，上述操作權判斷部判斷為在上述某 一個下位控制裝置中正執行的處理結束之后，將上述被要求的畫面群的 操作權授予上述上位控制裝置。根據這些判斷方法，只有上位控制裝置的操作權判斷部可以判斷是 否授予畫面的操作權。由此，可以消除從多個控制裝置對相同的畫面群 幾乎同時提出操作要求時產生的死鎖等，消除在多個控制裝置控制操作 權的授予時可能產生的系統上的問題。其結果，不必使作為主要業務的控制重要度最高的基板處理的控制系統的穩定性降低，就可以提高使用 效率。由此，操作人員不僅可以高效率地操作畫面，并且可以通過按照周 圍的狀況的變化靈活地操作上位控制裝置或者下位控制裝置的畫面，由 此減少操作失誤。其結果，可以提高產品的生產效率。也可以，在從上述多個控制裝置要求了相同畫面群的操作時，上述操作權判斷部判斷為按照預先確定的優先順序，在上述多個控制裝置 中從優先順序高的控制裝置開始按順序分配上述被要求的畫面群的操 作權。也可以，上述操作權判斷部，判斷是否預先禁止對要求了上述操作 的控制裝置授予操作權，在禁止時，判斷為不對要求了上述操作的控制 裝置分配操作權。由此，根據預先設定的條件，可以判斷上述被要求了的畫面群的操 作權是否分配給了提出要求的控制裝置。例如，上位控制裝置和下位控 制裝置，在幾乎同時間要求了相同畫面群的操作時，如果預先將上位控 制裝置的優先順序設定得高于下位控制裝置，則可以將所要求的畫面群 的操作權優先授予上位控制裝置。其結果，例如，在任一個基板處理裝置上產生異常時，操作人員可 以使用配置在產生異常的基板處理裝置的附近的下位控制裝置的畫面， 在確認基板處理裝置的狀態的同時進行操作。另一方面，針對被要求了 操作的畫面群以外的畫面群，不必使該操作權的授權對象變化，可以通 過其他的控制裝置(通常是上位控制裝置)來操作，因此可以顯著地減 少操作各控制裝置的操作人員的操作等待時間。上位控制裝置也可以還具備輸入本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種上位控制裝置，其經由網絡連接具有能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群的顯示部的第一下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作輸送裝置的畫面群的顯示部的第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上述第一下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群的顯示部，且控制上述第一下位控制裝置以及上述第二下位控制裝置，其特征在于，具備：　畫面數據庫，其分別存儲在上述第一下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在上述第二下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群；　 　畫面確定部，其根據從上述第一下位控制裝置或者上述第二下位控制裝置中的任一個發送來的畫面的操作要求，從在上述畫面數據庫中存儲的多個畫面群中確定被要求了上述操作的畫面群；　操作權判斷部，其判斷由上述畫面確定部確定出的畫面群的操作權是 否分配給上述提出要求的下位控制裝置；　操作權授予部，其在通過上述操作權判斷部判斷為將上述畫面群的操作權分配給上述提出要求的下位控制裝置的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控制裝置以及上述上位控制裝置構成的多個控制裝置 中的、不同的控制裝置對不同的畫面群同時獨立地進行操作，不變更上述確定出的畫面群以外的畫面群的操作權的授予對象，將上述確定出的畫面群的操作權授予給上述提出要求的下位控制裝置。...

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：山上宗隆，
申請(專利權)人：東京毅力科創株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]