【技術實現步驟摘要】
本技術以激光干涉儀為基礎，再配以高精度的工裝，檢測各類高精度90。外 角棱鏡的激光干涉測量儀。
技術介紹
目前，高精度棱鏡90°角的檢測，在激光干涉儀上一般采用內測法，這種檢測方法 受到光學材料折射率的影響，對測角精度影響很大。
技術實現思路
針對以上不足，本技術的目的在于提供一種90。外角棱鏡激光干涉測量儀， 是基于激光干涉儀的光學測角方法，在原來的激光干涉測量儀中加入一組高精度的工裝設 備，減少各種影響測量結果的因素，得到高精確的測量結果。 本技術的技術方案是通過以下方式實現的90°外角棱鏡激光干涉測量儀， 包括2塊高精度反射鏡和l塊高精度平板玻璃，反射鏡和平板玻璃之間互相垂直，90。待測 棱鏡置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射鏡一面為拋光面，另一面為磨砂面，拋光 面與平板玻璃的兩端面膠合接觸。 所述的反射鏡拋光面的光圈要求0. 2f，表面要求60-40，鍍膜區域需鍍銀反光 膜R>= 95%。 所述的平板玻璃和反射鏡膠合面需拋光，拋光面光圈要求；0.5f，平行差〈二 0. 5。 本技術，光的折射不受到光學材料折射率的影B向，測量結果準確，操作靈活， 簡單易行。附圖說明圖1是本技術的結構示意圖。具體實施方式由圖1知，本實施例的90°外角棱鏡激光干涉測量儀，由2塊高精度反射鏡1和一 塊高精度平板玻璃3，反射鏡l和平板玻璃3之間互相垂直，90。待測棱鏡2置于平板玻璃 3上面，將反射鏡1 ，平板玻璃3的工作面處理清潔，然后利用光學玻璃之間相互吸引的原理 將兩個反射鏡1光膠上平板玻璃3，并保證了它們的拋光面之間的平行差<=0. 5，將被測 棱鏡2置...
【技術保護點】
９０°外角棱鏡激光干涉測量儀，包括２塊高精度反射鏡（１）和１塊高精度平板玻璃（３），反射鏡（１）和平板玻璃（３）之間互相垂直，９０°待測棱鏡（２）置于平板玻璃上面，其特征在于：所述的反射鏡（１）一面為拋光面，另一面為磨砂面，拋光面與平板玻璃（３）的兩端面膠合接觸。
【技術特征摘要】
90°外角棱鏡激光干涉測量儀，包括2塊高精度反射鏡(1)和1塊高精度平板玻璃(3)，反射鏡(1)和平板玻璃(3)之間互相垂直，90°待測棱鏡(2)置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射鏡(1)一面為拋光面，另一面為磨砂面，拋光面與平板玻璃(3)的兩端面膠合接觸。2. 根據權利要求1所述的90。外角棱鏡...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周衛華，陳華，陳文宇，
申請(專利權)人：丹陽弘業電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：32[中國|江蘇]
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