光學品級的表面加工工具制造技術

本發明專利技術涉及一種表面加工的工具，該表面加工工具包括：剛性支持體（１１），連接至此剛性支持體的可彈性壓縮的界面體（１２），適合于壓靠工作表面（３０）的柔性緩沖體（１３），壓靠并部分覆蓋該界面體（１２）的側表面（１８）的柔性環箍（１４），該界面體（１２）的所述側表面（１８）的環形部分（２１）在所述環箍（１４）和所述支持體（１１）之間是自由的。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及對于例如眼鏡玻璃的或照相設備鏡頭的或用來觀察遠處物體的儀器的表面，或者對半導體基底的表面進行光學品級的表面加工。 所謂"表面加工"指的是旨在改變預先成型表面狀態的各種操作。這特別涉及旨在改變(降低或增大)表面粗糙度和/或降低其起伏的拋光、精磨或磨砂。
技術介紹
特別是通過日本專利申請2000-317， 797，通過法國專利申請2 834 662—對應于美國專利申請2005/0101235—和通過法國專利申請2 857 610—對應于美國專利申請2006/0154581，已經知道了一種光學表面的表面加工工具，該表面加工工具包括具有橫向端部的剛性支持體；可彈性壓縮的界面體，該可彈性壓縮的界面體連接至該剛性支持體，并具有第一橫向端部表面、第二橫向端部表面和從第一橫向端部表面的周邊延伸到第二橫向端部表面的周邊的側表面，該界面體的所述第一橫向端部表面壓靠并覆蓋剛性支持體的所述端部表面；以及柔性緩沖體，該柔性緩沖體適合于壓靠光學表面，且背對并正對該界面體的第二橫向端部表面地壓靠并至少部分覆蓋該剛性支持體的所述第二橫向端部表面。 為了降低光學表面的粗糙度，使該加工工具與該光學表面接觸，同時在該光學表面上保持該加工工具的足夠的壓力，以通過界面體的變形使緩沖體貼合光學表面的形狀。 在光學表面上噴灑一種流體的同時，驅動該光學表面使之相對于該加工工具旋轉(或相互旋轉)并且用該流體進行清理。 —般說來，驅動光學表面旋轉，該光學表面對工具的摩擦力足夠驅動該工具一起旋轉。 表面加工的操作需要磨料，該磨料可包含在緩沖體或者流體中。 在表面加工的過程中，可彈性壓縮的界面體可以補償在該工具的支持體的端部表面和光學表面之間的曲率差別。 由此工具獲得的結果一般說來還是滿意的，但其很難避免某些外觀的缺陷，特別是橘皮效應(英語為"orange skin")和巻曲效應(英語為"cottonmouton")。 為了克服這些外觀缺陷，已經建議使柔性緩沖體的直徑大于界面體的直徑，從而使該緩沖體具有在橫向超出界面體的環形部分。 這樣的工具改善了表面的外觀，但在某些情況下，它還是存在著這種外觀缺陷。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種就減少外觀缺陷而言性能特別良好的表面加工工具。 為此，提出一種具有光學品級的表面加工工具，該表面加工工具包括具有橫向端部表面的剛性支持體；可彈性壓縮的界面體，該可彈性壓縮的界面體連接至該剛性支持體，并且具有第一橫向端部表面、第二橫向端部表面和從第一端部表面的周邊延伸到第二端部表面的周邊的側表面，該可彈性壓縮的界面體的所述第一端部表面壓靠并覆蓋該剛性支持體的所述端部表面；以及柔性緩沖體，該柔性緩沖體適合于壓靠工作表面，且背對并正對所 述剛性支持體的所述端部表面地壓靠并至少部分覆蓋所述界面體的所述第二橫向端部表 面，該表面加工工具的特征在于，所述柔性環箍壓靠并部分覆蓋界面體的側表面，所述柔性 環箍從所述緩沖體的周邊一直延伸到自由端部，所述界面體的所述側表面的環形部分在所 述環箍的所述自由端部和所述界面體的第一端部表面之間是自由的。 該柔性環箍背對著該界面體的側面延伸部分。 因此，當該工具受到朝向工作面施加的應力時，柔性環箍就制約此壓力，使其以比較均勻的方式分布在表面加工工具下面，特別是在避免出現峰值的邊緣附近。 該柔性環箍還限制界面體由于工具相對于工作表面移動的應力而造成的變形。 然而，界面體的側表面的自由環形部分能夠在此界面體上保持足夠的變形能力，以使緩沖體能夠貼合工作表面的形狀。 該環箍的柔軟特性也參與了此變形能力，然而環箍在緩沖體的周邊和緩沖體的側 表面的環形自由部分之間的定位特別有利于限制當該工具受到朝向工作表面施加的力時 由緩沖體產生的側面隆起，該側面隆起比該工具的直徑的加大更大。 因此，按照本專利技術的工具一般具有比不包括柔性環箍的現有技術的工具更好的性 能。 在所有條件都相同的情況下，這能夠得到更好的表面狀態，特別是降低了橘皮效 應和巻曲效應。 按照本專利技術的工具，在所有條件都相同的情況下，還能夠使用更為有效的表面加 工參數，特別是增大了壓力和速度。 按照優選的特征，所述環箍與緩沖體制成一單體件。 因此，特別簡單而方便地得到按照本專利技術的工具，而在緩沖體和環箍之間存在有利于該工具的耐用性和進行的表面加工的品級的連續性。 出于同樣的原因，優選 _所述環箍由在緩沖體的周邊通過折疊而折起的邊緣形成； -所述環箍具有指向所述緩沖體的輪廓為V形的凹槽；-該工具包括杯形的殼體，該杯形的殼體的底壁形成所述緩沖體，而該杯形的殼體 的側壁形成所述環箍；-所述界面體是由模塑在所述杯形的殼體上的材料制造的；-所述環箍粘接在所述界面體上；-所述環箍是由模塑在所述界面體上的材料制造的；-所述界面體包括由可彈性壓縮的材料制造的板，但所述板的剛性大于形成所述 界面體的其余部分的主體的剛性，所述板間置于所述緩沖體和所述主體之間； -所述主體具有包圍著所述板的周邊部分；-所述界面體的所述周邊部分在所述第二端部表面和所述側表面之間具有鈍邊。 按照另一個優選的特征，對于所得到結果的品級，在所述環箍的所述端部和所述 第一端部表面之間的距離為該界面體的所述第一端部表面和所述第二端部表面之間距離 的30%至70%。 在優選的第一實施方式中，所述支持體、所述界面體和所述緩沖體具有相近的直5 在優選的第二實施方式中，所述界面體和所述緩沖體具有比所述支持體的直徑更 大的相近的直徑，所述工具還包括布置在所述剛性支持體和所述界面體的周邊之間的彈性 回動部件。附圖說明 現將參照附圖，通過詳細描述以下僅作為說明給出的且非限制性的優選的實施例 繼續闡述本專利技術，其中 圖1是按照本專利技術的表面加工工具的第一實施方式的正視圖； 圖2是與圖1相類似的、但為剖開的視圖； 圖3和圖4是與圖2相類似的視圖，但示出當工具分別受到沿著工作表面的移動的應力，和當工具受到朝向工作表面施加的應力時該工具如何變形； 圖5和圖6是分別與圖3和圖4相類似的、但為現有技術的工具的視圖； 圖7和圖8是分別與圖2和圖6相類似的、按照本專利技術的工具的第二實施方式的視圖； 圖9和圖10是與圖7相類似的、按照本專利技術的工具的第一實施方式和第二實施方 式的變型的視圖； 圖11是與圖1相類似的、按照本專利技術的工具的第一實施方式的變型的視圖； 圖12以分離的方式示出該工具的變型所包括的殼體，該殼體用于形成柔性緩沖 體和柔性環箍。具體實施例方式在圖1-圖4中所示的工具IO，包括剛性支持體11、可彈性壓縮的界面體12、柔性 緩沖體13和柔性環箍14。 支持體11，更通常而言是工具10，整體是回轉對稱的柱形，并且具有標注為X的對 稱軸線，該對稱軸線限定所謂的縱向。 支持體11具有端部表面15。 界面體12具有第一端部表面16、第二端部表面17和從第一端部表面16的周邊向第二端部表面17的周邊延伸的側表面18。 端部表面15是橫向延伸的，并且在此是平面的。 在沒有應力時，界面體12和緩沖體13的形狀一般為直徑與表面15相同的盤形， 界面體12的厚度大于緩沖體13的厚度。 界面體12通過其第一端部表面16壓靠并覆蓋支持體11的端部表面15。 緩沖體13壓靠并覆蓋界面體12的表面17。 因此，支持體11和本文檔來自技高網...

【技術保護點】
光學品級的表面加工工具，所述表面加工工具包括：具有橫向端部表面（１５、１１５）的剛性支持體（１１、１１１）；可彈性壓縮的界面體（１２，１１２），所述可彈性壓縮的界面體連接至所述剛性支持體（１１、１１１）并且具有第一橫向端部表面（１６、１１６）、第二橫向端部表面（１７、１１７）和從所述第一橫向端部表面（１６、１１６）的周邊延伸到所述第二橫向端部表面（１７、１１７）的周邊的側表面（１８、１１８），所述可彈性壓縮的界面體（１２、１１２）的所述第一橫向端部表面（１６、１１６）壓靠并覆蓋所述剛性支持體（１１、１１１）的所述橫向端部表面（１５、１１５）；以及柔性緩沖體（１３、１１３），所述柔性緩沖體適合于壓靠工作表面（３０），且背對并正對所述剛性支持體（１１，１１１）的所述橫向端部表面（１５，１１５）地壓靠并至少部分覆蓋所述界面體（１２、１１２）的所述第二橫向端部表面（１７、１１７），其特征在于，柔性的環箍（１４、１１４）壓靠并部分覆蓋所述界面體的側表面（１８、１１８），所述柔性的環箍（１４、１１４）從所述緩沖體（１３、１１３）的周邊一直延伸到自由端部（２０、１２０），所述界面體（１２、１１２）的所述側表面（１８、１１８）的環形部分（２１、１２１）在所述環箍（１４、１１４）的所述自由端部（２０、１２０）和所述界面體（１２、１１２）的第一橫向端部表面（１６、１１６）之間是自由的。...

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：J斯特凡娜，
申請(專利權)人：埃西勒國際通用光學公司，
類型：發明
國別省市：FR[法國]