【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及材料表征，尤其涉及一種應(yīng)用于fib制樣和apt測試的夾具。
技術(shù)介紹
1、fib制樣指的是采用聚焦離子束技術(shù)(fib)制備樣品，其常用于制備電子顯微鏡觀察或其他精密分析的樣品。apt測試指的是三維原子探針測試，夠在原子尺度上分析樣品的成分。
2、使用fib技術(shù)制備apt測試的樣品時，樣品需要制備在離子束系統(tǒng)的工作臺上，制備完成后需要將載網(wǎng)和樣品一起取下放置在tem(透射電子顯微鏡)下進行表征，其中，將樣品轉(zhuǎn)移到tem進行表征過程中樣品容易發(fā)生掉落，在表征結(jié)束后還需要將其安裝在apt測試設(shè)備上進行測試，因此，設(shè)計一款穩(wěn)定性好且可通用于fib制樣以及apt測試的夾具是本領(lǐng)域急需解決的問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本申請實施例提供一種應(yīng)用于fib制樣和apt測試的夾具，能夠適用多種設(shè)備，且穩(wěn)定性好。
2、本申請?zhí)峁┮环N應(yīng)用于fib制樣和apt測試的夾具，包括安裝塊、載網(wǎng)、壓緊彈片以及連接桿；安裝塊安裝于外部設(shè)備上；載網(wǎng)設(shè)置在安裝塊上，樣品胚料設(shè)置在載網(wǎng)上；壓緊彈片的一端設(shè)置在安裝塊上，另一端設(shè)置用于將載網(wǎng)壓緊在安裝塊上；連接桿的一端沿水平方向可拆卸式連接于安裝塊上。
3、上述方案優(yōu)選的，安裝塊上設(shè)置有安裝槽，至少部分的載網(wǎng)設(shè)置于安裝槽內(nèi)。
4、上述方案優(yōu)選的，載網(wǎng)的一端設(shè)置有多個安裝齒，安裝齒用于與樣品胚料連接，安裝塊的一側(cè)設(shè)置有水平內(nèi)凹的第一避讓槽，安裝齒在高度方向的投影落入第一避讓槽內(nèi)。
5、上述方案優(yōu)選的，安裝槽的內(nèi)
6、上述方案優(yōu)選的，安裝塊的底部設(shè)置有第二避讓槽，第二避讓槽的內(nèi)頂面配置為避讓孔的下開口端面。
7、上述方案優(yōu)選的，連接桿的一端與設(shè)置在安裝塊上的第一螺紋孔螺紋連接。
8、上述方案優(yōu)選的，連接桿包括滑桿、套筒、轉(zhuǎn)蓋以及螺桿；滑桿的一端與第一螺紋孔螺紋連接，套筒同軸套設(shè)于滑桿的另一端上，且套筒和滑桿僅可在軸向相對滑動；轉(zhuǎn)蓋可轉(zhuǎn)動式設(shè)置在套筒背離滑桿的一端；螺桿同軸設(shè)置在套筒內(nèi)，且螺桿的一端與轉(zhuǎn)蓋固定連接，另一端與設(shè)置在滑桿端面上的第二螺紋孔螺紋連接。
9、上述方案優(yōu)選的，滑桿的外周上設(shè)置有導(dǎo)條，導(dǎo)條的長度方向配置為滑桿的軸向，套筒的內(nèi)周上設(shè)置有導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽和導(dǎo)條的配合實現(xiàn)套筒和滑桿僅可在滑桿的軸向相對滑動。
10、上述方案優(yōu)選的，轉(zhuǎn)蓋與套筒的端部之間具有磁吸力。
11、本申請的應(yīng)用于fib制樣和apt測試的夾具至少具有如下有益效果：
12、本申請的夾具包括安裝塊、載網(wǎng)、壓緊彈片以及連接桿；在進行fib制樣的時候，安裝塊被固定安裝在離子束系統(tǒng)的工作臺上，然后采用壓緊彈片將安裝塊上的載網(wǎng)壓緊，外部的機械手或其他設(shè)備將樣品胚料放置在載網(wǎng)上，并通過外部設(shè)備噴涂材料將樣品胚料與載網(wǎng)連接在一起，此步驟完成后可以利用離子束系統(tǒng)對樣品胚料進行加工，加工完成后，通過將連接桿與安裝塊進行連接，然后手持連接桿將整個夾具轉(zhuǎn)移至tem附近，在此轉(zhuǎn)移過程中，由于壓緊彈片時刻保持壓緊載網(wǎng)，從而可以保證載網(wǎng)上的物料在轉(zhuǎn)移過程中不會出現(xiàn)掉落風(fēng)險，相比于采用人手用鑷子夾持載網(wǎng)轉(zhuǎn)移的方式，本申請的結(jié)構(gòu)明顯更加穩(wěn)定，在tem表征完成后，再次將tem上的載網(wǎng)和樣品裝配到安裝塊上并通過壓緊彈片壓緊載網(wǎng)，然后以連接桿作為與apt測試設(shè)備的連接部位，從而將整個夾具安裝在apt測試設(shè)備上進行測試。本申請的夾具可應(yīng)用在fib制樣工序中以及apt測試工序中，其中，載網(wǎng)通過壓緊彈片進行壓緊，載網(wǎng)的穩(wěn)定性好，而且載網(wǎng)的取放是比較方便的。
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1.一種應(yīng)用于FIB制樣和APT測試的夾具，其特征在于，包括安裝塊(1)、載網(wǎng)(2)、壓緊彈片(3)以及連接桿(4)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于FIB制樣和APT測試的夾具，其特征在于，所述安裝塊(1)上設(shè)置有安裝槽(1a)，至少部分的載網(wǎng)(2)設(shè)置于安裝槽(1a)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于FIB制樣和APT測試的夾具，其特征在于，所述載網(wǎng)(2)的一端設(shè)置有多個安裝齒(21)，安裝齒(21)用于與樣品胚料連接，所述安裝塊(1)的一側(cè)設(shè)置有水平內(nèi)凹的第一避讓槽(1b)，安裝齒(21)在高度方向的投影落入第一避讓槽(1b)內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的應(yīng)用于FIB制樣和APT測試的夾具，其特征在于，所述安裝槽(1a)的內(nèi)底面設(shè)置有豎向貫通安裝塊(1)的避讓孔(1c)，壓緊彈片(3)在高度方向的至少部分投影與避讓孔(1c)重疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的應(yīng)用于FIB制樣和APT測試的夾具，其特征在于，所述安裝塊(1)的底部設(shè)置有第二避讓槽(1d)，第二避讓槽(1d)的內(nèi)頂面配置為避讓孔(1c)的下開口端面。
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